按照玻璃基板傳送方向從當(dāng)前腔室101開始逐級由各腔室10向玻璃基板供給剝離液以進行剝離制程。剝離液從當(dāng)前腔室101進入相應(yīng)的存儲箱20,在剝離液的水平面超過預(yù)設(shè)高度后流入過濾器30,再經(jīng)過過濾器30的過濾將過濾后的剝離液傳送至下一級腔室102內(nèi)。其中,薄膜碎屑70一般為金屬碎屑或ito碎屑。其中,如圖2所示,圖2為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第二種結(jié)構(gòu)示意圖。閥門開關(guān)60設(shè)置在管道40及第二管道50上。在過濾器30被阻塞時,關(guān)閉位于過濾器30兩側(cè)的管道40及第二管道50上的閥門開關(guān)60,可以保證當(dāng)前級腔室101對應(yīng)的存儲箱20內(nèi)剝離液不會流出,同時下一級腔室102內(nèi)的剝離液也不會流出。在一些實施例中,請參閱圖3,圖3為本申請實施例提供的剝離液機臺100的第三種結(jié)構(gòu)示意圖。過濾器30包括多個并列排布的子過濾器301,所述管道40包括多個子管道401,每一所述子管道401與一子過濾器301連通,且所述多個子管道401與當(dāng)前級腔室101對應(yīng)的存儲箱20連通。在一些實施例中,第二管道50包括公共子管道501及多個第二子管道502,每一所述第二子管道502與一子過濾器301連通,每一所述第二子管道502與所述公共子管道501連通,所述公共子管道501與所述下一級腔室102連通。其中。上海和輝光電用的哪家的剝離液?蘇州天馬用的蝕刻液剝離液廠家現(xiàn)貨
能夠增強親水性,使得剝離液親水性良好,能快速高效地剝離溶解光刻膠。潤濕劑含有羥基,為聚乙二醇、甘油中的任意一種。下面通過具體實施例對本申請作進一步詳細說明。以下實施例對本申請進行進一步說明,不應(yīng)理解為對本申請的限制。表一:兩種不同組分的剝離液配方一和配方二所采用的基礎(chǔ)組分基本相同,不同的是配方二中加入有潤濕劑,上述所描述的潤濕劑是用于增強親水性的,滴液與產(chǎn)品表面間的夾角為接觸角,接觸角可用來衡量潤濕程度,水滴角測試儀可測量接觸角,從潤濕角度考慮,接觸角<90°,且接觸角越小潤濕效果越好加入潤濕劑后的配方二所制得的剝離液,在滴落在高世代面板后,通過水滴角測試儀測接觸角,檢測圖如圖1所示,三次測試的接觸角如下表二:上述兩種不同組分的剝離液作接觸角測試接觸角配方一配方二測試一,加入潤濕劑后的配方二所制得的剝離液,其滴落在高世代面板后,其接觸角比未加入潤濕劑的配方一的剝離液潤濕效果更好;請參閱圖2所示,將配方一所制得的剝離液以及配方二所制得的剝離液進行光刻膠剝離,圖2中的陰影圓點為浸泡時間t1后光刻膠殘留,明顯地,可以看出配方二中t1時間后光刻膠殘留量小,而配方一中產(chǎn)品邊緣處光刻膠的殘留量大。哪家蝕刻液剝離液主要作用剝離液中加入特有添加劑可有效保護對應(yīng)金屬;
單片清洗工藝避免了不同硅片之間相互污染,降低了產(chǎn)品缺陷,提高了產(chǎn)品良率??蛇x擇的,清洗液采用氧化硫磺混合物溶液和過氧化氨混合物溶液。可選的,進一步改進,清洗液采用h2so4:h2o2配比范圍為6:1~4:1且溫度范圍為110℃~140℃的過氧化硫磺混合物溶液;以及,nh4oh:h2o2:h2o配比為1:℃~70℃的過氧化氨混合物溶液。本發(fā)明采用等離子體氮氫混合氣體能與主要光刻膠層和第二光刻膠層反應(yīng)生成含氨揮發(fā)性化合物氣體,且與主要光刻膠層和第二光刻膠層反應(yīng)速率相等能更高效的剝離去除光刻膠,能有效減少光刻膠殘留。進而避免由于光刻膠殘留造成對后續(xù)工藝的影響,提高產(chǎn)品良率。附圖說明本發(fā)明附圖旨在示出根據(jù)本發(fā)明的特定示例性實施例中所使用的方法、結(jié)構(gòu)和/或材料的一般特性,對說明書中的描述進行補充。然而,本發(fā)明附圖是未按比例繪制的示意圖,因而可能未能夠準(zhǔn)確反映任何所給出的實施例的精確結(jié)構(gòu)或性能特點,本發(fā)明附圖不應(yīng)當(dāng)被解釋為限定或限制由根據(jù)本發(fā)明的示例性實施例所涵蓋的數(shù)值或?qū)傩缘姆秶?。下面結(jié)合附圖與具體實施方式對本發(fā)明作進一步詳細的說明:圖1是本發(fā)明的流程示意圖。圖2是一現(xiàn)有技術(shù)光刻膠剝離去除示意圖一,其顯示襯底上形成介質(zhì)層并旋圖光刻膠。
