巴頓C1908X205Y23分子泵軸承批發(fā)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-30

某 12 英寸晶圓廠的刻蝕機(jī)配備 4 臺(tái) 2000L/s 分子泵,原采用進(jìn)口鋼制軸承,平均每 6 個(gè)月因碳化硅顆粒污染導(dǎo)致軸承失效。新巴頓為其定制的 Si?N?陶瓷軸承,配合迷宮式密封結(jié)構(gòu),使軸承壽命延長(zhǎng)至 24 個(gè)月。該方案的重心在于:陶瓷球的硬度(HRC78-80)高于碳化硅顆粒,可減少磨粒磨損;密封唇口采用氟橡膠材質(zhì),在 150℃工況下仍保持彈性,阻止微粒侵入。改造后,該產(chǎn)線的非計(jì)劃停機(jī)率從 8% 降至 1%,年節(jié)約維護(hù)成本 120 萬(wàn)元。此外,公司為某 MOCVD 設(shè)備配套的軸承,通過(guò)在保持架中嵌入石墨自潤(rùn)滑塊,解決了金屬有機(jī)化合物沉積導(dǎo)致的軸承卡死問(wèn)題,使設(shè)備連續(xù)運(yùn)行時(shí)間突破 10000 小時(shí)。巴頓分子泵軸承:優(yōu)化內(nèi)部結(jié)構(gòu),提高運(yùn)轉(zhuǎn)效率。巴頓C1908X205Y23分子泵軸承批發(fā)

分子泵軸承

在面臨極端工況的機(jī)械領(lǐng)域,新巴頓分子泵軸承展現(xiàn)出優(yōu)越的環(huán)境適應(yīng)能力。針對(duì)高真空(10??Pa 以下)場(chǎng)景,采用全金屬密封結(jié)構(gòu)與無(wú)油潤(rùn)滑設(shè)計(jì),出氣率≤1×10?12Pa?m3/s,適用于空間探測(cè)設(shè)備的真空系統(tǒng);在超高壓環(huán)境(如深海探測(cè)機(jī)械)中,軸承外圈采用厚壁強(qiáng)化設(shè)計(jì),耐壓強(qiáng)度達(dá) 100MPa,配合防泄漏波紋管密封,防止海水侵入。某科研機(jī)構(gòu)的核聚變實(shí)驗(yàn)裝置中,分子泵軸承在強(qiáng)磁場(chǎng)(10T)與輻射環(huán)境下連續(xù)運(yùn)行 1000 小時(shí),性能衰減率<5%,證明其在極端機(jī)械工況下的可靠性。通過(guò)材料改性與結(jié)構(gòu)創(chuàng)新,新巴頓分子泵軸承持續(xù)突破機(jī)械應(yīng)用的邊界條件。上海巴頓C1903X205Y18分子泵軸承巴頓分子泵軸承:創(chuàng)新潤(rùn)滑技術(shù),降低摩擦損耗。

巴頓C1908X205Y23分子泵軸承批發(fā),分子泵軸承

分子泵軸承的涂層技術(shù)應(yīng)用進(jìn)展:新巴頓研發(fā)的 TiAlN 涂層(氮化鈦鋁)軸承,其涂層硬度達(dá) 3000HV,較傳統(tǒng) DLC 涂層耐磨性提升 50%,適用于含金屬蒸汽的真空環(huán)境。涂層厚度控制在 2-3μm,通過(guò)磁控濺射技術(shù)沉積,與基體結(jié)合強(qiáng)度>50N。某鋁蒸鍍?cè)O(shè)備使用該涂層軸承后,壽命從 3 個(gè)月延長(zhǎng)至 1 年,且蒸鍍鋁層的雜質(zhì)含量<0.001%,滿足光學(xué)鍍膜的高純度要求。此外,公司正在開(kāi)發(fā)的石墨烯復(fù)合涂層,可將摩擦系數(shù)降至 0.008,為超高速軸承提供新解決方案。

