光譜共焦測(cè)量技術(shù)由于其具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、可以實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量的獨(dú)特優(yōu)勢(shì)而被大量應(yīng)用于工業(yè)級(jí)測(cè)量。讓我們先來(lái)看一下光譜共焦技術(shù)的起源和光譜共焦技術(shù)在精密幾何量計(jì)量測(cè)試中的成熟典型應(yīng)用。共焦顯微術(shù)的概念首先是由美國(guó)的 Minsky 于 1955年提出, 其利用共焦原理搭建臺(tái)共焦顯微鏡, 并于1957年申請(qǐng)了專利。自20世紀(jì)90年代, 隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)的飛速發(fā)展, 共焦顯微術(shù)成了研究的熱點(diǎn),得到快速的發(fā)展。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái),其無(wú)需軸向掃描, 直接由波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)軸向距離信息, 從而大幅提高測(cè)量速度。 而基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來(lái)出現(xiàn)的一種高精度、 非接觸式的新型傳感器, 目前精度上可達(dá)nm量級(jí)。 共焦測(cè)量術(shù)由于其高精度、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角、測(cè)量速度快、實(shí)時(shí)性高、對(duì)被測(cè)表面狀況要求低、以及高分辨率的獨(dú)特優(yōu)勢(shì),迅速成為工業(yè)測(cè)量的熱門傳感器,在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、 表面工程研究、 精密測(cè)量等領(lǐng)域得到大量應(yīng)用。光譜共焦技術(shù)是一種基于共焦顯微鏡原理的成像和分析技術(shù)。山西光譜共焦免費(fèi)咨詢
光譜共焦傳感器可以提供結(jié)合高精度和高速的新現(xiàn)代技術(shù)。這些特性使這些多功能距離和位移傳感器非常適合工業(yè) 4.0 的高要求。在工業(yè) 4.0 的世界中,傳感器必須能夠進(jìn)行高速測(cè)量并提供高精度結(jié)果,以確??煽康馁|(zhì)量保證。光學(xué)測(cè)量技術(shù)是非接觸式的,于目標(biāo)材料分開和表面特性,因此它們對(duì)生產(chǎn)和檢測(cè)過(guò)程變得越來(lái)越重要。這是“實(shí)時(shí)”生產(chǎn)過(guò)程中的一個(gè)主要優(yōu)勢(shì),在這種過(guò)程中,觸覺測(cè)量技術(shù)正在發(fā)揮其極限,尤其是當(dāng)目標(biāo)位于難以接近的區(qū)域時(shí)。光譜共焦傳感器提供突破性的技術(shù)、高精度和高速度。此外,共焦色差測(cè)量技術(shù)允許進(jìn)行距離測(cè)量、透明材料的多層厚度測(cè)量、強(qiáng)度評(píng)估以及鉆孔和凹槽內(nèi)的測(cè)量。測(cè)量過(guò)程是無(wú)磨損的、非接觸式的,并且實(shí)際上與表面特性無(wú)關(guān)。由于測(cè)量光斑尺寸極小,即使是非常小的物體也能被檢測(cè)到。因此,共焦色度測(cè)量技術(shù)適用于在線質(zhì)量控制。溫州光譜共焦常見問(wèn)題光譜共焦技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的定量分析。
高像素傳感器設(shè)計(jì)方案取決于的光對(duì)焦水平,要求嚴(yán)格圖象室內(nèi)空間NA的眼鏡片。另一方面,光譜共焦位移傳感器的屏幕分辨率通常采用光譜抗壓強(qiáng)度的全半寬來(lái)精確測(cè)量。高NA能夠降低半寬,提高分辨率。因而,在設(shè)計(jì)超色差攝像鏡頭時(shí),NA應(yīng)盡可能高的。高圖象室內(nèi)空間NA能提高傳感器系統(tǒng)的燈源使用率,使待測(cè)表層輪廊以比較大視角或一定方向歪斜??墒牵琋A的提高也會(huì)導(dǎo)致球差擴(kuò)大,并產(chǎn)生電子光學(xué)設(shè)計(jì)優(yōu)化難度。傳感器檢測(cè)范圍主要是由超色差鏡片的縱向色差確定。