河南專業(yè)BOE蝕刻液商家

    該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為丙二醇丁醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分別為總質(zhì)量的％、％。實(shí)施例2本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為三乙二醇乙醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉，添加量分別為總質(zhì)量的％、％。實(shí)施例3本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為三甘醇單丁醚、月桂酰氨乙基硫酸鈉，添加量分別為總質(zhì)量的％、％。實(shí)施例4本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。添加劑為二乙二醇單甲醚、脂肪醇聚氧乙烯醚磷酸酯moa-7p，添加量分別為總質(zhì)量的％、％。實(shí)施例5本發(fā)明的實(shí)施例按蝕刻液總質(zhì)量為400g進(jìn)行配制，先稱取濃度為85％的磷酸，然后稱取添加劑加入磷酸中，該實(shí)施例中所含成分及各成分稱取的質(zhì)量顯示于表1。蘇州博洋生產(chǎn)銷售BOE蝕刻液。河南專業(yè)BOE蝕刻液商家

    本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑，來改善磷酸的浸潤(rùn)性和表面張力，使之均勻蝕刻氮化硅。背景技術(shù)：氮化硅是一種具有很高的化學(xué)穩(wěn)定性的絕緣材料，氫氟酸和熱磷酸能對(duì)氮化硅進(jìn)行緩慢地腐蝕。在半導(dǎo)體制造工藝中，一般是采用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻，一直到了90nm的制程也是采用熱磷酸來蝕刻氮化硅。但隨著半導(dǎo)體制程的飛速發(fā)展，器件的特征尺寸越來越小，集成度越來越高，對(duì)制造工藝中的各工藝節(jié)點(diǎn)要求也越來越高，如蝕刻工藝中對(duì)蝕刻后晶圓表面的均勻性、蝕刻殘留、下層薄膜的選擇性等都有要求。在使用熱磷酸對(duì)氮化硅進(jìn)行蝕刻時(shí)，晶圓表面會(huì)出現(xiàn)不均勻的現(xiàn)象，體現(xiàn)于在蝕刻前后進(jìn)行相同位置取點(diǎn)的厚度測(cè)量時(shí)，檢測(cè)點(diǎn)之間蝕刻前后的厚度差值存在明顯差異。為了解決氮化硅蝕刻不均勻的問題，通過在磷酸中添加醇醚類和表面活性劑可以實(shí)現(xiàn)氮化硅層的均勻蝕刻。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種能均勻蝕刻氮化硅層的蝕刻液。本發(fā)明涉及一種提高氮化硅蝕刻均勻性的酸性蝕刻液，所述蝕刻液的組成包括：占蝕刻液總重量≥88％的磷酸、％的醇醚類、％的表面活性劑。進(jìn)一步地，本發(fā)明涉及上述蝕刻液。上海什么是BOE蝕刻液銷售廠家蘇州博洋化學(xué)股份有限公司提供專業(yè)蝕刻液。

    ósitosapareddecubetoserácomomínimode50centímetrosyentretanquesserááóóónexteriordelosdepósitosseestudiarádeformaespecialenloscasosdeexistenciadeaguasselenitosas,corrosivasuotroselementosagresivosenlazonaadyacentealenterramientoycomomínimo,enmedionoagresivo,elrevestimientodeberá:1.oTenerunespesormí.oResistiralensayode15kVdetensióndeperforación,.oónseaplicarásobretodalasuperficieexterior,ósitosselimpiarádeaceites,grasas,etc.,aplicándoseuntratamientodecepilladomanualomecánicoparaconseguirquelasuperficiepresenteunaspectodebrillometálico,ónpasivainterior,á?ósitosdeaceroinoxidablenoseránecesarialaproteccióáunaorejetaenchapadeacerodecincomilímetrosdeespesorcomomínimo,soldadaalcuellodelabocadehombreparalaconexión,mediantetornilloosoldadura?CADWELD?,delalíneadetierraoproteccióncatódica;launiónseprotegeráyaislarámediantepastasepoxíálacontinuidadeléctricadelatapadelabocadehombre。

