因在于OH基SiO2膜中的擴(kuò)散系數(shù)比O2的大。氧化反應(yīng),Si表面向深層移動(dòng),距離為SiO2膜厚的。因此,不同厚度的SiO2膜,去除后的Si表面的深度也不同。SiO2膜為透明,通過光干涉來(lái)估計(jì)膜的厚度。這種干涉色的周期約為200nm,如果預(yù)告知道是幾次干...
且所述片盒架能夠相對(duì)所述固定架自轉(zhuǎn),所述固定架的旋轉(zhuǎn)軸線與所述片盒架的旋轉(zhuǎn)軸線非共線設(shè)置。進(jìn)一步地,所述片盒架的數(shù)量為多個(gè),多個(gè)所述片盒架沿所述固定架的旋轉(zhuǎn)方向間隔設(shè)置在所述固定架上。進(jìn)一步地,所述固定架包括驅(qū)動(dòng)輪盤、從動(dòng)輪盤和連接桿,所述驅(qū)動(dòng)輪盤與所...
實(shí)踐證明基因芯片技術(shù)也可用于核酸突變的檢測(cè)及基因組多態(tài)性的分析。深圳市泰克光電科技有限公司成立于2012年,專業(yè)從事半導(dǎo)體自動(dòng)化、半導(dǎo)體及LED檢測(cè)儀器、半導(dǎo)體芯片點(diǎn)測(cè)機(jī)、LED封測(cè)設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)。經(jīng)過多年的發(fā)展,公司目前已經(jīng)是一家集設(shè)計(jì)、研發(fā)、生產(chǎn)...
本實(shí)用新型實(shí)施例推薦實(shí)施例的一種晶圓視覺檢測(cè)機(jī)的晶圓移載機(jī)構(gòu),其包括控制系統(tǒng)、升降裝置、承接裝置和感應(yīng)裝置,升降裝置包括升降驅(qū)動(dòng)器和升降板,升降驅(qū)動(dòng)器安裝在晶圓視覺檢測(cè)機(jī)上,升降驅(qū)動(dòng)器的輸入端與控制系統(tǒng)電連接。泰克光電是一家專注于共晶機(jī)制造的公司。我們...
以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊...
射頻探針:射頻探針的本質(zhì)為適配器,將芯片測(cè)量接口轉(zhuǎn)為同軸或波導(dǎo)端口。常見的射頻探針有GSG型、GS型、GSSG型等。射頻探針的主要參數(shù)有高工作頻率、探針針尖距(Pitch)等。目前,同軸接口的射頻探針頻率可達(dá)110 GHz(MPI目前適配安利的擴(kuò)頻模塊可到22...
基因芯片激光掃描共焦顯微鏡激光掃描共焦顯微鏡與激光掃描熒光顯微鏡結(jié)構(gòu)非常相似,但是由于采用了共焦技術(shù)因而更具優(yōu)越性。這種方法可以在熒光標(biāo)記分子與DNA芯片雜交的同時(shí)進(jìn)行雜交信號(hào)的探測(cè),而無(wú)須清洗掉未雜交分子,從而簡(jiǎn)化了操作步驟提高了工作效率。Affym...
多數(shù)方法需要在標(biāo)記和分析前對(duì)樣品進(jìn)行適當(dāng)程序的擴(kuò)增,不過也有不少人試圖繞過這一問題。深圳市泰克光電科技有限公司成立于2012年,專業(yè)從事半導(dǎo)體自動(dòng)化、半導(dǎo)體及LED檢測(cè)儀器、半導(dǎo)體芯片點(diǎn)測(cè)機(jī)、LED封測(cè)設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)。經(jīng)過多年的發(fā)展,公司目前已經(jīng)是一...
成為制造集成電路的石英半導(dǎo)體的材料,經(jīng)過照相制版,研磨,拋光,切片等程序,將多晶硅融解拉出單晶硅晶棒,然后切割成一片一片薄薄的晶圓。硅片用于集成電路(IC)基板、半導(dǎo)體封裝襯底材料,硅片劃切質(zhì)量直接影響芯片的良品率及制造成本。硅片劃片方法主要有金剛石砂...
工作人員可以通過控制系統(tǒng)控制升降電機(jī)驅(qū)動(dòng)升降板在豎直方向上移動(dòng)。承接裝置包括至少一個(gè)托臂,托臂與升降板連接,可隨升降板上下移動(dòng)。在搬運(yùn)晶圓時(shí),托臂位于夾取機(jī)構(gòu)的正下方,且靠近晶圓。夾取機(jī)構(gòu)夾取晶圓后,可將晶圓拖到托臂上,由升降驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)升降板和托臂下降...
