主營(yíng)產(chǎn)品: 微納加工技術(shù)服務(wù)|真空鍍膜技術(shù)服務(wù)|紫外光刻技術(shù)服務(wù)|材料刻蝕技術(shù)服務(wù)
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氮化物靶材主要應(yīng)用于制備金屬化合物、抗反射薄膜以及納米材料等方面。常見(jiàn)的氮化物靶材包括氮化硅、氮化鋁、氮化鈦等。氮化硅靶材:具有高硬度和良好...
加熱:通過(guò)外部加熱源(如電阻絲、電磁感應(yīng)等)對(duì)反應(yīng)器進(jìn)行加熱,將反應(yīng)器內(nèi)的溫度升高到所需的工作溫度,一般在3001200攝氏度之間。加熱的目...
在當(dāng)今高科技迅猛發(fā)展的時(shí)代,真空鍍膜技術(shù)作為一種先進(jìn)的表面處理技術(shù),在航空航天、電子器件、光學(xué)元件以及裝飾工藝等多個(gè)領(lǐng)域發(fā)揮著至關(guān)重要的作用...
電磁對(duì)準(zhǔn)是使用磁場(chǎng)來(lái)改變和控制電子束的方向的過(guò)程。在電子束蒸發(fā)中,可能需要改變電子束的方向,以確保它準(zhǔn)確地撞擊到目標(biāo)材料。這通常通過(guò)調(diào)整電子...
廣東省科學(xué)院半導(dǎo)體研究所微納加工平臺(tái),面向半導(dǎo)體光電子器件、功率電子器件、MEMS、生物芯片等前沿領(lǐng)域,致力于打造公益性、開(kāi)放性、支撐性樞紐中心。平臺(tái)擁有半導(dǎo)體制備工藝所需的整套儀器設(shè)備,建立了一條實(shí)驗(yàn)室研發(fā)線和一條中試線,加工尺寸覆蓋2-6英寸(部分8英寸),同時(shí)形成了一支與硬件有機(jī)結(jié)合的專業(yè)人才隊(duì)伍。平臺(tái)當(dāng)前緊抓技術(shù)創(chuàng)新和公共服務(wù),面向國(guó)內(nèi)外高校、科研院所以及企業(yè)提供開(kāi)放共享,為技術(shù)咨詢、創(chuàng)新研發(fā)、技術(shù)驗(yàn)證以及產(chǎn)品中試提供技術(shù)支持。