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晶圓測試基本的一點(diǎn)就是:晶圓測試必須能夠辨別芯片的好壞,并使合格芯片繼續(xù)進(jìn)入下面的封裝工藝。為了確保芯片功能和成品率的有效測試,封裝廠商和設(shè)備制造者需要不斷探索,進(jìn)而找到高精度、高效率和低成本的測試方法,并運(yùn)用新的組裝工藝要求對晶圓片進(jìn)行探測,這些要求將引起設(shè)備和工藝過程的重大變化。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動(dòng),半自動(dòng),全自動(dòng),從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應(yīng)探針臺,表面電阻率探針臺。磁場探針臺主要用于半導(dǎo)體材料、微納米器件、磁性材料。陜西手動(dòng)探針臺配件廠家
探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。探針臺分類:探針臺從操作上來區(qū)分有:手動(dòng),半自動(dòng),全自動(dòng)。從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應(yīng)探針臺,表面電阻率探針臺。經(jīng)濟(jì)手動(dòng)型根據(jù)客戶需求定制:chuck尺寸:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選);X-Y移動(dòng)行程:4"*4"6"*6"8"*8"12"*12"(可選);chuckZ軸方向升降10mm(選項(xiàng))方便探針與樣品快速分離;顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選);顯微鏡移動(dòng)方式:立柱環(huán)繞型、移動(dòng)平臺型、龍門結(jié)構(gòu)型(可選);探針座:有0.7um、2um、10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關(guān);可搭配Probecard測試;適用領(lǐng)域:晶圓廠、研究所、高校等。天津智能探針臺加工廠家芯片測試是為了檢驗(yàn)規(guī)格的一致性而在硅片集成電路上進(jìn)行的電學(xué)參數(shù)測量。
隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點(diǎn)到被測位置就顯得無能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對此測試、分析。探針臺執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動(dòng),移動(dòng)范圍12mm,移動(dòng)精度可以達(dá)到0.7微米。這樣可以把探針很好的點(diǎn)到待測點(diǎn)上(說明探針是耗材,一般客戶自己準(zhǔn)備),探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機(jī)上,從而得到電性能的參數(shù)。對于重復(fù)測試同種器件,多個(gè)點(diǎn)位的推薦使用探針臺安裝探卡進(jìn)行測試。
手動(dòng)探針臺的使用方式:待測點(diǎn)位置確認(rèn)好后,再調(diào)節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點(diǎn)的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個(gè)微調(diào)旋鈕,慢慢的將探針移至被測點(diǎn),此時(shí)動(dòng)作要小心且緩慢,以防動(dòng)作過大誤傷芯片,當(dāng)探針針尖懸空于被測點(diǎn)上空時(shí),可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,再使用Z軸旋鈕進(jìn)行下針,然后則使用X軸旋鈕左右滑動(dòng),觀察是否有少許劃痕,證明是否已經(jīng)接觸。確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后,則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。常見故障的排除當(dāng)您使用本儀器時(shí),可能會碰到一些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。手動(dòng)探針臺技術(shù)參數(shù)。系統(tǒng)在測試每個(gè)芯片的時(shí)候?qū)π酒暮脡呐c否進(jìn)行判斷,發(fā)出合格與不合格的信號。
射頻測試探針必須具有與測試點(diǎn)相匹配的阻抗。通常要做的是在設(shè)計(jì)中各個(gè)預(yù)先計(jì)劃好的測試點(diǎn)焊接射頻同軸電纜(尾纖)。這有助于確保足夠的阻抗匹配,并且測試點(diǎn)可以選在對整體設(shè)計(jì)性能產(chǎn)生較小影響的區(qū)域。其他方法包括將用的射頻探針焊接到自定義焊盤或者引線設(shè)計(jì)上,從而減少侵入性探測。高性能測試設(shè)備供應(yīng)商可以提供高達(dá)毫米波頻率的用探針。但這些探針的末端通常都很昂貴,且無法持續(xù)訪問組成元件的電路。因此,它們在大容量的測試應(yīng)用或者故障排除應(yīng)用中受到限制,更適合于原型設(shè)計(jì)和研發(fā)。上海勤確科技有限公司降低客戶風(fēng)險(xiǎn)才是能夠良好合作的開始。天津智能探針臺加工廠家
晶圓測試一般在晶圓廠、封測廠或?qū)iT的測試代工廠進(jìn)行,主要用到的設(shè)備為測試機(jī)和探針臺。陜西手動(dòng)探針臺配件廠家
手動(dòng)探針臺的使用方式:1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關(guān),使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動(dòng)卡盤平臺將樣品待測試點(diǎn)移動(dòng)至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點(diǎn),再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中心。5.確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后,則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試。常見故障的排除當(dāng)您使用本儀器時(shí),可能會碰到一些問題,下表列舉了常見的故障及解決方法。手動(dòng)探針臺技術(shù)參數(shù)。陜西手動(dòng)探針臺配件廠家