C1905X205Y12分子泵軸承中國(guó)代理商

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-07-29

新巴頓分子泵軸承在加工過(guò)程中進(jìn)行高精度動(dòng)平衡處理,殘余不平衡量≤1g?mm/kg,確保機(jī)械運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的低振動(dòng)特性。在大型分子泵機(jī)組中,軸承與轉(zhuǎn)子的組合動(dòng)平衡等級(jí)達(dá)到 G1.0(ISO 1940 標(biāo)準(zhǔn)),當(dāng)轉(zhuǎn)速 30000rpm 時(shí),軸承座振動(dòng)速度≤1.0mm/s。這種動(dòng)態(tài)平衡技術(shù)可避免機(jī)械系統(tǒng)因振動(dòng)導(dǎo)致的連接件松動(dòng)、密封失效等問(wèn)題,尤其適用于半導(dǎo)體光刻機(jī)的真空系統(tǒng) —— 該場(chǎng)景要求振動(dòng)振幅<10μm,軸承的高精度平衡配合阻尼器設(shè)計(jì),可將振動(dòng)控制在 5μm 以內(nèi),保障光刻工藝的精度。巴頓分子泵軸承:高效節(jié)能設(shè)計(jì),降低運(yùn)行成本。C1905X205Y12分子泵軸承中國(guó)代理商

分子泵軸承

在磁懸浮分子泵系統(tǒng)中,新巴頓的磁浮備用軸承發(fā)揮著安全保障作用。當(dāng)磁懸浮系統(tǒng)斷電時(shí),備用軸承需在 0.1 秒內(nèi)承接轉(zhuǎn)子載荷,避免高速轉(zhuǎn)子墜落損壞。公司設(shè)計(jì)的圓錐滾子備用軸承,采用淬火后 HRC62-64 的滲碳軸承鋼,配合凸度修形技術(shù),可承受瞬間高達(dá) 100g 的沖擊載荷。其與磁浮軸承的間隙控制在 0.1-0.2mm,既保證磁浮運(yùn)行時(shí)的無(wú)接觸狀態(tài),又確保斷電時(shí)的可靠承接。某科研用高真空系統(tǒng)采用該方案后,成功通過(guò) 1000 次斷電測(cè)試,軸承未出現(xiàn)任何塑性變形,滿足 ISO 16890 標(biāo)準(zhǔn)的嚴(yán)苛要求。黃浦區(qū)C1906X205Y13分子泵軸承低溫性能優(yōu)異,新巴頓分子泵軸承適用于航空航天低溫機(jī)械系統(tǒng)。

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四點(diǎn)接觸球軸承的軸向剛度優(yōu)化:四點(diǎn)接觸球軸承(QJ 系列)在分子泵中可承受雙向軸向載荷,其軸向剛度與接觸點(diǎn)分布密切相關(guān)。新巴頓通過(guò)優(yōu)化溝道曲率中心偏移量至 0.15mm,使單個(gè)軸承的軸向剛度達(dá)到 1.2×10?N/m,較傳統(tǒng)設(shè)計(jì)提升 30%。該結(jié)構(gòu)在磁懸浮分子泵中尤為重要,當(dāng)磁懸浮系統(tǒng)出現(xiàn)微小偏移時(shí),軸承可提供足夠的支撐剛度,避免轉(zhuǎn)子與定子碰撞。某磁浮分子泵制造商采用該軸承后,系統(tǒng)的臨界轉(zhuǎn)速?gòu)?30000 轉(zhuǎn) / 分鐘提升至 50000 轉(zhuǎn) / 分鐘,拓寬了設(shè)備的工作區(qū)間。

在機(jī)械行業(yè)中,分子泵軸承是實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境的主要部件,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)設(shè)備等領(lǐng)域。新巴頓(上海)軸承銷售有限公司的分子泵軸承,針對(duì)機(jī)械行業(yè)高轉(zhuǎn)速、低摩擦的工況需求,采用特殊材料與精密加工工藝。例如在半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備中,分子泵需維持 10??Pa 以下的高真空度,該軸承通過(guò)優(yōu)化滾道設(shè)計(jì),可承受高速旋轉(zhuǎn)時(shí)的離心力,同時(shí)降低發(fā)熱損耗,確保泵體長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。其適配的機(jī)械類型涵蓋渦輪分子泵、復(fù)合分子泵等,能滿足不同真空系統(tǒng)對(duì)軸承可靠性的嚴(yán)苛要求,為機(jī)械行業(yè)的真空工藝提供基礎(chǔ)保障。具備智能監(jiān)測(cè)功能,新巴頓分子泵軸承實(shí)時(shí)掌握運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài),保障安全。

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分子泵軸承的涂層技術(shù)應(yīng)用進(jìn)展:新巴頓研發(fā)的 TiAlN 涂層(氮化鈦鋁)軸承,其涂層硬度達(dá) 3000HV,較傳統(tǒng) DLC 涂層耐磨性提升 50%,適用于含金屬蒸汽的真空環(huán)境。涂層厚度控制在 2-3μm,通過(guò)磁控濺射技術(shù)沉積,與基體結(jié)合強(qiáng)度>50N。某鋁蒸鍍?cè)O(shè)備使用該涂層軸承后,壽命從 3 個(gè)月延長(zhǎng)至 1 年,且蒸鍍鋁層的雜質(zhì)含量<0.001%,滿足光學(xué)鍍膜的高純度要求。此外,公司正在開(kāi)發(fā)的石墨烯復(fù)合涂層,可將摩擦系數(shù)降至 0.008,為超高速軸承提供新解決方案。新巴頓分子泵軸承經(jīng)嚴(yán)格質(zhì)量把控,從選材到成品,品質(zhì)可靠有保障。黃浦區(qū)巴頓A540ZA分子泵軸承

新巴頓分子泵軸承潤(rùn)滑系統(tǒng)長(zhǎng)效設(shè)計(jì),減少機(jī)械維護(hù)頻次與成本。C1905X205Y12分子泵軸承中國(guó)代理商

響應(yīng)機(jī)械行業(yè)的環(huán)保要求,新巴頓分子泵軸承采用綠色制造工藝。熱處理工序使用真空淬火(無(wú)油煙排放),能耗較傳統(tǒng)鹽浴淬火降低 40%;包裝材料采用可降解塑料(降解率≥90%),減少白色污染。軸承潤(rùn)滑脂采用生物基合成油(如聚 α- 烯烴 PAO),廢棄后可自然降解,符合歐盟 REACH 法規(guī)(SVHC 清單≤0.1%)。在工程機(jī)械的真空吸塵設(shè)備中,這種環(huán)保設(shè)計(jì)使整機(jī)的 EcoVadis 評(píng)級(jí)提升至銀級(jí),滿足客戶的 ESG 合規(guī)需求,助力機(jī)械行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展目標(biāo)。C1905X205Y12分子泵軸承中國(guó)代理商