你知道三軸絲桿機在真空環(huán)境下的特殊設(shè)計要點嗎？

南京帝鼎數(shù)控科技有限公司2025-08-02

真空環(huán)境（如半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備）對絲桿機提出特殊要求： 材料選擇：必須采用不銹鋼（SUS440C）或鍍鎳處理，避免放氣污染真空腔，放氣率需＜10??Pa·m3/s 潤滑方案：使用全氟聚醚(PFPE)真空油脂，蒸發(fā)率＜0.1%/年 熱管理：真空環(huán)境下散熱困難，需計算熱平衡（Q=κAΔT/L），通常加裝水冷套控制溫升＜5℃ 密封設(shè)計：磁流體密封可達到10??Pa漏率，比傳統(tǒng)迷宮密封提高3個數(shù)量級 典型案例：某晶圓傳輸設(shè)備在10??Pa真空度下連續(xù)運行8000小時無故障

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