臥式爐在處理半導(dǎo)體材料時(shí)，如何避免交叉污染？

賽瑞達(dá)智能電子裝備（無(wú)錫）有限公司2025-04-19

每次處理不同材料或工藝前，對(duì)爐腔、石英舟等進(jìn)行徹底清潔，使用專門清潔劑和無(wú)塵擦拭工具去除殘留雜質(zhì)。采用分區(qū)供氣和單獨(dú)排氣系統(tǒng)，不同工藝使用的反應(yīng)氣體管道相互單獨(dú)，防止氣體交叉混合。在材料裝載區(qū)域設(shè)置潔凈隔離空間，避免外界污染物接觸待處理材料，從多個(gè)環(huán)節(jié)杜絕交叉污染。

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