當(dāng)芯片進(jìn)行高溫測(cè)試時(shí),為了提供加熱的效率,本實(shí)施例的加熱裝置還包括預(yù)加熱緩存機(jī)構(gòu)90,預(yù)加熱緩存機(jī)構(gòu)90位于自動(dòng)上料裝置40與測(cè)試裝置30之間。預(yù)加熱緩存機(jī)構(gòu)90包括預(yù)加熱墊板91、隔離板92、加熱器93、導(dǎo)熱板94及預(yù)加熱工作臺(tái)95。預(yù)加熱墊板91固定于支撐...
dSiO2)/(dox)=(nox)/(nSiO2)。SiO2膜很薄時(shí),看不到干涉色,但可利用Si的疏水性和SiO2的親水性來(lái)判斷SiO2膜是否存在。也可用干涉膜計(jì)或橢圓儀等測(cè)出。SiO2和Si界面能級(jí)密度和固定電荷密度可由MOS二極管的電容特性求得。...
因在于OH基SiO2膜中的擴(kuò)散系數(shù)比O2的大。氧化反應(yīng),Si表面向深層移動(dòng),距離為SiO2膜厚的。因此,不同厚度的SiO2膜,去除后的Si表面的深度也不同。SiO2膜為透明,通過光干涉來(lái)估計(jì)膜的厚度。這種干涉色的周期約為200nm,如果預(yù)告知道是幾次干...
但基因芯片從實(shí)驗(yàn)室走向工業(yè)化卻是直接得益于探針固相原位合成技術(shù)和照相平板印刷技術(shù)的有機(jī)結(jié)基因芯片合以及激光共聚焦顯微技術(shù)的引入。它使得合成、固定高密度的數(shù)以萬(wàn)計(jì)的探針分子切實(shí)可行,而且借助基因芯片激光共聚焦顯微掃描技術(shù)使得可以對(duì)雜交信號(hào)進(jìn)行實(shí)時(shí)、靈敏、...
以下以一個(gè)具體的例子對(duì)中轉(zhuǎn)裝置60的功能進(jìn)行進(jìn)一步說明。例如一個(gè)tray盤中較多可以放置50個(gè)芯片,自動(dòng)上料裝置40的每一個(gè)tray盤中都裝有50個(gè)芯片。移載裝置20吸取自動(dòng)上料裝置40的tray盤中的芯片到測(cè)試裝置30進(jìn)行測(cè)試,測(cè)試合格的芯片移載至自動(dòng)下料裝...
做一款芯片較基本的環(huán)節(jié)是設(shè)計(jì)->流片->封裝->測(cè)試,芯片成本構(gòu)成一般為人力成本20%,流片40%,封裝35%,測(cè)試5% 測(cè)試其實(shí)是芯片各個(gè)環(huán)節(jié)中較“便宜”的一步,在這個(gè)每家公司都喊著“Cost Down”的激烈市場(chǎng)中,人力成本逐年攀升,晶圓廠和封裝廠都在乙方...
以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊...
氫還原、氧化、替換反應(yīng)等)在基板上形成氮化物、氧化物、碳化物、硅化物、硼化物、高熔點(diǎn)金屬、金屬、半導(dǎo)體等薄膜方法。因只在高溫下反應(yīng)故用途被限制,但由于其可用領(lǐng)域中,則可得致密高純度物質(zhì)膜,且附著強(qiáng)度很強(qiáng),若用心控制,則可得安定薄膜即可輕易制得觸須(短纖...
所述頭一滑塊18靠近所述第四滑塊28的一側(cè)開設(shè)有頭一齒條滑槽1801,所述第四滑塊28靠近所述頭一滑塊18的一側(cè)開設(shè)有與所述頭一齒條滑槽1801相對(duì)的第四齒條滑槽2801,頭一調(diào)節(jié)齒條20滑動(dòng)連接在所述頭一齒條滑槽1801 內(nèi),所述頭一滑塊18上通過頭一轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)...
晶圓除氮化硅此處用干法氧化法將氮化硅去除晶圓離子注入離子布植將硼離子(B+3)透過SiO2膜注入襯底,形成P型阱離子注入法是利用電場(chǎng)加速雜質(zhì)離子,將其注入硅襯底中的方法。離子注入法的特點(diǎn)是可以精密地控制擴(kuò)散法難以得到的低濃度雜質(zhì)分布。MOS電路制造中,...
面積超過2000多平方米。具體實(shí)施例方式如附圖I所示,BGA植球工藝,包括以下步驟步驟SI,把鋼網(wǎng)裝到印刷機(jī)的安裝架上進(jìn)行對(duì)位,印刷機(jī)為普通生產(chǎn)使用的印刷機(jī),可為全自動(dòng)、半自動(dòng)或者是手動(dòng)的,本發(fā)明采用全自動(dòng)的印刷機(jī),以提高生產(chǎn)效率。鋼網(wǎng)與一般安裝在印刷...
