RU2系列光柵系統(tǒng)信號(hào)處理系統(tǒng)如何降低細(xì)分誤差？

蘇州貝格納工業(yè)設(shè)備有限公司2025-05-13

RU2配備24位真差分ADC芯片，采樣速率達(dá)5MSPS，配合數(shù)字鎖相環(huán)技術(shù)將信號(hào)抖動(dòng)控制在5ps以內(nèi)。采用三階噪聲整形算法，將量化噪聲降低至-120dB水平。動(dòng)態(tài)補(bǔ)償模塊實(shí)時(shí)分析速度-加速度參數(shù)，通過(guò)前饋補(bǔ)償消除0.05μm級(jí)的動(dòng)態(tài)滯后誤差。獨(dú)特的諧波抑制技術(shù)可消除3/5次諧波干擾，使信號(hào)失真度<0.8%。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示，在1kHz振動(dòng)環(huán)境下，細(xì)分誤差峰峰值小于±15nm，比傳統(tǒng)設(shè)計(jì)提升4倍精度。雙路冗余處理架構(gòu)確保單通道故障時(shí)仍可維持基本測(cè)量功能。蘇州貝格納工業(yè)設(shè)備有限公司的精密信號(hào)處理技術(shù)，重新定義測(cè)量精度標(biāo)準(zhǔn)。

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