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MEMS技術(shù)已滲透到消費(fèi)電子、汽車、醫(yī)療、工業(yè)及航空航天等多個(gè)領(lǐng)域。在消費(fèi)電子中,智能手機(jī)依賴MEMS加速度計(jì)、陀螺儀實(shí)現(xiàn)屏幕旋轉(zhuǎn)和運(yùn)動(dòng)追蹤,麥克風(fēng)與氣壓計(jì)也基于MEMS技術(shù);智能手表通過光學(xué)MEMS傳感器監(jiān)測(cè)心率。在汽車行業(yè),MEMS壓力傳感器用于發(fā)動(dòng)機(jī)控制,安全氣囊的觸發(fā)依賴加速度計(jì),胎壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(TPMS)也由其實(shí)現(xiàn)。醫(yī)療領(lǐng)域,MEMS被用于可穿戴健康監(jiān)測(cè)設(shè)備、微型藥物輸送泵及高精度手術(shù)工具,例如內(nèi)窺鏡中的**頭。此外,工業(yè)自動(dòng)化中的振動(dòng)監(jiān)測(cè)、環(huán)境傳感(如溫濕度、氣體檢測(cè))以及航空航天中的慣性導(dǎo)航系統(tǒng)均離不開MEMS。其小型化和低功耗特性尤其適合物聯(lián)網(wǎng)(IoT)設(shè)備,推動(dòng)了智慧城市和遠(yuǎn)程監(jiān)測(cè)的發(fā)展。8英寸MEMS研發(fā)中試ODM產(chǎn)線,啟樸芯微支持8英寸MEMS微納加工服務(wù),兼容4-6英寸MEMS微納加工需求。杭州傳感檢測(cè)系統(tǒng)MEMS工藝檢測(cè)長期項(xiàng)目合作
8英寸MEMS研發(fā)中試ODM產(chǎn)線,配套激光隱切機(jī)、光刻機(jī)、深硅刻蝕機(jī)等一整套前沿技術(shù)設(shè)備,由此,啟樸芯微具備為客戶提供質(zhì)量產(chǎn)品服務(wù)的能力,百級(jí)/萬級(jí)室內(nèi)MEMS加工無菌車間和微納加工實(shí)驗(yàn)室,賦予啟樸芯微強(qiáng)大的加工與測(cè)試能力,兼容8/6/4英寸晶圓級(jí)微納加工,更充分支持實(shí)現(xiàn)國內(nèi)MEMS技術(shù)企業(yè)、科研院所和高校的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、工藝開發(fā)、流片代工和測(cè)試應(yīng)用需求。寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術(shù)有限公司專注于像元級(jí)光譜和偏振超維光學(xué)芯片及光學(xué)系統(tǒng)解決方案,擁有自主可控的寧波i首條8英寸MEMS研發(fā)中試ODM產(chǎn)線,兼容8/6/4英寸晶圓級(jí)微納加工。公司擁有辦公與生產(chǎn)區(qū)域共1000余平方米,百級(jí)/萬級(jí)MEMS加工無菌車間和微納加工實(shí)驗(yàn)室,同步配備倉儲(chǔ)空間,生產(chǎn)過程嚴(yán)格遵循相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn),為國內(nèi)傳感智能技術(shù)企業(yè)、科研院所、高校提供高質(zhì)量的MEMS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、工藝開發(fā)、流片代工、測(cè)試應(yīng)用服務(wù)。沈陽新型MEMS工藝檢測(cè)研發(fā)型企業(yè)為廣大客戶提供質(zhì)量、效率與穩(wěn)定性并具的服務(wù)體驗(yàn),啟樸芯微備受信賴!
寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術(shù)有限公司成立于2022年9月,是一家專注于像元級(jí)光譜和偏振超維光學(xué)芯片及光學(xué)系統(tǒng)解決方案的科技研發(fā)型企業(yè),自主可控國內(nèi)首條8英寸MEMS研發(fā)中試ODM產(chǎn)線,具備光刻、深硅刻蝕、鍵合、PVD、ALD、濕法腐蝕與清洗、氧化退火、CMP、激光隱形切割、SEM、FIB等加工與測(cè)試能力,兼容8/6/4英寸晶圓級(jí)微納加工。作為一個(gè)兼具產(chǎn)品開發(fā)能力和技術(shù)加工能力的科技型企業(yè),本著“斫雕為樸,芯程再啟”的企業(yè)宗旨,啟樸芯微將展示在MEMS產(chǎn)品設(shè)計(jì)、晶圓加工、工藝檢驗(yàn)等不同環(huán)節(jié)的技術(shù)服務(wù)能力,包括但不限于既往的光刻、深硅刻蝕、鍵合、濕法腐蝕與清洗、氧化退火、激光隱形切割、光譜橢偏測(cè)試、傅里葉紅外光譜測(cè)試、探針臺(tái)階測(cè)試等服務(wù)方案和應(yīng)用成果。
在市場(chǎng)拓展方面,啟樸芯微積極與高校、科研院所和相關(guān)行業(yè)企業(yè)開展合作與交流,共同推動(dòng)光學(xué)傳感技術(shù)的研發(fā)和應(yīng)用,為客戶量身打造小型化、集成化的高分辨率特種光學(xué)相機(jī)模組和光學(xué)檢測(cè)解決方案,切實(shí)滿足了客戶對(duì)于高性能、高精度產(chǎn)品服務(wù)的需求,為構(gòu)建千萬級(jí)本土產(chǎn)業(yè)規(guī)模做出了積極貢獻(xiàn)。啟樸芯微不斷吸納、凝聚MEMS領(lǐng)域?qū)I(yè)人才,構(gòu)建了一支具有凝聚力、自驅(qū)力的智能傳感領(lǐng)域科創(chuàng)工程師隊(duì)伍,為公司的持續(xù)創(chuàng)新和發(fā)展提供了堅(jiān)實(shí)的人才保障。面向未來,啟樸芯微將繼續(xù)深耕光學(xué)傳感領(lǐng)域,以智能制造加工為導(dǎo)向,同步開展技術(shù)開發(fā)、團(tuán)隊(duì)平臺(tái)建設(shè)和合作互信,不斷提升自身的技術(shù)實(shí)力,更好地為客戶提供質(zhì)量MEMS微納加工服務(wù)。啟樸芯微恪守對(duì)MEMS的熱情和專注,為推動(dòng)光學(xué)傳感技術(shù)的快速發(fā)展和產(chǎn)業(yè)升級(jí)貢獻(xiàn)智慧和力量。
啟樸芯微團(tuán)隊(duì)研發(fā)的微小型光譜成像系統(tǒng),是科技與生活的深度融合。在食品加工領(lǐng)域,它可以精細(xì)檢測(cè)食品中的營養(yǎng)成分和有害物質(zhì),保障消費(fèi)者的飲食安全。在藥品生產(chǎn)中,它能夠?qū)λ幤返馁|(zhì)量進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),確保藥品的療效和安全性。在精細(xì)零部件加工過程中,它可以檢測(cè)零部件的表面質(zhì)量和內(nèi)部結(jié)構(gòu),提高產(chǎn)品的合格率。這一系統(tǒng)的應(yīng)用,不僅提高了生產(chǎn)效率,還降低了生產(chǎn)成本,為行業(yè)的發(fā)展帶來了新的機(jī)遇。同時(shí),它的空間可識(shí)別性、超多波段、圖譜合一等優(yōu)點(diǎn),使其在未來的科技發(fā)展中具有廣闊的應(yīng)用前景。公司積極推動(dòng)技術(shù)研發(fā)與市場(chǎng)需求結(jié)合,參與行業(yè)交流積極!株洲研發(fā)型MEMS工藝檢測(cè)技術(shù)能力
啟樸芯微,由市場(chǎng)人員負(fù)責(zé)對(duì)接客戶方前后需求,建立生產(chǎn)人員直接溝通渠道,保障客戶項(xiàng)目安全!杭州傳感檢測(cè)系統(tǒng)MEMS工藝檢測(cè)長期項(xiàng)目合作
寧波啟樸芯微自主可控國內(nèi)首條8英寸MEMS規(guī)模化加工服務(wù)ODM產(chǎn)線,實(shí)驗(yàn)區(qū)內(nèi)設(shè)置有激光隱切機(jī)、光刻機(jī)、深硅刻蝕機(jī)、電子束蒸鍍儀、鍵合機(jī)、濕法腐蝕系統(tǒng)、磁控濺射儀、原子層沉積設(shè)備、化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)、自動(dòng)涂膠顯影系統(tǒng)等整套技術(shù)設(shè)備,加工區(qū)域1000余平方米,具備**研發(fā)室、光學(xué)實(shí)驗(yàn)室,配套百級(jí)/萬級(jí)室內(nèi)MEMS加工無菌車間、微納加工實(shí)驗(yàn)室,可以***支持8英寸(兼容4/6英寸)晶圓級(jí)MEMS技術(shù)研發(fā)和加工制造,自建立以來已服務(wù)200余家高校、科研院所和科創(chuàng)企業(yè),并先后成功獲批浙江省MEMS傳感芯片定制加工服務(wù)型示范平臺(tái)、寧波市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、浙江省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等。杭州傳感檢測(cè)系統(tǒng)MEMS工藝檢測(cè)長期項(xiàng)目合作