200As全自動(dòng)IC探針臺(tái)是我司多年自主研發(fā)設(shè)計(jì)制造的一款設(shè)備,主要對(duì)晶圓制造中的晶圓CP測(cè)試。適用于5英寸、6英寸、8英寸晶圓,應(yīng)用于集成電路、功率器件類晶圓等。2、芯片測(cè)試機(jī)是一種專門用來(lái)檢測(cè)芯片的工具。它可以在生產(chǎn)中測(cè)試集成電路芯片的功能和性...
有絕緣膜、半導(dǎo)體薄膜、金屬薄膜等各種各樣的薄膜。薄膜的沉積法主要有利用化學(xué)反應(yīng)的CVD(chemicalvapordeposition)法以及物理現(xiàn)象的PVD(physicalvapordeposition)法兩大類。CVD法有外延生長(zhǎng)法、HCVD,P...
集成電路芯片的測(cè)試(ICtest)分類包括:分為晶圓測(cè)試(wafertest)、芯片測(cè)試(chiptest)和封裝測(cè)試(packagetest)wafertest是在晶圓從晶圓廠生產(chǎn)出來(lái)后,切割減薄之前的測(cè)試。其設(shè)備通常是測(cè)試廠商自行開發(fā)制造或定制的,一般是將...
使鋼網(wǎng)上的通孔與BGA的焊點(diǎn)正好配合,該定位孔可為半盲孔,印刷機(jī)上設(shè)有雙向照相機(jī),雙向照相機(jī)位于鋼網(wǎng)及載具之間,可同時(shí)照射到鋼網(wǎng)和載具上定位孔,然后把鋼網(wǎng)和載具上定位孔的位置反饋至印刷機(jī)上的計(jì)算機(jī),計(jì)算機(jī)再驅(qū)動(dòng)印刷機(jī)上的電機(jī),調(diào)整放置了載具的平臺(tái),使鋼...
以滿足不同行業(yè)的需求。作為共晶機(jī)制造領(lǐng)域的者,泰克光電擁有先進(jìn)的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)。我們的團(tuán)隊(duì)由一群經(jīng)驗(yàn)豐富的工程師和技術(shù)組成,他們?cè)诠簿C(jī)設(shè)計(jì)、制造和維護(hù)方面擁有深厚的專業(yè)知識(shí)。泰克光電的共晶機(jī)廣泛應(yīng)用于電子、光電子、半導(dǎo)體等行業(yè)。我們的設(shè)備可以用于焊...
總體而言,芯片測(cè)試機(jī)在芯片設(shè)計(jì)和生產(chǎn)中扮演著重要角色。的芯片測(cè)試機(jī)能夠?yàn)樯a(chǎn)提供更高的生產(chǎn)性、更深入的測(cè)試和更高的測(cè)試效率,從而使整個(gè)芯片生產(chǎn)流程更加高效化、智能化。一顆芯片較終做到終端產(chǎn)品上,一般需要經(jīng)過芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造、晶圓測(cè)試、封裝、成品測(cè)試、板級(jí)封裝...
成本高、效率低,而且生產(chǎn)品質(zhì)不穩(wěn)定,加熱過程容易掉錫球。發(fā)明內(nèi)容為解決上述問題,本發(fā)明提供一種操作簡(jiǎn)單,效率高成本低的BGA植球工藝。本發(fā)明為解決其問題所采用的技術(shù)方案是BGA植球工藝,包括以下步驟)把鋼網(wǎng)裝到印刷機(jī)上進(jìn)行對(duì)位,印刷機(jī)為普通生產(chǎn)使用的印...
我們的設(shè)備可以用于焊接、封裝、封裝和其他共晶工藝。無(wú)論是小型電子元件還是大型半導(dǎo)體芯片,我們都能提供適合的共晶解決方案。達(dá)到阻止下一步中n型雜質(zhì)注入P型阱中。去除SIO2層退火處理,然后用HF去除SiO2層。干法氧化法干法氧化法生成一層SiO2層,然后...
固定板水平安裝在升降板的頂側(cè),移動(dòng)電機(jī)豎直固定在固定板的底側(cè)。控制系統(tǒng)控制移動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)組件轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)托臂在固定板上來(lái)回移動(dòng),以便靈活調(diào)整托臂在水平方向上的位置。傳動(dòng)組件包括主動(dòng)輪、從動(dòng)輪和同步帶,主動(dòng)輪連接在移動(dòng)電機(jī)的輸出端,從動(dòng)輪可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝在固定...