然后將碳化硅顆粒在真空條件、700℃下進(jìn)行熱處理4h，得到預(yù)處理顆粒。(2)將第二分散劑聚乙烯醇溶解在水中形成溶液，將***碳源石墨和預(yù)處理顆粒在該溶液中均勻分散，再以環(huán)氧樹(shù)脂與酚醛樹(shù)脂的混合物作為粘結(jié)劑加入其中，進(jìn)行球磨，球磨過(guò)程中的轉(zhuǎn)速為100轉(zhuǎn)/分，球磨時(shí)間為5h，得到第三漿料，將第三漿料在噴霧造粒塔中噴霧，得到平均尺寸為60微米的造粒粉。(3)將造粒粉均勻填滿模具，進(jìn)行模壓成型，成型壓強(qiáng)為70mpa，保壓時(shí)間為90s，脫模，然后置入真空包裝袋中，抽真空，**后置于等靜壓機(jī)中等靜壓成型，成型壓力為200mpa，保壓時(shí)間為60s，得到***預(yù)制坯。(4)將***預(yù)制坯放置于真空排膠爐中，以每分鐘℃的速度升溫至900℃，保溫2h，得到排膠后的***預(yù)制坯。(5)將排膠后的***預(yù)制坯升溫至280℃，加入第二碳源石油焦，加熱1h，然后抽真空1h，再以氮?dú)饧訅褐?mpa，進(jìn)行壓力浸滲，讓第二碳源滲入預(yù)制坯的孔隙中，降溫得到第二預(yù)制坯。(6)將第二預(yù)制坯放置于真空排膠爐中，以每分鐘℃的速度升溫至900℃，保溫2h，排膠后，機(jī)加工得到排膠后的第二預(yù)制坯。(7)將排膠后的第二預(yù)制坯和硅粉按質(zhì)量比為1∶，然后放置于真空高溫?zé)Y(jié)爐中進(jìn)行反應(yīng)燒結(jié)，燒結(jié)溫度為1400℃，保溫時(shí)間為5h。CNC 銑削加工服務(wù) ，CNC 銑削加工部件。天津CPVC半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工哪里買(mǎi)
第二溶劑能夠溶解第二分散劑。在其中一個(gè)實(shí)施例中，第二溶劑為水或酒精?？梢岳斫?，在其他實(shí)施例中，第二溶劑還可以為其他物質(zhì)。第二分散劑包括四甲基氫氧化銨、聚乙烯吡咯烷酮、丙烯酸銨、丙烯酸鈉、聚乙烯醇及聚乙烯醇縮丁醛中的至少一種。在本實(shí)施方式中，***分散劑與第二分散劑可以相同，也可以不同。采用上述第二分散劑、第二溶劑和粘結(jié)劑能夠?qū)㈩A(yù)處理顆粒和***碳源均勻混合。具體地，步驟s120包括：步驟s122：將預(yù)處理顆粒與第二分散劑、第二溶劑、粘結(jié)劑和***碳源混合，并進(jìn)行球磨，得到球磨后的漿料。其中，球磨過(guò)程中的轉(zhuǎn)速為100轉(zhuǎn)/分～300轉(zhuǎn)/分，球磨的時(shí)間為1h～5h。通過(guò)球磨能夠使得預(yù)處理顆粒、第二分散劑、粘結(jié)劑和***碳源等混合均勻。步驟s124：將球磨后的漿料進(jìn)行噴霧造粒，得到造粒粉。通過(guò)步驟s122和步驟s124能夠得到均勻的造粒粉。在其中一個(gè)實(shí)施例中，造粒粉的平均尺寸為60微米～120微米。步驟s130：將造粒粉成型，得到***預(yù)制坯。具體地，步驟s130包括：將造粒粉先進(jìn)行模壓成型，成型壓力為70mpa～170mpa，保壓時(shí)間為10s～90s，然后進(jìn)行等靜壓成型，成型壓力為200mpa～400mpa，保壓時(shí)間為60s～180s，得到***預(yù)制坯。通過(guò)先進(jìn)行模壓成型。北京電木半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工管材還用作耐化學(xué)腐蝕材料和硬質(zhì)材料等.
