潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。引入第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行定期審核,確保檢測(cè)結(jié)果的公正性。江蘇潔凈室環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
B.2.1.2計(jì)數(shù)效率測(cè)量U描述符所用體系的計(jì)數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達(dá)標(biāo)區(qū),其中心對(duì)應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計(jì)數(shù)效率為50%,粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%,見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計(jì)數(shù)效率允差的規(guī)定,是基于對(duì)擴(kuò)散元件透過(guò)率的計(jì)算,該擴(kuò)散元件對(duì)粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過(guò)率不低于40%,對(duì)粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過(guò)率不高于60%。若離散粒子計(jì)數(shù)器(DPC)或凝聚核計(jì)數(shù)器(CNC)的計(jì)數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè),則不能用其測(cè)量或驗(yàn)證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè),則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來(lái)降低計(jì)數(shù)效率。此時(shí),經(jīng)改進(jìn)的離散粒子計(jì)數(shù)器或凝聚核計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率就成為原計(jì)數(shù)器的計(jì)數(shù)效率與粒徑限制器透過(guò)率的乘積。福建消毒液凈化車間環(huán)境檢測(cè)價(jià)格氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。
5.1.1潔凈廠房的建筑平面和空間布局應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性。主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng),不宜采用內(nèi)墻承重體系。5.1.2潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)符合保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵等要求。5.1.3潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào),并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。5.1.4送、回風(fēng)管和其他管線暗敷時(shí),應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或地溝等。穿越樓層的豎向管線需暗敷時(shí),宜設(shè)置技術(shù)豎井,其形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)符合風(fēng)道、管線的安裝、檢修和防火要求。5.1.5對(duì)兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房的平面布局和構(gòu)造處理,應(yīng)避免人流、物流運(yùn)輸及防火方面對(duì)潔凈生產(chǎn)帶來(lái)不利的影響。
a.首先應(yīng)對(duì)測(cè)試儀器、培養(yǎng)皿表面進(jìn)行嚴(yán)格消毒,采樣器進(jìn)入被測(cè)房間時(shí),先用消毒房間的消毒劑滅菌。用于5級(jí)潔凈房間的采樣器宜一直放在潔凈房間。b.采樣者應(yīng)穿戴潔凈服雙手要消毒。c.開動(dòng)真空泵抽氣使儀器中的殘余消毒劑蒸發(fā)時(shí)間不少于5min,并調(diào)好流量轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)速。關(guān)閉真空泵放入培養(yǎng)皿蓋好蓋子后調(diào)節(jié)采樣器。d.置采樣口于采樣點(diǎn)后依次開啟采樣器、真空泵、轉(zhuǎn)動(dòng)定時(shí)器、根據(jù)采樣量選定采樣時(shí)間。全部采樣結(jié)束后,將培養(yǎng)皿倒置于30-35℃恒溫培養(yǎng)箱中,培養(yǎng)時(shí)間不少于48h。e.用肉眼直接計(jì)數(shù),然后用5-10倍放大鏡檢查是否有遺漏,若平板上有兩個(gè)或兩個(gè)以上的菌落重疊分辨時(shí),仍以兩個(gè)或兩個(gè)以上菌落計(jì)數(shù)。主要工作室一般照明的照度值宜為3001x。
4.5.1有微振控制要求的潔凈廠房設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:1在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處,應(yīng)按微振控制要求設(shè)計(jì)。2潔凈室與周圍輔助性站房?jī)?nèi)有強(qiáng)烈振動(dòng)的設(shè)備及連接管道應(yīng)采取主動(dòng)隔振措施。3應(yīng)測(cè)定潔凈廠房?jī)?nèi)、外各類振源對(duì)潔凈廠房精密設(shè)備、精密儀器儀表位置處的綜合振動(dòng)影響,以決定是否采取被動(dòng)隔振措施。4.5.2精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動(dòng)值應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門提供。當(dāng)生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門難以提供容許振動(dòng)值時(shí),可按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《隔振設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50463的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。層流罩一種可提供局部高清潔環(huán)境的空氣凈化設(shè)備。它主要有箱體,風(fēng)機(jī),初效空氣過(guò)濾器,高效空氣過(guò)濾器。浙江消毒液凈化車間環(huán)境檢測(cè)值得推薦
單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動(dòng),并且在斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室。江蘇潔凈室環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)
4、懸浮粒子-微粒計(jì)數(shù)農(nóng)度A、室內(nèi)測(cè)試人員必須穿潔凈服,不得超過(guò)2人,應(yīng)位于測(cè)試點(diǎn)下風(fēng)側(cè)并遠(yuǎn)離測(cè)試點(diǎn),并應(yīng)保持靜止。進(jìn)行換點(diǎn)操作時(shí)動(dòng)作要輕,應(yīng)減少人員對(duì)室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測(cè)前和檢測(cè)后設(shè)備“清零”D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動(dòng)力采樣,進(jìn)入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過(guò)20%。若無(wú)法做到這一點(diǎn),將采樣口正對(duì)氣流的主方向。非單向流的采樣點(diǎn),采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計(jì)數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點(diǎn)一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學(xué)布點(diǎn),而且要避開回風(fēng)口。對(duì)任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,采樣點(diǎn)的數(shù)目都不得少于2個(gè),總采樣數(shù)可根據(jù)面積開2次根求得。江蘇潔凈室環(huán)境檢測(cè)規(guī)范性強(qiáng)