潔凈車間潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,是檢驗(yàn)潔凈室質(zhì)量的重要標(biāo)準(zhǔn)。此標(biāo)準(zhǔn)會(huì)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,分為若干等級(jí),常用的有國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。內(nèi)部?jī)艋?jí)別可達(dá)100到10萬(wàn)級(jí)。車間內(nèi)局部對(duì)潔凈度要求高的區(qū)域,如流水線作業(yè)區(qū)的高精確度產(chǎn)品組裝區(qū)通常都是無(wú)塵車間。無(wú)塵車間,一般用工業(yè)鋁材如不銹鋼方通、噴塑方通等材料做框架,采用風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組FFU送風(fēng),四周采用防靜電垂簾,頂部鋪蓋密縫盲板,形成一個(gè)密縫區(qū)。FFU風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組可模塊化連接使用。潔凈的生產(chǎn)環(huán)境,中沃無(wú)塵車間助力產(chǎn)業(yè)發(fā)展。徐州無(wú)塵車間工程建設(shè)與設(shè)計(jì)
1、檢測(cè)儀器的選用對(duì)無(wú)塵車間內(nèi)的潔凈度的測(cè)量,可以采用凈化工程光散射粒子計(jì)數(shù)器、凝結(jié)核粒子計(jì)數(shù)器、電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡,但目前用得多的為光散射粒子計(jì)數(shù)器。由于此種粒子計(jì)數(shù)器在使用中可以對(duì)室內(nèi)空氣的含塵量進(jìn)行自動(dòng)、連續(xù)、及時(shí)地對(duì)應(yīng)測(cè)量,并且可以直接顯示瞬時(shí)的含塵濃度,也可以對(duì)不同粒徑的含塵濃度進(jìn)行測(cè)量,使用簡(jiǎn)單、方便、及時(shí)、靈活。計(jì)數(shù)器大體上可分這兩種類型:一種是照射系統(tǒng)光軸與檢測(cè)系統(tǒng)光軸交叉布置的側(cè)向散射型;另一種是兩光軸布置在同一直線上的前向散射型。2、凈化車間潔凈度檢測(cè)取樣量關(guān)于塵埃粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)時(shí)的空氣取樣量,在國(guó)標(biāo)GBJ73-84中規(guī)定:對(duì)于100級(jí)的無(wú)塵車間,每次取樣量應(yīng)大于或等于1L,對(duì)于1000~10000級(jí)的無(wú)塵車間,每次取樣量應(yīng)大于或等于0.3L,對(duì)于10000級(jí)的無(wú)塵車間,每次取樣量應(yīng)大于或等于0.1L。半導(dǎo)體無(wú)塵車間價(jià)格在這種車間內(nèi),空氣中的顆粒物數(shù)量非常少,甚至可以達(dá)到每立方米空氣中只有幾個(gè)顆粒物的程度。
在上海中沃電子科技有限公司打造的無(wú)塵車間里,電子芯片制造有了堅(jiān)實(shí)的環(huán)境基礎(chǔ)。芯片制造對(duì)塵埃粒子極為敏感,哪怕是一粒微小的灰塵,都可能在芯片的電路中造成短路或斷路,導(dǎo)致芯片報(bào)廢。無(wú)塵車間通過(guò)高效的空氣凈化系統(tǒng),持續(xù)過(guò)濾空氣中的塵埃、微生物等污染物,將潔凈度控制在極高水平。在這里,從晶圓的清洗、光刻,到蝕刻、封裝等每一道工序,都能在近乎無(wú)塵的環(huán)境下進(jìn)行。這不僅提高了芯片的良品率,降低了生產(chǎn)成本,還使得制造出的芯片性能更加穩(wěn)定可靠,能滿足高? 端電子設(shè)備對(duì)芯片的嚴(yán)苛要求,助力我國(guó)電子產(chǎn)業(yè)向更高精度、更高性能的方向發(fā)展。
