真空系統(tǒng)工作原理:
真空鍍膜機(jī)工作的第一步是建立真空環(huán)境。其真空系統(tǒng)主要由真空泵(如機(jī)械真空泵、擴(kuò)散真空泵等)組成。機(jī)械真空泵通過活塞或旋片的機(jī)械運(yùn)動(dòng),將鍍膜室內(nèi)的氣體抽出,使氣壓初步降低。但機(jī)械真空泵只能達(dá)到一定的真空度,對(duì)于高真空要求的鍍膜過程,還需要擴(kuò)散真空泵。擴(kuò)散真空泵是利用高速蒸汽流(如油蒸汽)將氣體分子帶走,從而獲得更高的真空度,一般可以達(dá)到 10?? - 10??帕斯卡。這個(gè)真空環(huán)境的建立是非常關(guān)鍵的。在低氣壓的真空狀態(tài)下,氣體分子的平均自由程增大,這意味著氣態(tài)的鍍膜材料分子在運(yùn)動(dòng)過程中很少會(huì)與其他氣體分子碰撞,能夠以較為直線的方式運(yùn)動(dòng)到基底表面。同時(shí),減少了雜質(zhì)氣體對(duì)鍍膜過程的干擾,保證了薄膜的純度和質(zhì)量。 卷繞式鍍膜機(jī)可連續(xù)處理柔性基材,提升大規(guī)模生產(chǎn)效率。浙江光學(xué)鏡片真空鍍膜機(jī)制造商
蒸發(fā)鍍膜機(jī):
原理與構(gòu)造:蒸發(fā)鍍膜機(jī)利用高溫加熱使鍍膜材料蒸發(fā),氣態(tài)原子或分子在工件表面凝結(jié)成膜。它主要由真空室、蒸發(fā)源、工件架和真空系統(tǒng)構(gòu)成。電阻加熱、電子束加熱、高頻感應(yīng)加熱是常見的蒸發(fā)源加熱方式。電阻加熱通過電流流經(jīng)電阻材料產(chǎn)生熱量;電子束加熱則依靠高能電子束轟擊鍍膜材料,使其快速升溫蒸發(fā);高頻感應(yīng)加熱利用交變磁場在鍍膜材料中產(chǎn)生感應(yīng)電流實(shí)現(xiàn)加熱。應(yīng)用場景蒸發(fā)鍍膜機(jī)在光學(xué)領(lǐng)域應(yīng)用多樣,如為各種光學(xué)鏡片鍍制增透膜、反射膜,提升鏡片的光學(xué)性能。在包裝行業(yè),常用于在塑料薄膜表面鍍鋁,賦予薄膜良好的阻隔性能與金屬光澤,提升產(chǎn)品的保存期限與外觀。 燈管真空鍍膜機(jī)是什么真空鍍膜機(jī)支持非標(biāo)定制,滿足航空航天等特殊領(lǐng)域的涂層需求。
薄膜質(zhì)量高純度高:真空環(huán)境是真空鍍膜機(jī)的一大優(yōu)勢。在高真空狀態(tài)下,鍍膜室內(nèi)的雜質(zhì)氣體極少。例如,在氣相沉積(PVD)過程中,蒸發(fā)或?yàn)R射出來的鍍膜材料原子或分子在幾乎沒有空氣分子干擾的情況下飛向基底。這使得沉積在基底上的薄膜純度很高,避免了雜質(zhì)混入導(dǎo)致薄膜性能下降。致密性好:通過真空鍍膜形成的薄膜通常具有較好的致密性。以濺射鍍膜為例,被濺射出來的材料原子具有一定的動(dòng)能,它們?cè)谧矒艋妆砻鏁r(shí)能夠緊密排列,形成致密的薄膜結(jié)構(gòu)。這種致密的薄膜可以有效防止外界物質(zhì)的滲透,比如在鍍制防護(hù)薄膜時(shí),能夠更好地起到防潮、防腐蝕等作用。附著力強(qiáng):真空環(huán)境有助于提高薄膜與基底之間的附著力。在鍍膜過程中,基底表面在真空環(huán)境下可以得到更好的清潔效果,而且鍍膜材料原子能夠更好地與基底原子相互作用。例如,在利用化學(xué)氣相沉積(CVD)制備薄膜時(shí),氣態(tài)前驅(qū)體在基底表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成的薄膜能夠與基底形成化學(xué)鍵合,從而使薄膜牢固地附著在基底上。
