NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能
? 菜單式系統(tǒng)設置，一鍵式操作，自動數(shù)據(jù)存儲
? 一鍵式系統(tǒng)校準
? 支持連接MES系統(tǒng)，數(shù)據(jù)可導入SPC
? 具備異常報警，急停等功能，報警信息可儲存
? MTBF ≥ 1500 hrs
? 產(chǎn)能 : 45s/點 （移動 + 聚焦 + 測量）（掃描范圍 50um）
? 具備 Global alignment & Unit alignment
? 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm
? XY運動速度
**快
如果需要了解更多詳細參數(shù)，請聯(lián)系我們岱美儀器技術服務有限公司。
我們主要經(jīng)營鍵合機、光刻機、輪廓儀，隔振臺等設備。 輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用。晶片輪廓儀
隨著時代的發(fā)展，輪廓儀也越來重要了，不少的產(chǎn)品檢測都需要通過輪廓儀進行檢測，***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化，并分別在X和Z方向上對其進行采樣，并將其轉換為電信號。電信號被放大和處理，然后轉換成數(shù)字信號并存儲在計算機系統(tǒng)的存儲器中。計算機以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓，分離表面并計算粗糙度分量，測量結果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標，或放大的實際輪廓曲線。測量結果通過顯示器輸出，也可以由打印機輸出。輪廓儀應用輪廓儀***用于機械加工、汽車、摩托車、精密五金、精密工具、刀 具、模具、光學元件等行業(yè)適用于研究機構、大學、計量機構和企業(yè)計量室。在汽車，摩托車和制冷行業(yè)，它可以測量活塞，活塞銷，齒輪的總線參數(shù)和汽車，摩托車和壓縮機的閥門柱塞，可以測量各種傾斜部件的參數(shù)。在軸承工業(yè)中，內(nèi)護套環(huán)的密封槽的形狀（角度，倒角R，槽深，槽寬等）；各種滾子軸承的滾子和套圈母線的冠部，角度和對數(shù)曲線；電機軸，圓柱銷，活塞銷，滾針軸承，圓柱滾子軸承。四川輪廓儀用途是什么共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多***盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。
1.3. 培訓計劃
在完成系統(tǒng)布線并開始設備安裝后，即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點、設備布置情況和相互之間的關系等，讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個***的認識。
在整個系統(tǒng)驗收前后，安排有關人員在進行培訓。
1.4. 培訓形式
公司指派技術人員向相關人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點；
向受訓學員提供和解釋有關設計文件及圖紙等資料，使學員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握；
針對系統(tǒng)的具體操作一一指導，使相關人員掌握技術要領；
對學員提出的問題進行詳細解答；
比較橢圓偏振儀和光譜反射儀光譜橢圓偏振儀(SE)和光譜反射儀(SR)都是利用分析反射光確定電介質，半導體，和金屬薄膜的厚度和折射率。兩者的主要區(qū)別在于橢偏儀測量小角度從薄膜反射的光,而光譜反射儀測量從薄膜垂直反射的光。獲取反射光譜指南入射光角度的不同造成兩種技術在成本，復雜度，和測量能力上的不同。由于橢偏儀的光從一個角度入射，所以一定要分析反射光的偏振和強度，使得橢偏儀對超薄和復雜的薄膜堆有較強的測量能力。然而，偏振分析意味著需要昂貴的精密移動光學儀器。光譜反射儀測量的是垂直光，它忽略偏振效應（絕大多數(shù)薄膜都是旋轉對稱）。因為不涉及任何移動設備，光譜反射儀成為簡單低成本的儀器。光譜反射儀可以很容易整合加入更強大透光率分析。從下面表格可以看出,光譜反射儀通常是薄膜厚度超過10um的優(yōu)先，而橢偏儀側重薄于10nm的膜厚。在10nm到10um厚度之間，兩種技術都可用。而且具有快速，簡便，成本低特點的光譜反射儀通常是更好的選擇。光譜反射率光譜橢圓偏振儀厚度測量范圍1nm-1mm(非金屬)-50nm(金屬)*-(非金屬)-50nm(金屬)測量折射率的厚度要求>20nm(非金屬)5nm-50nm(金屬)>5nm(非金屬)>。表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通常可分為接觸時和非接觸時兩種，其中以非接觸式測量方法為主。
NanoX-系列輪廓儀**性客戶
? 集成電路相關產(chǎn)業(yè)
– 集成電路先進封裝和材料：華天科技，通富微電子，江蘇納佩斯
半導體，華潤安盛等
? MEMS相關產(chǎn)業(yè)
– 中科院蘇州納米所，中科電子46所，華東光電集成器件等
? 高 效太陽能電池相關產(chǎn)業(yè)
– 常州億晶光電，中國臺灣速位科技、山東衡力新能源等
? 微電子、FPD、PCB等產(chǎn)業(yè)
– 三星電機、京東方、深圳夏瑞科技等
具備 Global alignment & Unit alignment
自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm
XY運動速度 **快
如果有什么問題，請聯(lián)系我們。
儀器運用高性能內(nèi)部抗震設計，不受外部環(huán)境影響測量的準確性。表面輪廓儀優(yōu)惠價格
每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊。晶片輪廓儀
輪廓儀的性能
測量模式
移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）
樣 品 臺
150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）
XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°
可選手動/電動樣品臺
CCD 相機像素
標配：1280×960
視場范圍
560×750um（10×物鏡）
具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機
光學系統(tǒng)
同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)
光 源
高 效 LED
Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）
Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描，拓展達 10mm )
縱向分辨率 ＜0.1nm
RMS 重復性* 0.005nm，1σ
臺階測量** 準確度 ≤0.75％；重復性 ≤0.1%，1σ
橫向分辨率 ≥0.35um（100 倍物鏡）
檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 晶片輪廓儀
岱美儀器技術服務（上海）有限公司是一家磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿(mào)易、轉口貿(mào)易，商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理（拍賣除外）及其相關配套服務，國際貿(mào)易、轉口貿(mào)易，商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司，是一家集研發(fā)、設計、生產(chǎn)和銷售為一體的專業(yè)化公司。公司自創(chuàng)立以來，投身于磁記錄，半導體，光通訊生產(chǎn)，測試儀器的批發(fā)，是儀器儀表的主力軍。岱美儀器技術服務始終以本分踏實的精神和必勝的信念，影響并帶動團隊取得成功。岱美儀器技術服務始終關注自身，在風云變化的時代，對自身的建設毫不懈怠，高度的專注與執(zhí)著使岱美儀器技術服務在行業(yè)的從容而自信。