干涉儀輪廓儀競爭力怎么樣

來源: 發(fā)布時間:2020-09-17

白光干涉輪廓儀對比激光共聚焦輪廓儀

白光干涉3D顯微鏡:

干涉面成像,

多層垂直掃描

比較好高度測量精度:< 1nm

高度精度不受物鏡影響


性價比好

激光共聚焦3D顯微鏡:

點(diǎn)掃描合成面成像,

多層垂直掃描

Keyence(日本)

比較好高度測量精度:~10nm

高度精度由物鏡決定,1um精度@10倍

90萬-130萬


三維光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高 分辨率的三維測量,測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,臺階高度,給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,光學(xué)元件、陶瓷和先進(jìn)材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個精確的、價格合理的計(jì)量方案。(來自網(wǎng)絡(luò)) 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊。干涉儀輪廓儀競爭力怎么樣

輪廓的角度處理:  

角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點(diǎn)線處理:兩直線交點(diǎn)、交點(diǎn)到直線距離、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離、交點(diǎn)到圓心距離、交點(diǎn)到點(diǎn)距離圓處理:圓心距離、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離、直線到切點(diǎn)的距離線處理:直線度、凸度、LG凸度、對數(shù)曲線 。



白光輪廓儀的典型應(yīng)用:

對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。  


重慶中芯國際輪廓儀NanoX-8000隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。

    隨著時代的發(fā)展,輪廓儀也越來重要了,不少的產(chǎn)品檢測都需要通過輪廓儀進(jìn)行檢測,***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應(yīng)用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標(biāo)測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化,并分別在X和Z方向上對其進(jìn)行采樣,并將其轉(zhuǎn)換為電信號。電信號被放大和處理,然后轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號并存儲在計(jì)算機(jī)系統(tǒng)的存儲器中。計(jì)算機(jī)以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓,分離表面并計(jì)算粗糙度分量,測量結(jié)果為計(jì)算符號。某個曲線的實(shí)際值及其與參考點(diǎn)的坐標(biāo),或放大的實(shí)際輪廓曲線。測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可以由打印機(jī)輸出。輪廓儀應(yīng)用輪廓儀***用于機(jī)械加工、汽車、摩托車、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光學(xué)元件等行業(yè)適用于研究機(jī)構(gòu)、大學(xué)、計(jì)量機(jī)構(gòu)和企業(yè)計(jì)量室。在汽車,摩托車和制冷行業(yè),它可以測量活塞,活塞銷,齒輪的總線參數(shù)和汽車,摩托車和壓縮機(jī)的閥門柱塞,可以測量各種傾斜部件的參數(shù)。在軸承工業(yè)中,內(nèi)護(hù)套環(huán)的密封槽的形狀(角度,倒角R,槽深,槽寬等);各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部,角度和對數(shù)曲線;電機(jī)軸,圓柱銷,活塞銷,滾針軸承,圓柱滾子軸承。

我們應(yīng)該如何正確使用輪廓儀?

一、準(zhǔn)備工作

1.測量前準(zhǔn)備。

2.開啟電腦、打開機(jī)器電源開關(guān)、檢查機(jī)器啟動是否正常。

3.擦凈工件被測表面。

二、測量

1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。

2.工件固定確認(rèn)工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn)

3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件。

4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。

5.測量完畢,根據(jù)圖紙對結(jié)果進(jìn)行分析,標(biāo)出結(jié)果,并保存、打印。


表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)。

輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測試與檢驗(yàn)的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***。(來自網(wǎng)絡(luò))



先進(jìn)的輪廓儀集成模塊


60年世界水平半導(dǎo)體檢測技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗(yàn) 

所有的關(guān)鍵硬件采用美國、德國、日本等 

PI ,納米移動平臺及控制

Nikon,干涉物鏡

NI,信號控制板和Labview64

控制軟件

TMC 隔震平臺

世界先進(jìn)水平的計(jì)算機(jī)軟硬件技術(shù)平臺


VS2012/64位,.NET/C#/WPF

Intel Xeon 計(jì)算機(jī)


NanoX-8000的VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm ;準(zhǔn)確度<1% ;重復(fù)性<0.1% (1σ,10um臺階高)。材料表面輪廓儀保修期多久

NanoX-8000的XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復(fù)精度 1um。干涉儀輪廓儀競爭力怎么樣

輪廓儀的功能:

廓測量儀能夠?qū)Ω鞣N工件輪廓進(jìn)行長度、高度、間距、水平距離、垂直距離、角度、圓弧半徑等幾何參數(shù)測量。測量效率高、操作簡單、適用于車間檢測站或計(jì)量室使用。


白光輪廓儀的典型應(yīng)用:

對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。


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