12寸IC探針臺半導(dǎo)體晶圓點測機的主要特點是什么？

深圳市泰克光電科技有限公司2025-04-05

深圳市泰克光電科技有限公司的12寸IC探針臺半導(dǎo)體晶圓點測機是由深圳市泰克光電科技有限公司研發(fā)和生產(chǎn)的一款高精度測試設(shè)備。其主要特點包括采用大理石材質(zhì)精密平臺，確保機構(gòu)平臺的穩(wěn)定性和精度；XYZ軸采用日本東方電機，具有高速、高精度的運動控制能力；XY軸安裝了雷尼紹0.5um光柵尺，能夠?qū)崿F(xiàn)更精確的位置測量；XY傳動采用THK絲桿及導(dǎo)軌，確保了機器的穩(wěn)定性和耐用性；同時，該設(shè)備還配備了12英寸晶圓適用的CHUCK盤，兼容多種尺寸的晶圓和單個DIE吸附，滿足不同測試需求。

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