生物潔凈室尤其是生物安全實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)一般含有活性的有毒有害的病菌等微生物。因此這類排風(fēng)須經(jīng)過(guò)過(guò)濾滅菌后再排放。如手術(shù)室的排風(fēng)須經(jīng)過(guò)中效過(guò)濾方能排到室外;P3實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)須經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾器過(guò)濾后方能排到室外;P4實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)須經(jīng)過(guò)兩級(jí)高效過(guò)濾器過(guò)濾后才能排到室外??紤]安全比較好采用袋進(jìn)袋出的高效過(guò)濾器裝置。在潔凈室高效過(guò)濾器的應(yīng)用上,國(guó)家規(guī)定在潔凈度10萬(wàn)級(jí)或高于10萬(wàn)級(jí)以上的空氣凈化處理,應(yīng)采用初效、中效、高效過(guò)濾器的三級(jí)過(guò)濾。在設(shè)計(jì)方面的原因,有時(shí)因空間所限未能采用“頂送側(cè)回"或者回風(fēng)口數(shù)量不夠?qū)I(yè)的無(wú)塵設(shè)計(jì),中沃車間滿足多種生產(chǎn)需求。
對(duì)于100級(jí)無(wú)塵車間,宜采用大流量粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行測(cè)試。如果不具備,也應(yīng)采用每次采樣量不小于1L的粒子計(jì)數(shù)器。在對(duì)無(wú)塵車間進(jìn)行潔凈度檢測(cè)時(shí),盡管規(guī)定了空氣的小采樣量,但在實(shí)際工作中,我們應(yīng)在保證小采樣量前提條件下,根據(jù)已有的檢測(cè)設(shè)備,盡量采用大流量的塵埃粒子計(jì)數(shù)器。3、檢測(cè)點(diǎn)的布置根據(jù)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GBJ73-84《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》的規(guī)定:在對(duì)無(wú)塵車間進(jìn)行潔凈度檢測(cè)時(shí),檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)為距室內(nèi)地坪1.00m的水平面 內(nèi);對(duì)于單向流型無(wú)塵車間測(cè)點(diǎn)總數(shù)應(yīng)不小于20點(diǎn),測(cè)點(diǎn)間距為0.5-2.0m。水平單向流測(cè)點(diǎn)布置在無(wú)塵車間工作區(qū)內(nèi);非單向流無(wú)塵車間按無(wú)塵車間面積小于或等于50m2布置5個(gè)測(cè)點(diǎn)。4、關(guān)于等動(dòng)力采樣的問(wèn)題所謂等動(dòng)力采樣就是在檢測(cè)時(shí),粒子的計(jì)數(shù)器的采樣管的入口方向與被采樣的單向氣流方向相一致,而且空氣進(jìn)入取樣管入口的平均速度與該位置單向氣流的平均速度相同。影響使用效果,適用于電子、精密制造的一般無(wú)塵車間。半導(dǎo)體無(wú)塵車間價(jià)格
中沃無(wú)塵車間,領(lǐng)潔凈生產(chǎn)新潮流。徐州無(wú)塵車間工程建設(shè)與設(shè)計(jì)
科研實(shí)驗(yàn)往往需要精確的結(jié)果和可重復(fù)性,上海中沃電子科技的無(wú)塵車間為科研工作提供了可靠的環(huán)境保障。在材料科學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)中,環(huán)境中的塵埃和雜質(zhì)可能會(huì)干擾實(shí)驗(yàn)結(jié)果,影響實(shí)驗(yàn)的準(zhǔn)確性和可靠性。無(wú)塵車間能夠提供一個(gè)高度潔凈、穩(wěn)定的實(shí)驗(yàn)環(huán)境,減少外界因素對(duì)實(shí)驗(yàn)的干擾。科研人員可以在這里進(jìn)行各種精密的實(shí)驗(yàn)操作,如納米材料的制備、生物樣本的培養(yǎng)等。這有助于提高科研實(shí)驗(yàn)的質(zhì)量和效率,推動(dòng)科研成果的轉(zhuǎn)化和應(yīng)用,為我國(guó)的科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供有力的支持。徐州無(wú)塵車間工程建設(shè)與設(shè)計(jì)