瑞沃斯流體機械(蘇州)有限公司2024-11-13
通常來講,半導體是一種材料,硅是其中**主要的元素,還包括鍺、砷化鎵、碳化硅等。將半導體材料經(jīng)過一系列的工藝加工制成集成電路,繼而被用在各式我們熟知的電子設(shè)備上。像電視、電腦、手機等與日常活動息息相關(guān)的電子設(shè)備,都離不開半導體的“鼎力相助”。隨著電子設(shè)備的需求呈指數(shù)級增長,半導體元件的生產(chǎn)也在加快節(jié)奏。而在半導體生產(chǎn)中有著極為關(guān)鍵作用的壓縮空氣被大量需用。
集成電路是電子設(shè)備中極為精密的部分,一粒微小的灰塵或?qū)⒃斐烧麄€電路的失效。舉例來說,當電路板處于初始制造過程中時,微元件被放置在晶圓/電路板上。此時,這些組件不會相互連接,隨后要使用壓縮空氣將焊料嵌入(擠壓)到電路板上的微觀孔中,而如果壓縮空氣存在油污,就會對造價高昂的半導體元件造成損害。
因此其生產(chǎn)過程需要高度專業(yè)的技術(shù)和嚴苛潔凈的環(huán)境。使用0級無油的壓縮空氣,不僅是封閉生產(chǎn)環(huán)境的高純度保證,也將促進生產(chǎn)力提升,減少因污染而造成的生產(chǎn)損失。
半導體制造業(yè)通用用氣品質(zhì)要求如下:
1.含油要求 0.00ppm
2.含塵要求 0.01μm
3.**要求 -40℃至-70-°C(PDP)
4.排氣壓力 0.8-0.85MPa
主要用氣點如下:
1、儀表用氣
氣動元件、精密儀表
2、空分用氣
工藝保護用氣(制氮機)
3、工藝用氣
吹掃、清洗、冷卻、劃片、外延、刻蝕與沉積、離子注入
分選、測試、封裝、裝配、包裝、運輸和搬運、污水處理
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