聚酰亞胺材料顯影工藝影響聚酰亞胺顯影工藝的因素較多,隨著烘烤的條件、膠的厚度、曝光能量以及顯影方式等多種因素而不斷變化,并且它是產(chǎn)生各種缺陷的關(guān)鍵因素。如果顯影不足會(huì)造成顯影不凈,而顯影過度則會(huì)造成過顯,導(dǎo)致線寬偏大。由于聚酰亞胺高黏稠度導(dǎo)致它相對一般光刻膠而言較難被顯影干凈,所以選擇兩次顯影方式。聚酰亞胺的顯影工藝是光刻工藝中至關(guān)重要的部分。本實(shí)驗(yàn)中,聚酰亞胺較難被清洗干凈的位置為晶圓邊緣,存在PI微殘留。涂膠適用于小面積的粘接。徐州螺絲防松涂膠廠
邊緣清洗經(jīng)驗(yàn)值:清洗寬度>2mm,wafer邊緣會(huì)產(chǎn)生較嚴(yán)重拉絲的現(xiàn)象。清洗寬度1~2mm,邊緣鋸齒狀、不整齊。清洗寬度<1mm,邊緣較整齊、無清洗、邊緣厚、鋸齒狀。邊緣清洗后高甩干轉(zhuǎn)速可改善邊緣效果。建議轉(zhuǎn)速3000~6000r/min。邊緣殘留解決——bake溫度優(yōu)化PIcoating時(shí)bake溫度也是造成顯影后邊緣殘留的影響因素之一,該聚酰亞胺材料涂覆完成后采用2次bake,根據(jù)材料廠商提供數(shù)據(jù),bake溫度范圍110℃~130℃。首先采用不同軟烤溫度與時(shí)間的實(shí)驗(yàn),觀察其對顯影后邊緣殘留的影響,這個(gè)實(shí)驗(yàn)所用的顯影條件是兩次顯影,每次35s顯影液浸泡時(shí)間。用光學(xué)顯微鏡觀察了顯影后芯片邊緣的情況。根據(jù)不同溫度與時(shí)間實(shí)驗(yàn),溫度升高或烘烤時(shí)間加長,都會(huì)使得顯影后邊緣殘留現(xiàn)象加重,在不影響后續(xù)工藝的前提下,采用合適的烘烤溫度與時(shí)間,可有效改善顯影后邊緣殘留問題。上海鉚螺母密封膠涂膠涂膠的發(fā)展趨勢是向著高效、環(huán)保、智能化方向發(fā)展。
螺絲涂膠加工提升產(chǎn)品性能螺絲作為機(jī)械連接件,用于工業(yè)產(chǎn)品、交通工具、建筑結(jié)構(gòu)等各個(gè)領(lǐng)域。為了提高螺絲的耐腐蝕性、防銹性和介電強(qiáng)度,常采用螺絲涂膠加工處理螺絲表面。螺絲涂膠加工是在螺絲表面涂覆合成樹脂或橡膠材料而形成的聚合保護(hù)層,與螺絲基體形成一體,這種涂層既不會(huì)隨螺絲擰入產(chǎn)生脫落,也能起到更好的防護(hù)作用。
螺絲涂膠加工所選用的涂料種類繁多,需根據(jù)螺絲作用環(huán)境的要求選擇。常用的有環(huán)氧樹脂、聚氨酯、丙烯酸、硅樹脂等。螺絲表面處理工藝主要有浸泡法、旋涂法和噴涂法,它們各有特點(diǎn),往往根據(jù)生產(chǎn)批量的大小選擇不同的工藝。無論采用何種工藝,在涂膠過程中均需控制好膠膜的均勻度和涂層厚度,避免表面出現(xiàn)氣泡或脫落現(xiàn)象。
涂膠的質(zhì)量直接影響到粘合物體的牢固程度。如果涂膠不均勻或者膠水選擇不當(dāng),會(huì)導(dǎo)致粘合不牢,影響產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命。因此,在涂膠過程中需要嚴(yán)格控制每個(gè)步驟的質(zhì)量,確保涂膠的質(zhì)量符合要求。涂膠的應(yīng)用范圍非常廣,特別是在汽車制造和電子制造領(lǐng)域。在汽車制造中,涂膠被廣泛應(yīng)用于車身、底盤、內(nèi)飾等部位的粘合。在電子制造中,涂膠被用于電路板、顯示屏、手機(jī)等產(chǎn)品的粘合。涂膠的發(fā)展趨勢是向著高效、環(huán)保、智能化方向發(fā)展。隨著人們對環(huán)境保護(hù)意識的提高,傳統(tǒng)的有機(jī)溶劑涂膠逐漸被水性涂膠和無溶劑涂膠所取代。同時(shí),涂膠設(shè)備也越來越智能化,可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn),提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。噴涂涂膠適用于需要快速粘接的場合。
螺紋自動(dòng)涂膠機(jī)的用法和特點(diǎn)。1、使用方法:將需要涂抹的工件放入槽中,然后啟動(dòng)機(jī)器即可開始工作;2、操作步驟1首先把準(zhǔn)備好的膠水倒入槽中;2其次將已經(jīng)安裝好螺絲釘?shù)穆菽阜湃氩壑校?然后將已經(jīng)安裝好了底板的螺桿插入到已裝滿膠水的凹槽里;4.把已裝上底板的螺栓擰入到已安裝好螺栓的螺桿上就可以了。3、注意事項(xiàng):(1)每次使用前必須對設(shè)備進(jìn)行檢查并確保無異常后方可投入使用。(2)在使用過程中應(yīng)避免超載。(3)如果發(fā)現(xiàn)設(shè)備出現(xiàn)故障應(yīng)立即停止使用。涂膠時(shí)要注意膠水的干燥時(shí)間。紹興硅膠涂膠廠
未來,涂膠技術(shù)將繼續(xù)發(fā)展,應(yīng)用范圍也將不斷擴(kuò)大。徐州螺絲防松涂膠廠
聚酰亞胺涂膠顯影工藝本文中實(shí)驗(yàn)采用沈陽芯源公司自主研發(fā)的KS-S150型前道Track設(shè)備,該機(jī)型可完成涂膠與顯影工藝。聚酰亞胺材料作為具有特殊性質(zhì)的材料,其光刻工藝參數(shù)也不同于普通光刻膠。聚酰亞胺的特殊性質(zhì)給光刻工藝造成了一定的難度,比如其遠(yuǎn)高于普通光刻膠的黏稠度和不穩(wěn)定性等。普通光刻膠的黏稠度是10~1000CP,而聚酰亞胺材料的黏稠度達(dá)到了2000~15000CP。因此,為了能夠?qū)崿F(xiàn)大規(guī)模聚酰亞胺產(chǎn)品的量產(chǎn),保證工藝良率,工藝仍需優(yōu)化。本實(shí)驗(yàn)工藝流程:非感光負(fù)性聚酰亞胺材料涂覆(PIcoating)→感光光刻膠涂覆(PRcoating)→曝光(EXP)→邊緣曝光(WEE)→顯影(DEV)。徐州螺絲防松涂膠廠
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