新巴頓根據(jù)機(jī)械工況為分子泵軸承提供精確的潤(rùn)滑脂選型方案。對(duì)于低溫環(huán)境(-40℃以下),選用全氟聚醚脂(PFPE),其傾點(diǎn)≤-60℃,在機(jī)械啟動(dòng)時(shí)的扭矩阻力≤0.05N?m;高速場(chǎng)景(轉(zhuǎn)速>50000rpm)采用硅油基脂,粘度指數(shù)>400,避免高速剪切導(dǎo)致的油脂變稀。在真空泵的實(shí)際應(yīng)用中,通過(guò) DGA(油液氣體分析)發(fā)現(xiàn),正確選型可使?jié)櫥难趸T導(dǎo)期延長(zhǎng)至 2000 小時(shí)以上,較錯(cuò)誤選型減少換脂頻率 50%。潤(rùn)滑脂的滴點(diǎn)控制在 260℃以上,確保機(jī)械在高溫工況(如軸承溫度 120℃)下不發(fā)生油脂流失,維持持續(xù)潤(rùn)滑效果。巴頓分子泵軸承:技術(shù)支持,解決客戶難題。

巴頓C1908X205Y23分子泵軸承批發(fā),分子泵軸承

新巴頓將其他行業(yè)的先進(jìn)技術(shù)遷移至分子泵軸承,為機(jī)械領(lǐng)域帶來(lái)創(chuàng)新應(yīng)用。借鑒航空發(fā)動(dòng)機(jī)軸承的涂層技術(shù),在分子泵軸承表面沉積 TiAlN 涂層(硬度 3000HV),耐磨性提升 3 倍,適用于含硬質(zhì)顆粒的機(jī)械工況(如礦山真空除塵設(shè)備);引入醫(yī)療器械的無(wú)菌加工理念,在食品機(jī)械的真空軸承中采用電解拋光表面(粗糙度 Ra≤0.2μm),配合 FDA 認(rèn)證潤(rùn)滑脂,滿足食品接觸安全要求。這種跨行業(yè)技術(shù)融合使分子泵軸承突破傳統(tǒng)應(yīng)用邊界,在機(jī)械行業(yè)的多元化場(chǎng)景中實(shí)現(xiàn)性能躍升。額定載荷經(jīng)精確計(jì)算,新巴頓分子泵軸承滿足機(jī)械不同工況的負(fù)載需求。楊浦區(qū)巴頓YCA1835SSW85分子泵軸承

巴頓分子泵軸承:嚴(yán)格測(cè)試流程,確保產(chǎn)品可靠性。巴頓C1908X205Y23分子泵軸承批發(fā)

新巴頓為機(jī)械行業(yè)用戶提供定制化分子泵軸承解決方案。根據(jù)特殊工況(如高真空 10??Pa、強(qiáng)輻射環(huán)境),可設(shè)計(jì)全陶瓷軸承(Si?N?球 + ZrO?套圈),其出氣率≤1×10?12Pa?m3/s,適用于核聚變實(shí)驗(yàn)設(shè)備。對(duì)于超高速場(chǎng)景(轉(zhuǎn)速>100000rpm),采用空氣靜壓軸承設(shè)計(jì),通過(guò)高壓空氣(壓力 0.4-0.6MPa)形成氣膜支撐,摩擦系數(shù)低至 0.0005,滿足機(jī)械行業(yè)的極端工況需求。定制化過(guò)程中,工程師會(huì)通過(guò)有限元分析(FEA)優(yōu)化軸承結(jié)構(gòu),如在大型分子泵中增加加強(qiáng)筋設(shè)計(jì),使軸承座的固有頻率避開(kāi)運(yùn)轉(zhuǎn)頻率 ±20%,避免機(jī)械共振。巴頓C1908X205Y23分子泵軸承批發(fā)