蒸發(fā)源或?yàn)R射源功能:用于蒸發(fā)鍍膜材料或?yàn)R射靶材,使膜體材料以氣態(tài)分子的形式釋放出來。類型:不同的鍍膜方法可能使用不同類型的鍍膜源,例如電子束蒸發(fā)器、濺射靶材、真空弧放電源等。
控制系統(tǒng)功能:用于監(jiān)控和控制整個(gè)設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)和參數(shù),包括真空度、溫度、壓力、時(shí)間等。組成:主要包括真空計(jì)、流量計(jì)、觸摸屏、手動(dòng)操作組和各類電源。通過觸摸屏可以完成全自動(dòng)程序控制。
材料輸送系統(tǒng)功能:用于將待鍍膜物體和鍍膜材料引入腔體,并控制其位置和運(yùn)動(dòng)。組成:通常包括旋轉(zhuǎn)式臺(tái)面、電機(jī)傳動(dòng)、氣缸等裝置。材料輸送系統(tǒng)可以分為上轉(zhuǎn)架和下轉(zhuǎn)架,以滿足不同鍍膜工藝的需求。 低溫真空鍍膜技術(shù)通過等離子體活化,實(shí)現(xiàn)有機(jī)材料表面金屬化處理。
可精確控制薄膜特性:
厚度控制精確:真空鍍膜機(jī)可以精確控制薄膜的厚度。在蒸發(fā)鍍膜中,通過控制鍍膜材料的蒸發(fā)速率和鍍膜時(shí)間,能夠準(zhǔn)確地得到想要的薄膜厚度。例如,在光學(xué)鍍膜中,為了達(dá)到特定的光學(xué)性能,需要將薄膜厚度控制在納米級(jí)精度。一些先進(jìn)的真空鍍膜機(jī)可以通過光學(xué)監(jiān)測系統(tǒng)實(shí)時(shí)監(jiān)測薄膜厚度,當(dāng)達(dá)到預(yù)設(shè)厚度時(shí)自動(dòng)停止鍍膜過程。
成分和結(jié)構(gòu)可控:無論是 PVD 還是 CVD 方式,都可以對(duì)薄膜的成分和結(jié)構(gòu)進(jìn)行控制。在 PVD 濺射鍍膜中,通過選擇不同的靶材,可以獲得不同成分的薄膜。而且可以采用多層濺射的方式,構(gòu)建具有特定結(jié)構(gòu)的多層薄膜。在 CVD 過程中,通過調(diào)整氣態(tài)前驅(qū)體的種類、濃度和反應(yīng)條件,可以精確控制生成薄膜的化學(xué)成分和微觀結(jié)構(gòu),以滿足不同的應(yīng)用需求,如制備具有特定電學(xué)性能的半導(dǎo)體薄膜。 光學(xué)鍍膜機(jī)采用多層干涉原理制備高精度增透/反射膜。多弧離子鍍膜機(jī)真空鍍膜機(jī)設(shè)備廠家
精密控制的真空鍍膜機(jī)可制備納米級(jí)功能薄膜,滿足光學(xué)領(lǐng)域需求。浙江光學(xué)鏡片真空鍍膜機(jī)制造商
信息存儲(chǔ):在信息存儲(chǔ)領(lǐng)域,真空鍍膜技術(shù)可用于制備磁信息存儲(chǔ)、磁光信息存儲(chǔ)等存儲(chǔ)介質(zhì)。磁控濺射鍍膜設(shè)備是這類應(yīng)用的常用設(shè)備。裝飾飾品:手機(jī)殼、表殼、眼鏡架、五金、小飾品等產(chǎn)品的裝飾性鍍膜處理,也可以采用真空鍍膜技術(shù)。蒸發(fā)式真空鍍膜設(shè)備是這類應(yīng)用的常用設(shè)備。光電子行業(yè):真空鍍膜機(jī)可用于生產(chǎn)光學(xué)薄膜、濾光鏡、反射鏡、太陽能電池板、LED燈等光電器件。機(jī)械制造行業(yè):真空鍍膜機(jī)可用于制造表面硬度提高的刀具、精密軸承等機(jī)械零件,提高這些零件的使用壽命和性能。浙江光學(xué)鏡片真空鍍膜機(jī)制造商