本實用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，具體地，涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備中的工藝盤組件，以及一種包括該工藝盤組件的半導(dǎo)體設(shè)備。背景技術(shù)：半導(dǎo)體設(shè)備通常由工藝腔和設(shè)置在工藝腔內(nèi)的工藝盤組成，工藝盤用于承載待加工的工件，工件與工藝腔中通入的工藝氣體發(fā)生化學反應(yīng)或者由工藝氣體形成沉積物沉積在工件表面，完成晶片的外延等半導(dǎo)體工藝。為了保證工藝盤上熱量的均勻性，通常采用電機等設(shè)備驅(qū)動工藝盤旋轉(zhuǎn)，目前的工藝盤驅(qū)動機構(gòu)通常包括滑動軸、襯套和石英轉(zhuǎn)軸。其中，石英轉(zhuǎn)軸用于驅(qū)動工藝盤旋轉(zhuǎn)，襯套套設(shè)在滑動軸上，石英轉(zhuǎn)軸套設(shè)在襯套上，且滑動軸、襯套和石英轉(zhuǎn)軸三者軸線重合，襯套通過貼合面之間的摩擦作用將滑動軸的扭矩傳遞至石英轉(zhuǎn)軸上。然而，基于這種結(jié)構(gòu)目前的半導(dǎo)體設(shè)備經(jīng)常出現(xiàn)工件放偏、工藝效果不佳、工藝盤旋轉(zhuǎn)卡頓等問題。技術(shù)實現(xiàn)要素：本實用新型旨在提供一種用于半導(dǎo)體設(shè)備的工藝盤組件，該工藝盤組件能夠解決上述技術(shù)問題中的至少一者。為實現(xiàn)上述目的，作為本實用新型的***個方面，提供一種半導(dǎo)體設(shè)備中的工藝盤組件，包括工藝盤和工藝盤轉(zhuǎn)軸，所述工藝盤轉(zhuǎn)軸用于驅(qū)動所述工藝盤旋轉(zhuǎn)，所述工藝盤組件還包括驅(qū)動軸和驅(qū)動襯套。CNC 銑削加工服務(wù) ，CNC 銑削加工部件。浙江PC半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工絕熱
應(yīng)使用子程序[1]。CNC加工(3張)CNC加工CNC優(yōu)缺點編輯CNC數(shù)控加工有下列優(yōu)點：①大量減少工裝數(shù)量，加工形狀復(fù)雜的零件不需要復(fù)雜的工裝。如要改變零件的形狀和尺寸，只需要修改零件加工程序，適用于新產(chǎn)品研制和改型。②加工質(zhì)量穩(wěn)定，加工精度高，重復(fù)精度高，適應(yīng)飛行器的加工要求。③多品種、小批量生產(chǎn)情況下生產(chǎn)效率較高，能減少生產(chǎn)準備、機床調(diào)整和工序檢驗的時間，而且由于使用**佳切削量而減少了切削時間。④可加工常規(guī)方法難于加工的復(fù)雜型面，甚至能加工一些無法觀測的加工部位。數(shù)控加工的缺點是機床設(shè)備費用昂貴，要求維修人員具有較高水平。CNC加工數(shù)控加工編輯數(shù)控加工是指用數(shù)控的加工工具進行的加工。CNC指數(shù)控機床由數(shù)控加工語言進行編程控制，通常為G代碼。數(shù)控加工G代碼語言告訴數(shù)控機床的加工刀具采用何種笛卡爾位置坐標，并控制刀具的進給速度和主軸轉(zhuǎn)速，以及工具變換器、冷卻劑等功能。數(shù)控加工相對手動加工具有很大的優(yōu)勢，如數(shù)控加工生產(chǎn)出的零件非常精確并具有可重復(fù)性；數(shù)控加工可以生產(chǎn)手動加工無法完成的具有復(fù)雜外形的零件。數(shù)控加工技術(shù)現(xiàn)已普遍推廣，大多數(shù)的機加工車間都具有數(shù)控加工能力。安徽PC半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工24小時服務(wù)機加工能力，支持仿真系統(tǒng)NPI應(yīng)用發(fā)展。
