返流率過高對真空泵系統(tǒng)有什么危害

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深圳市立成真空泵科技有限公司2025-07-19

返流率指泵工作時，與抽氣方向相反、通過入口的單位面積、單位時間內(nèi)泵液 (如油) 質(zhì)量流率。高返流率會污染被抽系統(tǒng)，像在對潔凈度要求高的半導體制造中，返流的泵油會影響芯片質(zhì)量。

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簡介：深圳市立成真空泵科技有限公司成立于2013年04月17日，注冊地位于深圳市福田區(qū)

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