臥式爐的裝卸料操作有什么特點？?

賽瑞達智能電子裝備（無錫）有限公司2025-03-08

臥式爐裝卸料操作通常采用水平方向的進出料方式。裝料時，通過專門的裝卸料機構(gòu)，將半導(dǎo)體晶圓或其他待加工材料放置在水平載具上，再平穩(wěn)推送至爐腔內(nèi)部。卸料時操作相反，載具從爐腔中水平拉出。整個過程需在超潔凈環(huán)境下進行，防止灰塵等雜質(zhì)污染晶圓，影響半導(dǎo)體制造工藝質(zhì)量。裝卸料操作的速度與精細度對生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量影響明顯，需要嚴(yán)格把控，以確保每次裝卸料都能精確無誤，避免對晶圓造成損傷。?

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