安徽生物安全柜檢測規(guī)范性強

B.3.3.3.3飛行時間粒徑測量大粒子的尺寸可用飛行時間儀來測量?？諝鈽颖境槿藘x器,經(jīng)噴嘴進人一個局部真空區(qū),空氣因膨脹而加速,測量在真空區(qū)進行?？諝鈽颖局械乃辛Ｗ泳跍y量區(qū)加速,粒子的加速度與粒子質(zhì)量成反比。利用測量點的風(fēng)速與粒子速度兩者的關(guān)系,可測定粒子的空氣動力學(xué)直徑。知道環(huán)境與測量區(qū)之間氣壓的壓差,可直接計算出風(fēng)速。根據(jù)粒子在兩束激光間的飛行時間測定粒子速度。飛行時間儀可測量大到20μm粒子的空氣動力學(xué)直徑,粒徑分辨率好于10%。獲取樣本的方法與離散粒子計數(shù)器測量相同;確定粒徑范圍的方法也與離散粒子計數(shù)器相同。合格的第三方潔凈室檢測機構(gòu)普遍要求要有潔凈相關(guān)檢測能力。安徽生物安全柜檢測規(guī)范性強

潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準中符合灰塵標(biāo)準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。北京潔凈室環(huán)境檢測持續(xù)改進潔凈室檢測流程和方法，提高檢測效率和效果。

B.2.1.2計數(shù)效率測量U描述符所用體系的計數(shù)效率應(yīng)落在圖B.1的陰影之內(nèi)[1]。該陰影區(qū)為性能達標(biāo)區(qū)，其中心對應(yīng)的選定粒徑超微粒子的計數(shù)效率為50%，粒徑示為U。超微粒徑U的允差為土10%，見圖B.1中的1.1U和0.9U。這一計數(shù)效率允差的規(guī)定，是基于對擴散元件透過率的計算，該擴散元件對粒徑大于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不低于40%，對粒徑小于選定超微粒徑10%的粒子的透過率不高于60%。若離散粒子計數(shù)器（DPC）或凝聚核計數(shù)器（CNC）的計數(shù)效率曲線落在圖B.1陰影區(qū)之外的右側(cè)，則不能用其測量或驗證U描述符。若曲線落在陰影區(qū)之外的左側(cè)，則可使用B.2.1.3介紹的粒徑限制器來降低計數(shù)效率。此時，經(jīng)改進的離散粒子計數(shù)器或凝聚核計數(shù)器的計數(shù)效率就成為原計數(shù)器的計數(shù)效率與粒徑限制器透過率的乘積。

6.2.1潔凈室（區(qū))與周圍的空間必須維持一定的壓差，并應(yīng)按工藝要求決定維持正壓差或負壓差。6.2.2不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa，潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。6.2.3潔凈室維持不同的壓差值所需的壓差風(fēng)量，根據(jù)潔凈室特點，宜采用縫隙法或換氣次數(shù)法確定。6.2.4送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉宜聯(lián)鎖。正壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)先啟動送風(fēng)機，再啟動回風(fēng)機和排風(fēng)機；關(guān)閉時聯(lián)鎖程序應(yīng)相反。負壓潔凈室聯(lián)鎖程序應(yīng)與上述正壓潔凈室相反。6.2.5非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班送風(fēng)，并應(yīng)進行凈化空調(diào)處理。高效過濾器（HEPA）的完整性測試對于保證空氣過濾效果至關(guān)重要。

（1）將所有的門關(guān)閉，將測定用膠管口徑比較好在5mm以下從墻壁上的孔洞伸入室內(nèi)在離壁面不遠處，垂直于氣流方向設(shè)置周圍無阻擋氣流擾動**小。（2）靜壓差的測定應(yīng)從平面上**里面的房間，通常也就是潔凈度級別比較高的房間，與其緊鄰的房間之間的壓差測起依次向外測定，直至測得**靠外的潔凈室與周圍附屬環(huán)境之間、與室外環(huán)境之間的壓差。（3）對于潔凈度高于5級的單向流層流潔凈室，還應(yīng)測定在門開啟狀態(tài)下離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。5、檢測時的注意事項在進行潔凈室靜壓差檢測之前，必須先驗證在潔凈室或潔凈設(shè)施正常工作時，應(yīng)該關(guān)閉的門全部關(guān)閉條件下的送風(fēng)量與回風(fēng)量、排風(fēng)量是否與規(guī)定風(fēng)量相符。若達不到標(biāo)準的要求應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量直至合格為止。靜電控制檢測對于電子制造業(yè)的潔凈室尤為重要。山東口罩生產(chǎn)車間環(huán)境檢測價格

潔凈環(huán)境是為生產(chǎn)工藝服務(wù)的。安徽生物安全柜檢測規(guī)范性強

B.1.2.2空氣懸浮粒子計數(shù)規(guī)程將離散粒子計數(shù)器的采樣探頭放在預(yù)定位置，設(shè)定計數(shù)器的流量，選擇符合GB/T25915.1-2010規(guī)定的粒徑閾值。在單向流區(qū)域，所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣[1]，進入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點，將采樣口正對氣流的主方向。在風(fēng)速不受控或不可預(yù)測(例如非單向流)的采樣點，采樣口應(yīng)豎直向上。采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣粒子大于或等于1μm時，連接管的長度和直徑不應(yīng)超過制造商的建議值。采樣過程中，因擴散造成的小粒子損失、因沉降與撞擊造成的大粒子損失所產(chǎn)生的采樣誤差不應(yīng)大于5%。安徽生物安全柜檢測規(guī)范性強