    這是除去固體顆粒、電子流、水、或者或多或少具有極性的油脂污染的要求。在精細(xì)清洗中，經(jīng)常存在裝有凹槽、肋條或盲孔的非常復(fù)雜的部件，必須用溶劑對(duì)其進(jìn)行潤(rùn)濕，以使溶劑在這些難洗位置發(fā)揮作用。氟化溶劑來自提供表面的可能性的潤(rùn)濕的溶劑類型，其中，所述表面的可能性的潤(rùn)濕以非常低的表面張力表示(例如，相對(duì)于，HCFC141b為)。高潤(rùn)濕的另一優(yōu)點(diǎn)是得到基底的較快干燥。在幾乎相同的分子量下，氟化溶劑具有較低的沸點(diǎn)和較高的蒸氣壓。因此，HCFC141b在32°C下沸騰而氯仿在61°C下沸騰。這兩種性質(zhì)(低沸點(diǎn)和高蒸氣壓)有利于這些溶劑在利用蒸氣相操作的常規(guī)工業(yè)機(jī)器中的應(yīng)用，使得能夠進(jìn)行部件的漂洗和干燥，而且使得被連續(xù)蒸餾的溶劑能夠再生。這些機(jī)器裝有用于通過冷凝而使蒸氣在盤管上冷卻的大功率(heavy-duty)系統(tǒng)，這些機(jī)器的操作方法使得所用高蒸氣壓的缺點(diǎn)小化。工業(yè)家們期望可用于他們的現(xiàn)有機(jī)器存貨的替代解決方案。此外，氫氟烴地用于制冷和傳熱過程。本發(fā)明提供具有低GWP且具有可生物降解的優(yōu)點(diǎn)的組合物。根據(jù)本發(fā)明的組合物含甲基四氫呋喃和至少一種式C4F90R的九氟丁基烷基醚，其中R具有14個(gè)碳原子的線型或支化的飽和烷基鏈。有利地。BOE蝕刻液的比例分為哪些？

    形成氣液混合體，從擴(kuò)散管22排出又進(jìn)入到再生液調(diào)配缸3。電解再生某線路板生產(chǎn)線蝕刻廢液，蝕刻廢液量1000m3/d，相比沒有使用本實(shí)用新型所提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)，能耗節(jié)約40％，節(jié)約使用藥品100kg/d，經(jīng)濟(jì)效益提高30％。作為本實(shí)施例的一個(gè)示例，電解槽1的陽極可選用石墨電極，陰極可選用鈦或鈦合金板狀電極，電解槽1中陰極與陽極之間的距離為55mm，電解槽1的電流密度為300a/m2。與實(shí)施例相結(jié)合，圖2示出了本實(shí)用新型第二實(shí)施例提供的酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)，在實(shí)施例的基礎(chǔ)上，第二實(shí)施例進(jìn)一步包括曝氣裝置5，曝氣裝置5通過管道深入到再生液調(diào)配缸3的液體中，用于向再生液調(diào)配缸3中的電解后液輸送氣體以進(jìn)行攪拌，以提高整個(gè)系統(tǒng)的工作效率。進(jìn)一步地，與上述、第二實(shí)施例相結(jié)合，酸性蝕刻液電解后液處理系統(tǒng)還可以包括一后續(xù)處理系統(tǒng)，用于向經(jīng)過再生液調(diào)配缸3處理過的電解后液中加入氯化鈉、鹽酸并攪拌均勻，然后再打入到子液桶，實(shí)現(xiàn)再生液循環(huán)利用。以上所述為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。BOE蝕刻液，讓您的產(chǎn)品更出色。河南哪些新型BOE蝕刻液主要作用

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    可通過蒸發(fā)或蒸餾或者通過對(duì)比給定溫度下的泡點(diǎn)或的蒸氣壓來實(shí)施共沸型化合物的確定。在工業(yè)應(yīng)用的情況下使用共沸物是特別有利的，以使組合物再生，例如當(dāng)其飽和有污染物的時(shí)候。簡(jiǎn)單蒸餾可回收初的共沸組合物，而沒有各組分的任何分餾。而且，2-甲基四氫呋喃(2-MeTHF)具有得自可再生原料(例如得自纖維素材料的糠醛)的優(yōu)點(diǎn)。因此，半纖維素多糖是含有5個(gè)碳原子的基于糖的聚合物。當(dāng)在硫酸的存在下加熱半纖維素時(shí)，得到戊糖(含有5個(gè)碳原子的糖)，例如木糖。當(dāng)進(jìn)行木糖的熱脫水時(shí)，該木糖轉(zhuǎn)化為糠醛。除了低的GWP和它們的可生物降解性之外，根據(jù)本發(fā)明的一些組合物是不可燃的(根據(jù)ASTMD3828標(biāo)準(zhǔn)，閉杯閃點(diǎn)高于55°C)并且特別適合作為清洗溶劑或作為用于加熱和冷卻應(yīng)用的制冷劑。它們也可用作發(fā)泡劑。實(shí)驗(yàn)部分實(shí)施例1通過使用沸點(diǎn)測(cè)定技術(shù)測(cè)量液體混合物的沸點(diǎn)。首先，將適量的九氟丁基甲基醚裝料到沸點(diǎn)測(cè)定儀中，然后，使其沸騰。在達(dá)到平衡狀態(tài)之后，記錄在大氣壓下的沸點(diǎn)。然后，將甲基四氫呋喃的等分試樣引入到所述沸點(diǎn)測(cè)定儀中并且在已達(dá)到平衡狀態(tài)之后再次記錄溫度。表I給出九氟丁基甲基醚和甲基四氫呋喃的各種混合物在。河南專業(yè)BOE蝕刻液商家