因?yàn)楣庾V儀在各個(gè)波長(zhǎng)的像素一致,假如縱向色差與波長(zhǎng)之間存在離散系統(tǒng),這類離散系統(tǒng)也會(huì)導(dǎo)致感應(yīng)器在各個(gè)波長(zhǎng)的像素或敏感度存在較大差別,危害傳感器特性??v向色差與波長(zhǎng)的線性相關(guān)選用線形相關(guān)系數(shù)來(lái)精確測(cè)量,必須接近1。一般有兩種方法能夠形成充足強(qiáng)的色差:運(yùn)用玻璃的當(dāng)然散射;應(yīng)用衍射光學(xué)元器件(DOE)。除開生產(chǎn)制造難度高、成本相對(duì)高外,當(dāng)能見光根據(jù)時(shí),透射耗損也非常高。
集成于2D掃描系統(tǒng)上,光譜共焦位移傳感器可以提供針對(duì)負(fù)載表面形貌的2D和高度測(cè)量數(shù)據(jù)。創(chuàng)新的光譜共焦原理使本傳感器可以直接透過(guò)透明件工件的前后表面測(cè)量厚度,整個(gè)過(guò)程需要使用一個(gè)傳感器從工件的一個(gè)側(cè)面測(cè)量。相對(duì)于三角反射原理的激光位移傳感器,本儀器因采用同軸光,從而可以更有效地測(cè)量弧工件的厚度。高采樣頻率,小尺寸體積和卡放的數(shù)據(jù)接口,使本儀器非常容易集成至在線生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備中,實(shí)現(xiàn)線上檢測(cè)。由于采用超高的采樣頻率和超高精度,光譜共焦傳感器可以對(duì)震動(dòng)物件進(jìn)行測(cè)量,傳感器采用的非接觸設(shè)計(jì),避免測(cè)量過(guò)程中對(duì)震動(dòng)物件造成干擾,同時(shí)可以對(duì)復(fù)雜區(qū)域進(jìn)行詳細(xì)的測(cè)量和分析。該技術(shù)可以采集樣品不同深度處的光譜信息進(jìn)行測(cè)量。
隨著科技的不斷發(fā)展,光譜共焦技術(shù)已經(jīng)成為了現(xiàn)代制造業(yè)中不可或缺的一部分。作為一種高精度、高效率的檢測(cè)手段,光譜共焦技術(shù)在點(diǎn)膠行業(yè)中的應(yīng)用也日益大量。光譜共焦技術(shù)是一種基于光學(xué)原理的檢測(cè)方法,通過(guò)將白光分解為不同波長(zhǎng)的光波,實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的精細(xì)光譜分析。在制造業(yè)中,點(diǎn)膠是一道重要的工序,主要用于產(chǎn)品的密封、固定和保護(hù)。隨著制造業(yè)的不斷發(fā)展,對(duì)于點(diǎn)膠的質(zhì)量和精度要求也越來(lái)越高。光譜共焦技術(shù)的應(yīng)用,可以有效地提高點(diǎn)膠的品質(zhì)和效率。光譜共焦技術(shù)的研究集中在光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和優(yōu)化,以及數(shù)據(jù)處理和成像算法的研究。廣州光譜共焦成本價(jià)
光譜共焦技術(shù)的發(fā)展將有助于解決現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)和生活中的問(wèn)題。山西光譜共焦免費(fèi)咨詢
光譜共焦位移傳感器基本原理如圖1所示,由光源、分光鏡、光學(xué)色散鏡頭組、小孔以及光譜儀等部分組成。傳感器通過(guò)色散鏡頭進(jìn)行色散,將位移信息轉(zhuǎn)換成波長(zhǎng)信息,使用光譜儀進(jìn)行光譜分解得出波長(zhǎng)的變化信息,再反解得出被測(cè)位移。其中色散鏡頭作為光學(xué)部分完成了波長(zhǎng)和位移的一一映射,實(shí)現(xiàn)了波長(zhǎng)和位移之間的編碼轉(zhuǎn)化。光譜儀則實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)的測(cè)量及位移反解輸出。當(dāng)光譜信息突破小孔的限制,借助平面光柵、凹面反射鏡進(jìn)行光線的衍射和匯聚,將反射出來(lái)的匯聚光照射在線陣CCD上進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換,借助光譜信號(hào)采集實(shí)現(xiàn)模數(shù)轉(zhuǎn)換, 通過(guò)解碼得到位移信息。山西光譜共焦免費(fèi)咨詢
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