附圖標(biāo)記說(shuō)明01：工藝盤(pán)1：工藝盤(pán)轉(zhuǎn)軸2：驅(qū)動(dòng)襯套210：***襯套部211：驅(qū)動(dòng)通孔211a：避讓槽220：第二襯套部221：軸通孔222：定位凸起3：驅(qū)動(dòng)軸310：驅(qū)動(dòng)連接部320：驅(qū)動(dòng)軸體部311：定位平面312：圓柱面4：傳動(dòng)筒41：內(nèi)凸臺(tái)結(jié)構(gòu)42：外凸臺(tái)結(jié)構(gòu)43：擋環(huán)槽5：密封襯套6：波浪管7：擋環(huán)8：調(diào)平件9：傳動(dòng)架91：傳動(dòng)法蘭92：法蘭連接件10：軸承座101：上法蘭102：下法蘭11：升降機(jī)構(gòu)12：電機(jī)13：定位塊具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的具體實(shí)施方式*用于說(shuō)明和解釋本實(shí)用新型，并不用于限制本實(shí)用新型。本實(shí)用新型的發(fā)明人在實(shí)驗(yàn)中發(fā)現(xiàn)，工件在工藝盤(pán)上出現(xiàn)擺放位置偏移的問(wèn)題是工藝盤(pán)與相應(yīng)的旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)組件之間出現(xiàn)滑移導(dǎo)致的。發(fā)明人在進(jìn)行過(guò)大量實(shí)驗(yàn)研究后發(fā)現(xiàn)，在現(xiàn)有的半導(dǎo)體設(shè)備中，為了實(shí)現(xiàn)向工藝盤(pán)傳遞扭矩，通常采用圓柱面摩擦傳動(dòng)的方式帶動(dòng)，而正是該摩擦傳動(dòng)方式使得傳動(dòng)件的摩擦面長(zhǎng)時(shí)間發(fā)生相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)，導(dǎo)致配合面發(fā)生摩擦磨損，進(jìn)而影響了對(duì)位精度。因此，為解決上述技術(shù)問(wèn)題，作為本實(shí)用新型的***個(gè)方面，提供一種半導(dǎo)體設(shè)備中的工藝盤(pán)組件，如圖1至3所示，工藝盤(pán)組件包括工藝盤(pán)01和工藝盤(pán)轉(zhuǎn)軸1。
工藝盤(pán)組件還包括軸承座10，傳動(dòng)筒4的外凸臺(tái)結(jié)構(gòu)42設(shè)置在軸承座10內(nèi)，且傳動(dòng)筒4的兩端設(shè)置在軸承座10外；外凸臺(tái)與軸承座10的內(nèi)壁之間設(shè)置有前述的軸承，使得傳動(dòng)筒4能夠繞軸線相對(duì)軸承座10旋轉(zhuǎn)；為便于安裝，如圖3所示，軸承座10可以包括上法蘭101和下法蘭102，上法蘭101和下法蘭102上均形成有軸孔，傳動(dòng)筒4朝向工藝盤(pán)01的一端穿過(guò)上法蘭101上的軸孔，傳動(dòng)筒4背離工藝盤(pán)01的一端穿過(guò)下法蘭102上的軸孔。為保證定位傳動(dòng)筒4的軸向定位，避免傳動(dòng)筒4在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)晃動(dòng)，推薦地，上述滾針軸承為推力滾針軸承，且位于外凸臺(tái)結(jié)構(gòu)42背離工藝盤(pán)01一側(cè)的推力滾針軸承與下法蘭102之間還設(shè)置有碟形彈簧。在傳動(dòng)筒4安裝至軸承座10中時(shí)，傳動(dòng)筒4的兩端分別穿過(guò)上法蘭101和下法蘭102上的軸孔，在上法蘭101和下法蘭102通過(guò)固定連接件(如螺栓)連接在一起的同時(shí)，推力滾針軸承分別被壓緊貼合在外凸臺(tái)結(jié)構(gòu)42的上下兩面，并由碟形彈簧維持推力滾針軸承上的軸向壓力，從而保證定位傳動(dòng)筒4的軸向定位。推薦地，如圖3所示，上法蘭101和下法蘭102在上述軸孔處均設(shè)置有環(huán)繞傳動(dòng)筒4的油封，以避免軸承座10中的潤(rùn)滑液逸出或外界物質(zhì)進(jìn)入軸承座10中對(duì)造成傳動(dòng)件的腐蝕、磨損。推薦地，如圖1、圖2所示。與高度研磨液接觸，暴露于多種高腐蝕性化學(xué)品。
