輪廓儀的性能 測(cè)量模式 : 移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI) 樣 品 臺(tái) : 150mm/200mm/300mm 樣品臺(tái)(可選配) XY 平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5° 可選手動(dòng)/電動(dòng)樣品臺(tái) CCD 相機(jī)像素: 標(biāo)配:1280×960 視場(chǎng)范圍: 560×750um(10×物鏡) 具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī) 光學(xué)系統(tǒng): 同軸照明無(wú)限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng) 光 源: 高 效 LED Z 方向聚焦 80mm 手動(dòng)...
輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器,儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號(hào),該電信號(hào)經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算,測(cè)量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種曲線的實(shí)際值及其離基準(zhǔn)點(diǎn)的坐標(biāo),或放大的實(shí)際輪廓曲線,測(cè)量結(jié)果通過(guò)顯示器輸出,也可由打印機(jī)輸出。(來(lái)自網(wǎng)絡(luò)) 輪廓儀在集成電路的應(yīng)用: 封**ump測(cè)量 視場(chǎng):72*96(um)物鏡:干涉50X 檢測(cè)位置:樣品局部 面減薄表面粗糙度分析 封裝:...
輪廓儀的**團(tuán)隊(duì) 夏勇博士,江蘇省雙創(chuàng)人才 15年ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā)、項(xiàng)目管理經(jīng)驗(yàn) SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人,太陽(yáng)能在線檢測(cè)設(shè)備 唐壽鴻博士,國(guó)家千人**** 25年 ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗(yàn) KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān),***圖像處理、算法** 許衡博士,軟件系統(tǒng)研發(fā) 10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)(BD Medical Instrument) 光學(xué)測(cè)量、軟件系統(tǒng) 岱美儀器與...
輪廓儀的主要客戶(hù)群體 300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測(cè) 集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化 國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 高 效太陽(yáng)能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化 MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化 新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化 超高精密表面工程技術(shù) 輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器,儀器傳感器相對(duì)被測(cè)工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測(cè)表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號(hào),該電信號(hào)經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中,計(jì)算機(jī)對(duì)原始表而輪廓進(jìn)行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進(jìn)行計(jì)算,測(cè)量結(jié)果為計(jì)算出的符介某種...
我們應(yīng)該如何正確使用輪廓儀? 一、準(zhǔn)備工作 1.測(cè)量前準(zhǔn)備。 2.開(kāi)啟電腦、打開(kāi)機(jī)器電源開(kāi)關(guān)、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常。 3.擦凈工件被測(cè)表面。 二、測(cè)量 1.將測(cè)針正確、平穩(wěn)、可靠地移動(dòng)在工件被測(cè)表面上。 2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測(cè)針與工件相撞的情況出現(xiàn) 3.在儀器上設(shè)置所需的測(cè)量條件。 4.開(kāi)始測(cè)量。測(cè)量過(guò)程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生。 5.測(cè)量完畢,根據(jù)圖紙對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析,標(biāo)出結(jié)果,并保存、打印。 共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。福建輪廓儀學(xué)校會(huì)用嗎 NanoX-系列...
關(guān)于三坐標(biāo)測(cè)量輪廓度及粗糙度 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是不能測(cè)量粗糙度的,至于測(cè)量零件的表面輪廓 ,要視三坐標(biāo)的測(cè)量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度比較高,但零件輪廓度要求不可,是可以用三坐標(biāo)來(lái)代替的。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右,而輪廓儀都在2um以?xún)?nèi),還有就是三坐標(biāo)可以測(cè)量大尺寸零件的輪廓,因?yàn)樗旋堥T(mén)式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo),而輪廓儀主要是用來(lái)測(cè)量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測(cè)量粗糙度。 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀。襯底輪廓儀試用 NanoX-8000 3D輪廓測(cè)量主要技術(shù)參數(shù) 3D測(cè)量主要...
強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件 美國(guó)硅谷研發(fā)、中英文自由切換 光機(jī)電一體化軟硬件集成 三維分析處理迅速,結(jié)果實(shí)時(shí)更新 縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理 自主設(shè)定測(cè)量閾值,三維處理自動(dòng)標(biāo)注 測(cè)量模式可根據(jù)需求自由切換 三維圖像支持高清打印 菜單式參數(shù)設(shè)置,一鍵式操作,人機(jī)界面?zhèn)€性直觀 個(gè)性化軟件應(yīng)用支持 可進(jìn)行軟件在線升級(jí)和遠(yuǎn)程支持服務(wù) 10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)(BD Medical Instrument) 光學(xué)...