半導(dǎo)體材料的應(yīng)用半導(dǎo)體材料的早期應(yīng)用：半導(dǎo)體的***個應(yīng)用就是利用它的整流效應(yīng)作為檢波器，就是點接觸二極管（也俗稱貓胡子檢波器，即將一個金屬探針接觸在一塊半導(dǎo)體上以檢測電磁波）。除了檢波器之外，在早期，半導(dǎo)體還用來做整流器、光伏電池、紅外探測器等，半導(dǎo)體的四個效應(yīng)都用到了。從1907年到1927年，美國的物理學家研制成功晶體整流器、硒整流器和氧化亞銅整流器。1931年，蘭治和伯格曼研制成功硒光伏電池。1932年，德國先后研制成功硫化鉛、硒化鉛和碲化鉛等半導(dǎo)體紅外探測器，在二戰(zhàn)中用于偵測飛機和艦船。二戰(zhàn)時盟軍在半導(dǎo)體方面的研究也取得了很大成效，英國就利用紅外探測器多次偵測到了德國的飛機。***，半導(dǎo)體已***地用于家電、通訊、工業(yè)制造、航空、航天等領(lǐng)域。1994年，電子工業(yè)的世界市場份額為6910億美元，1998年增加到9358億美元。而其中由于美國經(jīng)濟的衰退，導(dǎo)致了半導(dǎo)體市場的下滑，即由1995年的1500多億美元，下降到1998年的1300多億美元。經(jīng)過幾年的徘徊，目前半導(dǎo)體市場已有所回升。制備不同的半導(dǎo)體器件對半導(dǎo)體材料有不同的形態(tài)要求，包括單晶的切片、磨片、拋光片、薄膜等。半導(dǎo)體材料的不同形態(tài)要求對應(yīng)不同的加工工藝。
所述驅(qū)動軸包括驅(qū)動軸體部和驅(qū)動連接部，所述驅(qū)動襯套套設(shè)在所述驅(qū)動連接部外部，所述工藝盤轉(zhuǎn)軸的底端形成有安裝孔，所述驅(qū)動襯套部分設(shè)置在所述安裝孔中，所述工藝盤轉(zhuǎn)軸通過所述驅(qū)動襯套、所述驅(qū)動連接部與所述驅(qū)動軸體部連接，其中，所述驅(qū)動連接部的橫截面為非圓形，所述驅(qū)動襯套的套孔與所述驅(qū)動連接部相匹配，所述工藝盤轉(zhuǎn)軸的所述安裝孔與所述驅(qū)動襯套相匹配，所述驅(qū)動軸旋轉(zhuǎn)時，帶動所述驅(qū)動襯套及所述工藝盤轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。推薦地，所述驅(qū)動襯套的外壁上形成有至少一個定位凸起，所述安裝孔的側(cè)壁上形成有至少一個定位槽，所述定位凸起一一對應(yīng)地插入所述定位槽中。推薦地，所述驅(qū)動連接部的側(cè)面包括至少一個定位平面，以使得所述驅(qū)動連接部的橫截面為非圓形。推薦地，所述驅(qū)動連接部的側(cè)面包括兩個所述定位平面，以及設(shè)置在兩個所述定位平面之間的兩個圓柱面。推薦地，所述驅(qū)動襯套包括相互連接的***襯套部和第二襯套部，所述***襯套部和所述第二襯套部沿所述工藝盤轉(zhuǎn)軸的軸線方向排列，所述第二襯套部位于所述***襯套部朝向所述驅(qū)動軸體部的一側(cè)，所述套孔包括形成在所述***襯套部中的驅(qū)動通孔和形成在所述第二襯套部中的軸通孔，所述驅(qū)動通孔與所述驅(qū)動連接部匹配。各種尼龍板及零件加工。
