從傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡到熱紅外顯微鏡的演變,是其技術團隊對微觀熱分析需求的深度洞察與持續(xù)創(chuàng)新的結果。它既延續(xù)了通過紅外熱輻射解析熱行為的原理,又通過全尺度觀測、高靈敏度檢測、場景化分析等創(chuàng)新,突破了傳統(tǒng)技術的邊界。如今,這款設備已成為半導體失效分析、新材料熱特性研究、精密器件研發(fā)等領域的專業(yè)工具,為行業(yè)在微觀熱管控、缺陷排查、性能優(yōu)化等方面提供了更高效的技術支撐,推動微觀熱分析從 “可見” 向 “可知”“可控” 邁進。熱紅外顯微鏡憑借高靈敏度探測器,實現芯片微米級紅外熱分布觀察,鎖定異常熱點 ??蒲杏脽峒t外顯微鏡規(guī)格尺寸
致晟光電在推動產學研一體化進程中,積極開展校企合作。公司依托南京理工大學光電技術學院,專注開發(fā)基于微弱光電信號分析的產品及應用。雙方聯(lián)合攻克技術難題,不斷優(yōu)化實時瞬態(tài)鎖相紅外熱分析系統(tǒng)(RTTLIT),使該系統(tǒng)溫度靈敏度可達0.0001℃,功率檢測限低至1uW,部分功能及參數優(yōu)于進口設備。此外,致晟光電還與其他高校建立合作關系,搭建起學業(yè)-就業(yè)貫通式人才孵化平臺。為學生提供涵蓋研發(fā)設計、生產實踐、項目管理全鏈條的育人平臺,輸送了大量實踐能力強的專業(yè)人才,為企業(yè)持續(xù)創(chuàng)新注入活力。通過建立科研成果產業(yè)孵化綠色通道,高校的前沿科研成果得以快速轉化為實際生產力,實現了高??蒲匈Y源與企業(yè)市場轉化能力的優(yōu)勢互補。
制冷熱紅外顯微鏡性價比定位芯片內部微短路、漏電、焊點虛接等導致的熱異常點。
致晟光電熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)系列中的 RTTLIT P20 實時瞬態(tài)鎖相熱分析系統(tǒng),采用鎖相熱成像(Lock-inThermography)技術,通過調制電信號提升特征分辨率與靈敏度,并結合軟件算法優(yōu)化信噪比,實現顯微成像下超高靈敏度的熱信號測量。RTTLIT P20搭載100Hz高頻深制冷型超高靈敏度顯微熱紅外成像探測器,測溫靈敏度達0.1mK,顯微分辨率低至2μm,具備良好的檢測靈敏度與測試效能。該系統(tǒng)重點應用于對測溫精度和顯微分辨率要求嚴苛的場景,包括半導體器件、晶圓、集成電路、IGBT、功率模塊、第三代半導體、LED及microLED等的失效分析,是電子集成電路與半導體器件失效分析及缺陷定位領域的關鍵工具。
在國內失效分析設備領域,專注于原廠研發(fā)與生產的企業(yè)數量相對較少,尤其在熱紅外檢測這類高精度細分領域,具備自主技術積累的原廠更為稀缺。這一現狀既源于技術門檻 —— 需融合光學、紅外探測、信號處理等多學科技術,也受限于市場需求的專業(yè)化程度,導致多數企業(yè)傾向于代理或集成方案。
致晟光電正是國內少數深耕該領域的原廠之一。不同于單純的設備組裝,其從中樞技術迭代入手,在傳統(tǒng)熱發(fā)射顯微鏡基礎上進化出熱紅外顯微鏡,形成從光學系統(tǒng)設計、信號算法研發(fā)到整機制造的完整能力。這種原廠基因使其能深度理解國內半導體、材料等行業(yè)的失效分析需求,例如針對先進制程芯片的微小熱信號檢測、國產新材料的熱特性研究等場景,提供更貼合實際應用的設備與技術支持,成為本土失效分析領域不可忽視的自主力量。 熱紅外顯微鏡憑借≤0.001℃的溫度分辨率,助力復雜半導體失效分析 。
非制冷熱紅外顯微鏡基于微測輻射熱計,無需低溫制冷裝置,具有功耗低、維護成本低等特點,適合長時間動態(tài)監(jiān)測。其通過鎖相熱成像等技術優(yōu)化后,雖靈敏度(通常 0.01-0.1℃)和分辨率(普遍 5-20μm)略遜于制冷型,但性價比更高,。與制冷型對比,非制冷型無需制冷耗材,適合 PCB、PCBA 等常規(guī)電子元件失效分析;而制冷型(如 RTTLIT P20)靈敏度達 0.1mK、分辨率低至 2μm,價格高,多用于半導體晶圓等檢測。非制冷熱紅外顯微鏡在中低端工業(yè)檢測領域應用較多。快速鎖定 PCB 板上因線路搭接、元件損壞導致的熱點,尤其是隱藏在多層板內部的短路點??蒲杏脽峒t外顯微鏡價格走勢
熱紅外顯微鏡對電子元件進行無損熱檢測,保障元件完整性 ??蒲杏脽峒t外顯微鏡規(guī)格尺寸
致晟光電的熱紅外顯微鏡(Thermal EMMI)系列 ——RTTLIT P10 實時瞬態(tài)鎖相熱分析系統(tǒng),搭載非制冷型熱紅外成像探測器,采用鎖相熱成像(Lock-In Thermography)技術,通過調制電信號大幅提升特征分辨率與檢測靈敏度,具備高靈敏度、高性價比的突出優(yōu)勢。該系統(tǒng)鎖相靈敏度可達 0.001℃,顯微分辨率可達 5μm,分析速度快且檢測精度高,重點應用于電路板失效分析領域,可多用于適配 PCB、PCBA、大尺寸主板、分立元器件、MLCC 等產品的維修檢測場景。 科研用熱紅外顯微鏡規(guī)格尺寸