NanoX-系列產(chǎn)品PCB測(cè)量應(yīng)用測(cè)試案例 測(cè)量種類(lèi) ? 基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸 ? 基板A Sold Mask粗糙度 ? 基板A 綠油區(qū)域3D 形貌 ? 基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度 ? 基板A 綠油區(qū)域粗糙度 ? 基板A 綠油區(qū)域 pad寬度 ? 基板A Trace 3D形貌和尺寸 ? 基板B 背面 Pad NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能 ? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ) ? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn) ...
強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件 美國(guó)硅谷研發(fā)、中英文自由切換 光機(jī)電一體化軟硬件集成 三維分析處理迅速,結(jié)果實(shí)時(shí)更新 縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理 自主設(shè)定測(cè)量閾值,三維處理自動(dòng)標(biāo)注 測(cè)量模式可根據(jù)需求自由切換 三維圖像支持高清打印 菜單式參數(shù)設(shè)置,一鍵式操作,人機(jī)界面?zhèn)€性直觀 個(gè)性化軟件應(yīng)用支持 可進(jìn)行軟件在線升級(jí)和遠(yuǎn)程支持服務(wù) 10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)(BD Medical Instrument) 光學(xué)...
表面三維輪廓儀對(duì)精密加工的作用: 一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性: 通過(guò)光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測(cè),得出物件的誤差和超差參數(shù),**提高物件在生產(chǎn)加工時(shí)的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”,造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離,**終導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)鏈更大的損失。 二、提高效率: 智能化檢測(cè),全自動(dòng)測(cè)量,檢測(cè)時(shí)只需將物件放置在載物臺(tái),然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù),即可一鍵分析批量測(cè)量。擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力,精確度低的缺點(diǎn),**提高加工效率。 三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析: 表面三維輪廓儀可測(cè)量300余種2D、3D參數(shù),無(wú)論加工的物件使用...
隨著時(shí)代的發(fā)展,輪廓儀也越來(lái)重要了,不少的產(chǎn)品檢測(cè)都需要通過(guò)輪廓儀進(jìn)行檢測(cè),***就讓我們來(lái)了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器。儀器傳感器相對(duì)于測(cè)量的工件臺(tái)以恒定速度滑動(dòng)。傳感器的觸針檢測(cè)測(cè)量?jī)x表的幾何變化,并分別在X和Z方向上對(duì)其進(jìn)行采樣,并將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。電信號(hào)被放大和處理,然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)并存儲(chǔ)在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲(chǔ)器中。計(jì)算機(jī)以數(shù)字方式過(guò)濾原始表格的輪廓,分離表面并計(jì)算粗糙度分量,測(cè)量結(jié)果為計(jì)算符號(hào)。某個(gè)曲線的實(shí)際值及其與參考點(diǎn)的坐標(biāo),或放大的實(shí)際輪廓曲線。測(cè)量結(jié)果通過(guò)顯示器輸出,也可以由打印機(jī)輸出。輪廓儀應(yīng)用輪廓儀***用于機(jī)械加工、汽...
關(guān)于三坐標(biāo)測(cè)量輪廓度及粗糙度 三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是不能測(cè)量粗糙度的,至于測(cè)量零件的表面輪廓 ,要視三坐標(biāo)的測(cè)量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)精度比較高,但零件輪廓度要求不可,是可以用三坐標(biāo)來(lái)代替的。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右,而輪廓儀都在2um以?xún)?nèi),還有就是三坐標(biāo)可以測(cè)量大尺寸零件的輪廓,因?yàn)樗旋堥T(mén)式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo),而輪廓儀主要是用來(lái)測(cè)量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測(cè)量粗糙度。 輪廓儀可用于藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析(粗拋與精拋比較)。廣東輪廓儀價(jià)格怎么樣 NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能 ? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作...
