固定殼5內(nèi)壁的底部開設(shè)有與滑塊配合使用的滑槽。采用上述方案：通過設(shè)置滑塊和滑槽，提高了活動板702前后移動的平穩(wěn)性，同時(shí)有效的減少了...
三、合成上的多種途徑：聚酰亞胺品種繁多、形式多樣，在合成上具有多種途徑，因此可以根據(jù)各種應(yīng)用目的進(jìn)行選擇，這種合成上的易變通性也是其...
可**簡化加工工序。10、在微電子器件中的應(yīng)用：用作介電層進(jìn)行層間絕緣，作為緩沖層可以減少應(yīng)力、提高成品率。作為保護(hù)層可以減少環(huán)境對...
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，具體地，涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備中的工藝盤組件，以及一種包括該工藝盤組件的半導(dǎo)體設(shè)備。背景技術(shù)：半導(dǎo)體設(shè)備通...