然后將碳化硅顆粒在真空條件、700℃下進行熱處理4h，得到預(yù)處理顆粒。(2)將第二分散劑聚乙烯醇溶解在水中形成溶液，將***碳源石墨和預(yù)處理顆粒在該溶液中均勻分散，再以環(huán)氧樹脂與酚醛樹脂的混合物作為粘結(jié)劑加入其中，進行球磨，球磨過程中的轉(zhuǎn)速為100轉(zhuǎn)/分，球磨時間為5h，得到第三漿料，將第三漿料在噴霧造粒塔中噴霧，得到平均尺寸為60微米的造粒粉。(3)將造粒粉均勻填滿模具，進行模壓成型，成型壓強為70mpa，保壓時間為90s，脫模，然后置入真空包裝袋中，抽真空，**后置于等靜壓機中等靜壓成型，成型壓力為200mpa，保壓時間為60s，得到***預(yù)制坯。(4)將***預(yù)制坯放置于真空排膠爐中，以每分鐘℃的速度升溫至900℃，保溫2h，得到排膠后的***預(yù)制坯。(5)將排膠后的***預(yù)制坯升溫至280℃，加入第二碳源石油焦，加熱1h，然后抽真空1h，再以氮氣加壓至3mpa，進行壓力浸滲，讓第二碳源滲入預(yù)制坯的孔隙中，降溫得到第二預(yù)制坯。(6)將第二預(yù)制坯放置于真空排膠爐中，以每分鐘℃的速度升溫至900℃，保溫2h，排膠后，機加工得到排膠后的第二預(yù)制坯。(7)將排膠后的第二預(yù)制坯和硅粉按質(zhì)量比為1∶，然后放置于真空高溫燒結(jié)爐中進行反應(yīng)燒結(jié)，燒結(jié)溫度為1400℃，保溫時間為5h。我們的零件被設(shè)計用于整個晶圓加工制程。河北PP半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工推薦廠家
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并實現(xiàn)對工藝盤的角度進行調(diào)整，進一步推薦地，當采用上述配合面軸向錯開的設(shè)計時，驅(qū)動通孔211與驅(qū)動連接部310之間為過盈配合，第二襯套部220的圓柱面與安裝孔之間為過盈配合。在本實用新型的實施例中，設(shè)置工藝盤轉(zhuǎn)軸1、驅(qū)動襯套2與驅(qū)動軸3之間均為過盈配合，從而使得工藝盤轉(zhuǎn)軸1和驅(qū)動襯套2能夠在安裝后保持與驅(qū)動軸3之間的同軸度。并且，*通過調(diào)整驅(qū)動軸3的朝向即可微調(diào)工藝盤轉(zhuǎn)軸1的角度，并**終實現(xiàn)對工藝盤的角度進行調(diào)整。為避免驅(qū)動通孔211與驅(qū)動連接部310之間的配合面尺寸的偏差導(dǎo)致零件損壞，推薦地，如圖6所示，驅(qū)動通孔211的內(nèi)壁上形成有避讓槽211a，避讓槽211a與驅(qū)動通孔211內(nèi)壁上圓柱面與平面的相貫線位置匹配。在本實用新型的實施例中，驅(qū)動通孔211內(nèi)壁上形成有避讓槽211a，驅(qū)動通孔211與驅(qū)動連接部310連接時，驅(qū)動連接部310側(cè)面的棱插入避讓槽211a中，從而能夠?qū)Ⅱ?qū)動通孔211與驅(qū)動連接部310之間的平面配合面與圓柱面配合面分離。在驅(qū)動通孔211與驅(qū)動連接部310為過盈配合時，平面配合面與圓柱面配合面可以分別向外發(fā)生微小形變，而驅(qū)動連接部310側(cè)面上的棱始終位于避讓槽211a中，從而不會因兩種配合面形變程度的不同而與驅(qū)動通孔211的內(nèi)壁之間發(fā)生刮擦。浙江PC半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工絕熱