輪廓儀對(duì)精密加工的意義 現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開(kāi)硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持,在精密加工領(lǐng)域同樣如此,雖然我們?cè)谏钪胁辉⒁獾匠芗庸ぎa(chǎn)品的“身影”,但是它卻與我們的生活息息相關(guān)。例如在光學(xué)玻璃、集成電路、汽車(chē)零部件、機(jī)器人**器件、航空航天材料、****設(shè)備等領(lǐng)域,都需要對(duì)加工的成品進(jìn)行檢測(cè),從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),其中包含了從納米到微米級(jí)別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評(píng)定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。因此光學(xué)輪廓儀應(yīng)運(yùn)而生,以下是表面三維輪廓儀對(duì)精密加工的作用: 視場(chǎng)范圍:560×750um(10×物鏡) 具體視場(chǎng)范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機(jī) 。...
如何正確使用輪廓儀 準(zhǔn)備工作 1.測(cè)量前準(zhǔn)備。 2.開(kāi)啟電腦、打開(kāi)機(jī)器電源開(kāi)關(guān)、檢查機(jī)器啟動(dòng)是否正常。 3.擦凈工件被測(cè)表面。 測(cè)量 1.將測(cè)針正確、平穩(wěn)、可靠地移動(dòng)在工件被測(cè)表面上。 2.工件固定確認(rèn)工件不會(huì)出現(xiàn)松動(dòng)或者其它因素導(dǎo)致測(cè)針與工件相撞的情況出現(xiàn) 3.在儀器上設(shè)置所需的測(cè)量條件。 4.開(kāi)始測(cè)量。測(cè)量過(guò)程中不可觸摸工件更不可人為震動(dòng)桌子的情況產(chǎn)生。 5.測(cè)量完畢,根據(jù)圖紙對(duì)結(jié)果進(jìn)行分析,標(biāo)出結(jié)果,并保存、打印。 輪廓的角度處理: 角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理:兩直線...
2)共聚焦顯微鏡方法 共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤(pán)、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī)。LED光源通過(guò)多***盤(pán)(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過(guò)MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),但是在共焦圖像中,通過(guò)多***盤(pán)的操作濾除模糊細(xì)節(jié)(未聚焦),只有來(lái)自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。因此,共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。 每個(gè)共焦圖像是通過(guò)樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,共焦顯微鏡通過(guò)壓電驅(qū)動(dòng)器和物鏡的精確垂直位移來(lái)實(shí)現(xiàn)。200到400個(gè)共焦圖像通常在...
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能 ? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ) ? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn) ? 支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC ? 具備異常報(bào)警,急停等功能,報(bào)警信息可儲(chǔ)存 ? MTBF ≥ 1500 hrs ? 產(chǎn)能 : 45s/點(diǎn) (移動(dòng) + 聚焦 + 測(cè)量)(掃描范圍 50um) ? 具備 Global alignment & Unit alignment ? 自動(dòng)聚焦范圍 : ± 0.3mm ? XY運(yùn)動(dòng)速度 **快 表面三維微觀形貌測(cè)量的意義 在生產(chǎn)中,表面三維微觀形貌對(duì)工程零件的許多...
NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測(cè)量(PSI)、白光垂直掃描干涉測(cè)量(VSI)和單色光 垂直掃描干涉測(cè)量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級(jí)測(cè)量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測(cè)件的表面粗 糙度、表面輪廓、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術(shù)、材料、太陽(yáng)能電池技術(shù)等領(lǐng)域。 使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求 保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀 耐用性更強(qiáng), 使用無(wú)損 可操作性:一鍵式操作,操作...
輪廓儀的物鏡知多少? 白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括: 表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺(tái)階高度,錐角等) 幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等) 白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。 因此物鏡是輪廓儀****的部件, 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標(biāo)配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,...
輪廓儀對(duì)精密加工的意義 現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開(kāi)硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持,在精密加工領(lǐng)域同樣如此,雖然我們?cè)谏钪胁辉⒁獾匠芗庸ぎa(chǎn)品的“身影”,但是它卻與我們的生活息息相關(guān)。例如在光學(xué)玻璃、集成電路、汽車(chē)零部件、機(jī)器人**器件、航空航天材料、****設(shè)備等領(lǐng)域,都需要對(duì)加工的成品進(jìn)行檢測(cè),從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),其中包含了從納米到微米級(jí)別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評(píng)定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。因此光學(xué)輪廓儀應(yīng)運(yùn)而生,以下是表面三維輪廓儀對(duì)精密加工的作用: 輪廓儀可用于Oled 特征結(jié)構(gòu)測(cè)量,表面粗糙度,外延片表面缺 陷檢測(cè),硅片外延表面缺 陷檢測(cè)...
