重慶自制超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備

晶圓切割是半導(dǎo)體封測(cè)工藝中不可或缺的關(guān)鍵工序，據(jù)悉，與傳統(tǒng)的切割方式相比，激光切割屬于非接觸式加工，可以避免對(duì)晶體硅表面造成損傷，并且具有加工精度高、加工效率高等特點(diǎn)，可以大幅提升芯片生產(chǎn)制造的質(zhì)量、效率、效益。在光學(xué)方面，根據(jù)單晶硅的光譜特性，結(jié)合工業(yè)激光的應(yīng)用水平，該設(shè)備采用了合適的波長(zhǎng)、總功率、脈寬和重頻的激光器，**終實(shí)現(xiàn)了隱形切割。 在影像方面，采用不同像素尺寸、不同感光芯片的相機(jī)，配以不同功效的鏡頭，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品輪廓識(shí)別及低倍、中倍和高倍的水平調(diào)整。尋找超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的專業(yè)生產(chǎn)廠家。重慶自制超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備

半導(dǎo)體晶圓的激光隱形切割技術(shù)是一種全新的激光切割工藝，具有切割速度快、切割不產(chǎn)生粉塵、無(wú)耗損、所需切割道小、完全干制程等諸多優(yōu)勢(shì)。隱形切割主要原理是將短脈沖激光光束透過(guò)材料表面聚焦在材料中間，在材料中間形成改質(zhì)層，然后通過(guò)外部施加壓力使芯片分開(kāi)。晶圓切割是先進(jìn)技術(shù)的**，標(biāo)志著一個(gè)國(guó)家的先進(jìn)水平，想要不出現(xiàn)被卡脖子的狀況，唯有發(fā)展自己的技術(shù)，才能跳出這個(gè)泥潭，作為激光行業(yè)的**，超通智能針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)研發(fā)的超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備目前已經(jīng)廣泛應(yīng)用于LED芯片、MEMS芯片、FRID芯片、SIM芯片、存儲(chǔ)芯片等諸多晶圓的切割領(lǐng)域，為國(guó)家的進(jìn)步做貢獻(xiàn)，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化生產(chǎn)，提升國(guó)家競(jìng)爭(zhēng)力。重慶自制超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備的市場(chǎng)應(yīng)用分析。

近年來(lái)光電產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，高集成度和高性能的半導(dǎo)體晶圓需求不斷增長(zhǎng)，硅、碳化硅、藍(lán)寶石、玻璃以及磷化銦等材料被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓的襯底材料。隨著晶圓集成度大幅提高，晶圓趨向于輕薄化，傳統(tǒng)的很多加工方式已經(jīng)不再適用，于是在部分工序引入了激光技術(shù)。在諸多激光技術(shù)中脈沖激光特別是超短脈沖激光在精密加工領(lǐng)域應(yīng)用又尤為***，超短脈沖激光是指激光單個(gè)脈沖寬度達(dá)到甚至小于10-12秒（即皮秒）這個(gè)量級(jí)的激光，由于激光脈沖時(shí)間寬度極短，在某個(gè)頻率（即一定脈沖個(gè)數(shù)）下需要釋放設(shè)定的激光功率，單個(gè)脈沖的激光功率就是固定的，將單個(gè)脈沖的能量在極短的時(shí)間釋放出去，造成瞬時(shí)功率極高（兆瓦及以上），瞬間改變材料性質(zhì)，平均功率很低對(duì)材料加工區(qū)域熱影響很小的加工效果即激光冷加工。超短脈沖激光加工具有諸多獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)：

主要性能參數(shù)產(chǎn)品型號(hào)CTI-GlassCut皮秒激光器激光器波長(zhǎng)1064 nm激光器脈寬10 ps平均峰值功率50W切割頭切割焦深5 mm**小光斑1-2 um切割精度±20 um崩邊<5 um切割速度100mm/s (3mm白玻璃)工作平臺(tái)參數(shù)平臺(tái)形式XY直線電機(jī)基座高精度大理石平臺(tái)加工范圍400×400 mm（可定制）定位精度±3 um重復(fù)定位精度±2 um比較大速度1000 mm/sCCD工業(yè)相機(jī)600W鏡頭遠(yuǎn)心鏡頭系統(tǒng)屬性支持文件格式DXF等常規(guī)CAD格式環(huán)境要求溫度：20-30℃，濕度：<60%電力需求380V/50Hz/10KVA選擇超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備應(yīng)該注意什么？無(wú)錫超通智能告訴您。

在激光切割晶圓過(guò)程中，從光斑直徑上來(lái)分析，光斑直徑是指光強(qiáng)降落到中心值的點(diǎn)所確定的范圍，這個(gè)范圍內(nèi)包含了光束能量的86.5%。在理想情況下，直徑范圍內(nèi)的激光可以實(shí)現(xiàn)切割。實(shí)際上，劃片寬度略大于光斑直徑。在劃片時(shí)，聚焦后的光斑直徑當(dāng)然是越小越好，這樣劃片所需的劃片槽尺寸就會(huì)越小。相應(yīng)方法就是減小焦距。但是，減小聚焦鏡焦距的代價(jià)就是焦深會(huì)縮短，使得劃片厚度減少。因此，焦距的確定需要綜合考慮劃片的厚度和劃片槽的寬度。無(wú)錫超通智能超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)。山西先進(jìn)超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備解決方案

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隨著厚度的不斷減薄，晶圓會(huì)變得更為脆弱，因此機(jī)械劃片的破片率大幅增加，而此階段晶圓價(jià)格昂貴，百分之幾的破片率就足以使利潤(rùn)全無(wú)。另外，當(dāng)成品晶圓覆蓋金屬薄層時(shí)，問(wèn)題會(huì)變得更加復(fù)雜，金屬碎屑會(huì)包裹在金剛石刀刃上，使切割能力大下降，嚴(yán)重的會(huì)有造成破片、碎刀的后果崩邊現(xiàn)象會(huì)更明顯，尤其是交叉部分破損更為嚴(yán)重。當(dāng)機(jī)械劃片遇到無(wú)法克服的困難時(shí)，人們自然想到用激光來(lái)劃片。激光劃片可進(jìn)行橢圓等異形線型的劃切，也允許晶圓以更為合理的方式排列，可在同樣大的晶圓上排列更多的晶粒，使有效晶粒數(shù)量增加重慶自制超快激光玻璃晶圓切割設(shè)備