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有關(guān)推薦或參考值的應(yīng)用無塵室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定,隨無塵室用途等具體情況而異,它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過濾器效率還受其他因素影響,就工業(yè)無塵室工程而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:(1)無塵室內(nèi)污染源:建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,根據(jù)具體情況而異,變化很大;(2)無塵室內(nèi)氣流流型及分布:單向流要求均勻、平等的流線,但會(huì)受到工藝設(shè)備布置和位置變動(dòng)及人員活動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層;(3)自凈時(shí)間(恢復(fù)時(shí)間)的控制要求:無塵室中事故釋放或帶入污染物。
興元環(huán)境致力于中央空調(diào)系統(tǒng)、各級別潔凈系統(tǒng)、機(jī)電安裝總包工程的方案設(shè)計(jì)、安裝施工、售后服務(wù)。珠海百級無塵室裝修
復(fù)合式無塵室為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上,可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離,以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì),ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn):A.彈性擴(kuò)充容易;B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。⑵潔凈管道(CleanTube):將產(chǎn)品流程經(jīng)過的自動(dòng)生產(chǎn)線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離,少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度,可節(jié)省能源,不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線為**適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導(dǎo)體業(yè)界均適用。⑶并裝局部無塵室(CleanSpot):將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產(chǎn)之用;潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。 清遠(yuǎn)萬級無塵室無塵室的結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性好。
21世界,產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革,無塵室設(shè)立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化,塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害,導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的***要求,環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。所謂的無塵室是一個(gè)人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級數(shù)的快速成長,也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于。優(yōu)于納米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí),就可能會(huì)使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。
進(jìn)入無塵室的注意事項(xiàng):一,進(jìn)入無塵室之前,必須要通知管理人,并通過基本的訓(xùn)練;二,進(jìn)入無塵室嚴(yán)禁吸煙、吃東西,不可以帶外來物品進(jìn)去,并且嚴(yán)禁嘻鬧奔跑及組團(tuán)聊天;三,進(jìn)入無塵室之前,必須要在規(guī)定的地方脫鞋,將鞋放在鞋柜中,外衣放在衣柜,私人物品放在私人柜子,而且柜子不可以放食物;四,進(jìn)入無塵室的時(shí)候必須要在更衣室換衣服,并且按照規(guī)矩穿戴好口罩、無塵帽、無塵衣以及鞋套;五,進(jìn)入無塵室要進(jìn)行酒精消毒等等。無塵室內(nèi)無菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過300個(gè)/ min.人,動(dòng)態(tài)發(fā)菌量一般不超過1000個(gè)/ min/人。
萬級無塵室,亦稱為無塵室或清凈室。在FED-STD-2里面,無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。世界各國均有自定規(guī)格,但普遍依據(jù)美國聯(lián)邦頒布的標(biāo)準(zhǔn)【FederalStandard(FS)209E,1992】,可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設(shè)塵粒的尺寸為μm,例如,1級、10級、100級無塵室比較大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是μm,無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。如何做好無塵室的管理工作保證無塵室的潔凈度?惠州無塵室裝修
無塵室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。珠海百級無塵室裝修
簡易無塵室通常都是建在無塵車間內(nèi),所以不需要考慮風(fēng)淋室、傳遞窗以及空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng),成本與無塵車間比較會(huì)有很大降低,當(dāng)然這與簡易無塵室所需材料、大小以及潔凈級別有一定的關(guān)系。會(huì)將簡易無塵室建在無塵室之內(nèi),但有的客戶不想單獨(dú)建無塵車間,在簡易無塵室不考慮空調(diào)系統(tǒng)及風(fēng)淋室、傳遞窗等凈化設(shè)備的情況下,簡易無塵室的成本約是無塵車間造價(jià)的40%~60%,這取決于客戶對簡易無塵室材料的選擇,以及簡易無塵室的大小。需要潔凈的區(qū)域越大,簡易無塵室與無塵車間的成本相比差別會(huì)越小。
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