輪廓儀對(duì)所測(cè)樣品的尺寸有何要求? 答:輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm(可擴(kuò)展),Z向測(cè)量范圍比較大可達(dá)10mm,但由于白光干涉儀單次測(cè)量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例,在1mm左右),因而在測(cè)量大尺寸的樣品時(shí),全檢的方式需要進(jìn)行拼接測(cè)量,檢測(cè)效率會(huì)比較低,建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測(cè),以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數(shù); 4.測(cè)量的**小尺寸是否可以達(dá)到12mm,或者能夠測(cè)到更小的尺寸? 如果需要了解更多,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)官網(wǎng)。 輪廓儀可用于:散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制),生物、醫(yī)藥新技術(shù),微流控器件。高校輪廓儀質(zhì)量怎么樣 一、從...
輪廓儀對(duì)精密加工的意義 現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開(kāi)硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持,在精密加工領(lǐng)域同樣如此,雖然我們?cè)谏钪胁辉⒁獾匠芗庸ぎa(chǎn)品的“身影”,但是它卻與我們的生活息息相關(guān)。例如在光學(xué)玻璃、集成電路、汽車(chē)零部件、機(jī)器人**器件、航空航天材料、****設(shè)備等領(lǐng)域,都需要對(duì)加工的成品進(jìn)行檢測(cè),從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),其中包含了從納米到微米級(jí)別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評(píng)定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。因此光學(xué)輪廓儀應(yīng)運(yùn)而生,以下是表面三維輪廓儀對(duì)精密加工的作用: NanoX-8000隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。超納輪廓儀應(yīng)用 如何正確使用輪...
輪廓儀的物鏡知多少? 白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括: 表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺(tái)階高度,錐角等) 幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等) 白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。 因此物鏡是輪廓儀****的部件, 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標(biāo)配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。 ...
NanoX-系列產(chǎn)品PCB測(cè)量應(yīng)用測(cè)試案例 測(cè)量種類(lèi) ? 基板A Sold Mask 3D形貌、尺寸 ? 基板A Sold Mask粗糙度 ? 基板A 綠油區(qū)域3D 形貌 ? 基板A 綠油區(qū)域 Pad 粗糙度 ? 基板A 綠油區(qū)域粗糙度 ? 基板A 綠油區(qū)域 pad寬度 ? 基板A Trace 3D形貌和尺寸 ? 基板B 背面 Pad NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能 ? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動(dòng)數(shù)據(jù)存儲(chǔ) ? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn) ...
1)白光輪廓儀的典型應(yīng)用: 對(duì)各種產(chǎn)品,不見(jiàn)和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺(tái)階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。 2)共聚焦顯微鏡方法 共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉(zhuǎn)多***盤(pán)、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī)。LED光源通過(guò)多***盤(pán)(MPD)和物鏡聚焦到樣品表面上,從而反射光。反射光通過(guò)MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機(jī)上。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié),但是在共焦圖像中,通過(guò)多***盤(pán)的操作濾除模糊細(xì)節(jié)(未聚焦),只有來(lái)自聚焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī)。因此,共...
滿足您需求的輪廓儀 使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求 保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀 耐用性更強(qiáng), 使用無(wú)損 可操作性:一鍵式操作,操作更簡(jiǎn)單,更方便 智能性:特殊形狀能夠只能計(jì)算特征參數(shù) 個(gè)性化: 定制化客戶(hù)報(bào)告模式 更好用戶(hù)體驗(yàn): 迅捷的售后服務(wù),個(gè)性化應(yīng)用軟件支持 1.精度高,壽命長(zhǎng)---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測(cè)量基準(zhǔn),具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點(diǎn),達(dá)到國(guó)內(nèi)同類(lèi)產(chǎn)品較高精度。 2.高精度光柵尺及進(jìn)口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,準(zhǔn)確度高,穩(wěn)定性好。(網(wǎng)絡(luò)) NanoX-8000隔振系統(tǒng):集...
