伺服系統(tǒng)定位精度的激光干涉儀校準(zhǔn)流程是什么？

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成都微伺科技有限公司2025-03-27

伺服系統(tǒng)定位精度的激光干涉儀校準(zhǔn)流程如下：準(zhǔn)備工作? 確保測(cè)量環(huán)境穩(wěn)定，控制溫度、濕度和氣壓，以減少外部因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響?。安裝激光干涉儀，并將其與伺服系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)軸對(duì)準(zhǔn)，確保光路準(zhǔn)確?。光路校準(zhǔn)? 調(diào)整激光干涉儀的干涉鏡和反射鏡，使激光束與被測(cè)軸精確對(duì)準(zhǔn)?。使用激光頭后方的指形輪和三腳架旋鈕，確保兩道光束完全重合并進(jìn)入回光孔?。數(shù)據(jù)采集? 在伺服系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)軸上設(shè)置若干等距定位點(diǎn)，并啟動(dòng)測(cè)量軟件，輸入相關(guān)參數(shù)（如材料膨脹系數(shù)）?。采用基于位置的目標(biāo)采集方式，記錄每個(gè)定位點(diǎn)的數(shù)據(jù)，并生成分析曲線(xiàn)?。誤差分析與補(bǔ)償? 通過(guò)測(cè)量軟件分析數(shù)據(jù)，繪制誤差補(bǔ)償圖表，確定每個(gè)定位點(diǎn)的補(bǔ)償值?。將補(bǔ)償數(shù)據(jù)寫(xiě)入伺服系統(tǒng)控制系統(tǒng)，以修正定位誤差?。驗(yàn)證與調(diào)整? 重新測(cè)量伺服系統(tǒng)的定位精度，驗(yàn)證補(bǔ)償效果?。若誤差仍超出允許范圍，重復(fù)調(diào)整光路和補(bǔ)償參數(shù)，直至滿(mǎn)足精度要求?。記錄與存檔? 詳細(xì)記錄校準(zhǔn)過(guò)程中的所有步驟和結(jié)果，便于后續(xù)復(fù)查和分析?。通過(guò)以上流程，可有效提升伺服系統(tǒng)的定位精度，確保其在高精度應(yīng)用中的穩(wěn)定性和可靠性?。