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潔凈室**主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。潔凈室檢測時需特別注意對生物安全柜等特殊設備的檢測。河北電子廠房環(huán)境檢測
人們認為這種單向、平行的氣流應該充滿整個潔凈室,但這在技術和經濟上都是不利的。隨著知識的發(fā)展,人們指出這種單向流動只是“意味著所有的空氣在有限的區(qū)域內沿著平行的流線勻速流動”,相信渦流的發(fā)生可以被盡可能的抑制。盡可能。以通過整個空間的潔凈空氣的單向流動特性為主的房間也稱為單向流動潔凈室。也就是說,不需要在整個房間內有單向平行流線、勻速、無渦流,而只需要單向平行流特性來支配房間,例如整個工作區(qū)水平空間保證單向流動,本房間為單向流動潔凈室。前面介紹的國內外相關標準和措施中單向流潔凈室所達到的高潔凈度是指工作區(qū)域所達到的潔凈度。因此,密集布置的流線型擴壓器頂部進料和全孔板頂部進料也被用作實現(xiàn)垂直單向流動的手段。河北電子廠房環(huán)境檢測通過潔凈室檢測,可以有效降低產品生產過程中的污染風險。
抽樣高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前,生產廠家應按規(guī)定進行性能試驗,并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應該逐臺進行檢漏,亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室,只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別,就可以不進行檢漏。技術要求檢漏的結果要符合條件:由受檢過濾器下風側測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率,對于高效過濾器應不大于過濾器出廠合格率的2倍,對于超高效過濾器應不大于出廠合格透過率的3倍。操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對于安裝于送、排風末端的高效過濾器,應用掃描法進行過濾安裝邊框和全斷面檢漏,掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量為1L/min的粒子計數器法兩種。
壓差檢測要求:(1)靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內的所有門全部關閉情況下進行。(2)在潔凈平面上應從潔凈度由高到低的順序依次進行,一直檢測到直通室外的房間。(3)測管口設在室內沒有氣流影響的任何地方均可,測管口面與氣流流線平行。(4)所測量記錄的數據應精確到1.0Pa。壓差檢測步驟:(1)先關閉所有的門。(2)用微差壓計測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。(3)記錄所有數據。壓差標準要求按照潔凈室設計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值。(1)不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室(區(qū))之間的靜壓差,應不小于5Pa。(2)潔凈室(區(qū))與室外的靜壓差,不應小于10Pa。(3)對于空氣潔凈度等級嚴于5級(100級)的單向流潔凈室在開門時,門內0.6m處的室內工作面含塵濃度應不大于相應級別的含塵濃度限值。(4)若達不到以上標準的要求,應重新調整新風量、排風量、至合格為止。使用激光塵埃粒子計數器可以精確測量空氣中的微粒濃度。
(三)空氣過濾器的泄露1、儀器設備及環(huán)境測量儀器塵埃粒子計數器、氣溶膠發(fā)生器。環(huán)境溫度常溫或設計溫度下。2、抽樣高效過濾器本體在進入現(xiàn)場前,生產廠家應按規(guī)定進行性能試驗,并提供合格證。在單向流潔凈室對安裝的高效空氣過濾器應該逐臺進行檢漏,亂流潔凈室對于7級或更低級別的潔凈室,只要潔凈室達到了所要求的空氣潔凈度級別,就可以不進行檢漏。3、技術要求檢漏的結果要符合條件:由受檢過濾器下風側測到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率,對于高效過濾器應不大于過濾器出廠合格率的2倍,對于超高效過濾器應不大于出廠合格透過率的3倍。5、操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對于安裝于送、排風末端的高效過濾器,應用掃描法進行過濾安裝邊框和全斷面檢漏,掃描法有檢漏儀法光度計法和采樣量**小為1L/min的粒子計數器法兩種。潔凈室檢測是確保生產環(huán)境達到特定潔凈度標準的關鍵步驟。上海生物安全柜檢測服務至上
在生產工藝平面區(qū)劃時盡可能把相同級別的潔凈房間布置在一起,把潔凈度要求高的工序設置在上風側。河北電子廠房環(huán)境檢測
B.1.2.2空氣懸浮粒子計數規(guī)程將離散粒子計數器的采樣探頭放在預定位置,設定計數器的流量,選擇符合GB/T25915.1-2010規(guī)定的粒徑閾值。在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應接近等動力采樣[1],進入采樣探頭的風速與被采空氣的風速偏差不應超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。在風速不受控或不可預測(例如非單向流)的采樣點,采樣口應豎直向上。采樣口至粒子計數器傳感器的連接管應盡量短。采樣粒子大于或等于1μm時,連接管的長度和直徑不應超過制造商的建議值。采樣過程中,因擴散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產生的采樣誤差不應大于5%。河北電子廠房環(huán)境檢測