1.5. 系統(tǒng)培訓(xùn)的注意事項(xiàng) 如何使用電子書(shū)閱讀軟件和軟、硬件的操作手冊(cè); 數(shù)據(jù)采集功能的講解:通訊端口、連接計(jì)算器、等待時(shí)間等參數(shù)的解釋和參數(shù)設(shè)置; 實(shí)際演示一一講解; 如何做好備份和恢復(fù)備份資料; 當(dāng)場(chǎng)演示各種報(bào)表的操作并進(jìn)行操作解說(shuō); 數(shù)據(jù)庫(kù)文件應(yīng)定時(shí)作備份,大變動(dòng)時(shí)更應(yīng)做好備份以防止系統(tǒng)重新安裝時(shí)造成資料數(shù)據(jù)庫(kù)的流失; 在系統(tǒng)培訓(xùn)過(guò)程中如要輸入一些臨時(shí)數(shù)據(jù)應(yīng)在培訓(xùn)結(jié)束后及時(shí)刪除這些資料。 備注:系統(tǒng)培訓(xùn)完成后應(yīng)請(qǐng)顧客詳細(xì)閱讀軟件操作手冊(cè),并留下公司“客戶(hù)服務(wù)中心”的電話與...
NanoX-8000 3D輪廓測(cè)量主要技術(shù)參數(shù) 3D測(cè)量主要技術(shù)指標(biāo)(1): 測(cè)量模式: PSI + VSI + CSI Z軸測(cè)量范圍: 大行程PZT 掃描 (300um 標(biāo)配/500um選配) 10mm 精密電機(jī)拓展掃描 CCD相機(jī): 1920x1200 高速相機(jī)(標(biāo)配) 干涉物鏡: 2.5X, 5X, 10X(標(biāo)配), 20X, 50X, 100X(NIKON ) 物鏡切換: 5孔電動(dòng)鼻切換 FOV: 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡) Z軸聚焦: 高精密直線平臺(tái)自動(dòng)聚焦 照明系統(tǒng): 高 效長(zhǎng)壽白...
輪廓儀白光干涉的創(chuàng)始人: 邁爾爾遜 1852-1931 美國(guó)物理學(xué)家 曾從事光速的精密測(cè)量工作 邁克爾遜首倡用光波波長(zhǎng)作為長(zhǎng)度基準(zhǔn)。 1881年,他發(fā)明了一種用以測(cè)量微小長(zhǎng)度,折射率和光波波長(zhǎng)的干涉儀,邁克爾遜干涉儀。 他和美國(guó)物理學(xué)家莫雷合作,進(jìn)行了***的邁克爾遜-莫雷實(shí)驗(yàn),否定了以太de 存在,為愛(ài)因斯坦建立狹義相對(duì)論奠定了基礎(chǔ)。 由于創(chuàng)制了精密的光學(xué)儀器和利用這些儀器所完成光譜學(xué)和基本度量學(xué)研究,邁克爾遜于1907年獲得諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。 傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié).二維輪廓儀用途 我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢(shì)呢 世...
強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件 美國(guó)硅谷研發(fā)、中英文自由切換 光機(jī)電一體化軟硬件集成 三維分析處理迅速,結(jié)果實(shí)時(shí)更新 縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理 自主設(shè)定測(cè)量閾值,三維處理自動(dòng)標(biāo)注 測(cè)量模式可根據(jù)需求自由切換 三維圖像支持高清打印 菜單式參數(shù)設(shè)置,一鍵式操作,人機(jī)界面?zhèn)€性直觀 個(gè)性化軟件應(yīng)用支持 可進(jìn)行軟件在線升級(jí)和遠(yuǎn)程支持服務(wù) 10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)(BD Medical Instrument) 光學(xué)...
輪廓儀是用容易理解的機(jī)械技術(shù)測(cè)量薄膜厚度。它的工作原理是測(cè)量測(cè)量劃過(guò)薄膜的檢測(cè)筆的高度(見(jiàn)右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點(diǎn)是可以測(cè)量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測(cè)繪整個(gè)表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,請(qǐng)點(diǎn)擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,樣本上必須有個(gè)小坎才能測(cè)量薄膜厚度,而小坎通常無(wú)法很標(biāo)準(zhǔn)(見(jiàn)圖)。這樣,標(biāo)定誤差加上機(jī)械漂移造成5%-10%的測(cè)量誤差。與此相比,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測(cè)量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測(cè)量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點(diǎn)列表...