所述工藝盤(pán)組件為前面所述的工藝盤(pán)組件，所述工藝盤(pán)組件的工藝盤(pán)設(shè)置在所述工藝腔中。在本實(shí)用新型提供的工藝盤(pán)組件以及半導(dǎo)體設(shè)備中，工藝盤(pán)轉(zhuǎn)軸通過(guò)驅(qū)動(dòng)襯套、驅(qū)動(dòng)連接部與驅(qū)動(dòng)軸體部連接，驅(qū)動(dòng)連接部的橫截面為非圓形，而驅(qū)動(dòng)襯套的套孔與驅(qū)動(dòng)連接部相匹配，工藝盤(pán)轉(zhuǎn)軸的安裝孔與驅(qū)動(dòng)襯套相匹配。從而通過(guò)非圓柱體的驅(qū)動(dòng)連接部與驅(qū)動(dòng)襯套上的異形孔之間的配合將扭矩傳遞至驅(qū)動(dòng)襯套，進(jìn)而基于安裝孔與驅(qū)動(dòng)襯套的配合關(guān)系傳遞至工藝盤(pán)轉(zhuǎn)軸，從而能夠避免驅(qū)動(dòng)軸與驅(qū)動(dòng)襯套之間發(fā)生相對(duì)滑動(dòng)，提高了工藝盤(pán)轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)角度的控制精度，進(jìn)而提高了工件的放置精度。附圖說(shuō)明附圖是用來(lái)提供對(duì)本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的一部分，與下面的具體實(shí)施方式一起用于解釋本實(shí)用新型，但并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限制。在附圖中：圖1是本實(shí)用新型提供的工藝盤(pán)組件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1所示的工藝盤(pán)組件的a-a向剖視圖；圖3是圖2中虛線圈出部分的放大示意圖；圖4是圖3的局部放大示意圖；圖5是本實(shí)用新型提供的工藝盤(pán)組件中驅(qū)動(dòng)軸的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是本實(shí)用新型提供的工藝盤(pán)組件中驅(qū)動(dòng)襯套的結(jié)構(gòu)示意圖；圖7是本實(shí)用新型提供的工藝盤(pán)組件中驅(qū)動(dòng)襯套與驅(qū)動(dòng)軸連接后的結(jié)構(gòu)示意圖。并其生產(chǎn)過(guò)程依照優(yōu)良制造標(biāo)準(zhǔn)（GMP）控制。PP半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工特質(zhì)
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圖8是本實(shí)用新型提供的工藝盤(pán)組件中驅(qū)動(dòng)襯套與驅(qū)動(dòng)軸連接前的位姿關(guān)系示意圖；圖9是本實(shí)用新型提供的工藝盤(pán)組件中驅(qū)動(dòng)襯套與驅(qū)動(dòng)軸連接后的局部剖面示意圖；圖10是本實(shí)用新型提供的工藝盤(pán)組件中工藝盤(pán)轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動(dòng)襯套和驅(qū)動(dòng)軸連接后的結(jié)構(gòu)示意圖；圖11是本實(shí)用新型提供的工藝盤(pán)組件中工藝盤(pán)轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動(dòng)襯套和驅(qū)動(dòng)軸連接前的位姿關(guān)系示意圖；圖12是本實(shí)用新型提供的工藝盤(pán)組件中工藝盤(pán)轉(zhuǎn)軸與驅(qū)動(dòng)襯套和驅(qū)動(dòng)軸連接后的局部剖面示意圖；圖13是本實(shí)用新型提供的工藝盤(pán)組件中傳動(dòng)筒的結(jié)構(gòu)示意圖；圖14是本實(shí)用新型提供的工藝盤(pán)組件中傳動(dòng)筒與驅(qū)動(dòng)軸固定連接前的位姿關(guān)系示意圖；圖15是本實(shí)用新型提供的工藝盤(pán)組件中傳動(dòng)筒與驅(qū)動(dòng)軸固定連接后的位置關(guān)系示意圖；圖16是本實(shí)用新型提供的工藝盤(pán)組件中工藝盤(pán)轉(zhuǎn)軸、驅(qū)動(dòng)襯套和驅(qū)動(dòng)軸在傳動(dòng)筒中的位置關(guān)系示意圖。天津CPVC半導(dǎo)體與電子工程塑料零件定制加工哪里買(mǎi)