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電容式加速度傳感器的構(gòu)造是什么？

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揚(yáng)州科動電子有限責(zé)任公司2025-04-05

當(dāng)前大多數(shù)的電容式加速度傳感器都是由三部分硅晶體圓片構(gòu)成的，中層是由雙層的SOI硅片制成的活動電容極板。 中間的活動電容極板是由八個彎曲彈性連接梁所支撐，夾在上下層兩塊固定的電容極板之間。提高精度很重要的一項措施就是采用差動測量方式，極大地提高了信噪比。因此，電容式MEMS加速度傳感器幾乎全部采用差動結(jié)構(gòu)。

本回答由 揚(yáng)州科動電子有限責(zé)任公司 提供

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簡介：專注于加速度傳感器、壓力傳感器、力傳感器、數(shù)據(jù)采集器，秉持“顧客至上誠信為本”的經(jīng)營理念，歡迎洽談咨
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