避免接觸皮膚、眼睛和衣服;存儲:密閉存放在陰涼干燥的地方8.防燥和人員保護極限N-Methyl-2-pyrrolidone80mg/m3(19ml/m3)DFGMAK(peaklimitationcategory-II,2)(Vapour)(skin)10ppmAIHA,TWAN,N-DIMETHYLACETAMIDE-TWA:10ppm,35mg/m3通風(fēng):良好的通風(fēng)措施,保持良好通風(fēng)人員保護設(shè)備:橡膠手套、防護目鏡,避免接觸皮膚、眼睛、衣服、避免吸入蒸汽壓;9.物理和化學(xué)性能物理測試:液體顏色:微黃氣味:類氨熔點:-24~-23℃沸點:165~204℃閃點:110℃蒸汽壓mmHg@20℃蒸汽壓密度(空氣=1):密度(水=1):粘度:10~200cps水中溶解性:任意比例混溶其它溶劑:溶于部分有機溶劑PH值:10.穩(wěn)定性與活性穩(wěn)定性:穩(wěn)定危險反應(yīng):有機和無機酸、強氧化劑、堿金屬、強酸混溶性:強氧化劑和酸不能混溶,在高溫氣壓下可與二硫化碳反應(yīng)避免條件:熱、火、火源及混溶11.毒性N-Methyl-2-pyrrolidone實際毒性LD50/口服:3600mg/kgLD50/皮膚接觸(兔):8000mg/kgLC50/吸入(鼠):>mg/1/4hN,N-DIMETHYLACETAMIDELD50/口服/鼠:>2000mg/kgLD50/皮膚接觸/兔:>。質(zhì)量好的剝離液的公司聯(lián)系方式。
隨著電子元器件制作要求的提高,相關(guān)行業(yè)應(yīng)用對濕電子化學(xué)品純度的要求也不斷提高。為了適應(yīng)電子信息產(chǎn)業(yè)微處理工藝技術(shù)水平不斷提高的趨勢,并規(guī)范世界超凈高純試劑的標(biāo)準(zhǔn),國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料組織(SEMI)將濕電子化學(xué)品按金屬雜質(zhì)、控制粒徑、顆粒個數(shù)和應(yīng)用范圍等指標(biāo)制定國際等級分類標(biāo)準(zhǔn)。濕電子化學(xué)品在各應(yīng)用領(lǐng)域的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)有所不同,光伏太陽能電池領(lǐng)域一般只需要G1級水平;平板顯示和LED領(lǐng)域?qū)耠娮踊瘜W(xué)品的等級要求為G2、G3水平;半導(dǎo)體領(lǐng)域中,集成電路用濕電子化學(xué)品的純度要求較高,基本集中在G3、G4水平,分立器件對濕電子化學(xué)品純度的要求低于集成電路,基本集中在G2級水平。一般認(rèn)為,產(chǎn)生集成電路斷絲、短路等物理性故障的雜質(zhì)分子大小為**小線寬的1/10。因此隨著集成電路電線寬的尺寸減少,對工藝中所需的濕電子化學(xué)品純度的要求也不斷提高。從技術(shù)趨勢上看,滿足納米級集成電路加工需求是超凈高純試劑今后發(fā)展方向之一。 使用剝離液,輕松剝離各種材料。無錫江化微的蝕刻液剝離液銷售廠
什么樣的剝離液可以保護底部金屬?蘇州天馬用的蝕刻液剝離液廠家現(xiàn)貨
但現(xiàn)有的回收裝置普遍存在如下問題:剝離廢液利用水洗裝置水洗過濾出光刻膠樹脂成分,回收率低。為了解決這一問題,現(xiàn)有技術(shù)通常再向剝離廢液中加入沉淀劑繼續(xù)反應(yīng),而后沉淀過濾出光刻膠樹脂成分,但所得到的光刻膠樹脂成分品質(zhì)不宜再用于光刻膠原料,只能用于其他要求較低的樹脂需求場所。技術(shù)實現(xiàn)要素:本實用新型的目的是為了提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)置更為合理、使用方便可靠的光刻膠廢剝離液回收裝置,從根本上解決現(xiàn)有回收裝置回收率低的問題,同時分級回收輸出線性酚醛樹脂成分,分級儲存,以用于不同場合,物盡其用。為達到上述目的,本實用新型采用的技術(shù)方案是:一種光刻膠廢剝離液回收裝置,包括攪拌釜和與攪拌釜連通的過濾罐,攪拌釜頂部設(shè)有廢剝離液投料口,其技術(shù)要點是:所述過濾罐的數(shù)量為兩個,由一級過濾罐和二級過濾罐組成,所述一級過濾罐和二級過濾罐在垂直方向上位于攪拌釜下方,一級過濾罐和二級過濾罐的進料管路分別與攪拌釜底部連通,且進料管路上分別設(shè)有電磁閥,所述一級過濾罐的底部出液口連接有提升泵,所述提升泵的出料管路末端與攪拌釜頂部的循環(huán)料口連通,所述攪拌釜頂部另設(shè)有功能切換口。蘇州天馬用的蝕刻液剝離液廠家現(xiàn)貨