山東中科院輪廓儀

滿足您需求的輪廓儀  

使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求  

保護性: 非接觸式光學輪廓儀

耐用性更強， 使用無損 

可操作性:一鍵式操作，操作更簡單，更方便  

智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數  

個性化: 定制化客戶報告模式 

更好用戶體驗： 迅捷的售后服務，個性化應用軟件支持

1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導軌作為直線測量基準，具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點，達到國內同類產品較高精度。  2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數據采樣分辨率，準確度高，穩(wěn)定性好。（網絡） 包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數，作為評定該物件是否合格的標準。山東中科院輪廓儀

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數值的儀器，采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分***。（來自網絡）

先進的輪廓儀集成模塊

60年世界水平半導體檢測技術研發(fā)和產業(yè)化經驗 

所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等 

PI ，納米移動平臺及控制

Nikon，干涉物鏡

NI，信號控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺

世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺

VS2012/64位，.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計算機

超納輪廓儀技術原理晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程。

表面三維輪廓儀對精密加工的作用：

一、從根源保障物件成品的準確性：

通過光學表面三維輪廓儀的掃描檢測，得出物件的誤差和超差參數，**提高物件在生產加工時的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應”，造成下游生產加工的更大偏離，**終導致整個生產鏈更大的損失。

二、提高效率：

  智能化檢測，全自動測量，檢測時只需將物件放置在載物臺，然后在檢定軟件上選擇相關參數，即可一鍵分析批量測量。擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力，精確度低的缺點，**提高加工效率。

三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數分析：

  表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數，無論加工的物件使用哪一種評定標準，都可以提供***的檢測結果作為評定依據，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數。

四、穩(wěn)定性強，高重復性：

  儀器運用高性能內部抗震設計，不受外部環(huán)境影響測量的準確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結合，保證高重復性，將測量誤差降低到亞納米級別。

輪廓儀的性能 

測量模式

移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）

樣 品 臺

150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°

可選手動/電動樣品臺

CCD 相機像素

標配：1280×960

視場范圍

560×750um（10×物鏡）

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機

光學系統(tǒng)

同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)

光 源

高 效 LED

Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）

Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描，拓展達 10mm )

縱向分辨率 ＜0.1nm

RMS 重復性* 0.005nm，1σ

臺階測量** 準確度 ≤0.75％；重復性 ≤0.1%，1σ

橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）

檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD  傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié).

輪廓儀的培訓

一、 培訓承諾

    系統(tǒng)建成后，我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓和技術資詢；培訓地點可以在我公司，亦或在工程現場；

    系統(tǒng)操作及管理人員的培訓人數為10人，由業(yè)主指定，我公司將確保相關人員正確使用該系統(tǒng)；

1.1. 培訓對象

    系統(tǒng)操作及管理人員（培訓對象須具有專業(yè)技術的技術人員或實際值班操作人員）；

    其他業(yè)主指定的相關人員。

1.2. 培訓內容

    系統(tǒng)操作使用說明書。

    培訓課程的主要內容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關參數設定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等，具體內容如下：

    * 系統(tǒng)文檔解讀；

    * 系統(tǒng)的技術特點、安裝維護和系統(tǒng)管理方式；

    * 系統(tǒng)一般故障排除。

具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存。原裝進口輪廓儀代理商

NanoX-8000 Z 軸聚焦：100mm行程自動聚焦，0.1um移動步進。山東中科院輪廓儀

輪廓的角度處理:  

角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理：兩直線交點、交點到直線距離、交點到交點距離、交點到圓心距離、交點到點距離圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離、交點到圓心的距離、直線到切點的距離線處理：直線度、凸度、LG凸度、對數曲線 。

白光輪廓儀的典型應用：

對各種產品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。  

山東中科院輪廓儀

岱美儀器技術服務（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型公司。公司自成立以來，以質量為發(fā)展，讓匠心彌散在每個細節(jié)，公司旗下磁記錄，半導體，光通訊生產，測試儀器的批發(fā)深受客戶的喜愛。公司從事儀器儀表多年，有著創(chuàng)新的設計、強大的技術，還有一批**的專業(yè)化的隊伍，確保為客戶提供良好的產品及服務。岱美儀器技術服務立足于全國市場，依托強大的研發(fā)實力，融合前沿的技術理念，飛快響應客戶的變化需求。