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深圳市神州天柱科技有限公司2025-04-05
就等離子清洗機(jī)而言，氣體放電是常用的方式。氣體放電分為多種類型，如自持放電、火花放電、輝光放電、高頻放電、低頻放電、微波放電、脈沖放電等。以下就兩種等離子清洗機(jī)所采用的氣體放電方式展開介紹：
低頻放電
低頻放電的頻率一般在50～500KHz，其原理是在電極間利用低頻電場激發(fā)產(chǎn)生等離子體，這種方式在材料表面改性中大量應(yīng)用。低頻放電由于交流電場作用，其放電電壓遠(yuǎn)低于直流放電，并且隨著頻率的提高放電電壓和維持電壓降低，低頻放電的放電模式與頻率相關(guān)，頻率較低時，和直流輝光放電類似，此時電子和離子移動距離短，電離度低；當(dāng)頻率提高到一定數(shù)值，電子和離子在電極間振蕩運(yùn)動，移動行程增大，與氣體分子發(fā)生碰撞的機(jī)率增大，電離度提高。目前市面所售的等離子清洗機(jī)有低頻放電方式，頻率為40KHz，低頻放電符合輝光放電的特性，與射頻放電相比，電流很小，不存在阻抗匹配的問題，結(jié)構(gòu)簡單，多為電容耦合結(jié)構(gòu)，因此電極的二次污染問題仍然存在。
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高頻放電 高頻放電又稱射頻放電，其放電頻率通常在10-100MHz之間。在放電過程中放電方向隨著電極極性的調(diào)換而調(diào)換。在電源放電頻率較低的時候放電會不穩(wěn)定，隨著電源放電頻率的增大，當(dāng)頻率增大一定程度后就會開始穩(wěn)定放電。在高頻放電的過程中，帶電粒子在高頻電場的作用下在兩極板間運(yùn)動。因?yàn)殡x子運(yùn)動的軌跡很長，所以在較長的運(yùn)動軌跡內(nèi)分子互相碰撞概率會得到增大，由此高頻放電的電離度相比于輝光放電會高很多。目前射頻放電的國際通用標(biāo)準(zhǔn)頻率為13.56MHz。根據(jù)耦合方式分類，大致可以分為兩種，一種是電容耦合另一種是電感耦合。電容耦合大多采用內(nèi)置的平板電極模式，放電時在兩極板上加射頻電源，在兩極板間氣體激發(fā)產(chǎn)生等離子體。與之不同的是電感耦合大部分利用外電極放電，其原理是應(yīng)用電磁感應(yīng)將感應(yīng)線圈纏繞在放電腔體外部激發(fā)出二次電場，從而激發(fā)腔體內(nèi)的氣體產(chǎn)生等離子體。這兩種耦合方式各有優(yōu)劣。
