山東工業(yè)真空泵訂做

循環(huán)水真空泵的抽真空原理是屬于離心式的機(jī)械泵。圓筒形的泵殼里偏心裝置著葉輪轉(zhuǎn)子．當(dāng)葉輪旋轉(zhuǎn)工作時(shí)水在離心力的作用下形成水環(huán)。由于葉輪偏心位置．水環(huán)相對(duì)葉片作相對(duì)運(yùn)行．使相鄰兩葉片之間的空間容積呈周期性變化．有如液體“活塞”葉柵中作徑向往復(fù)運(yùn)行。隨著葉輪穩(wěn)定轉(zhuǎn)動(dòng)．每個(gè)容積輪反復(fù)變化．使吸、排氣過程繼續(xù)下去。能隨時(shí)根據(jù)系統(tǒng)的真空度變化自動(dòng)啟停。當(dāng)系統(tǒng)真空降低時(shí)機(jī)組配三臺(tái)循環(huán)水真空泵．正常運(yùn)行時(shí)投用一至兩臺(tái)。保證了抽氣壓力在規(guī)定的范圍之內(nèi)運(yùn)行。真空泵的主動(dòng)軸通過聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。山東工業(yè)真空泵訂做

干式螺桿真空泵結(jié)構(gòu)原理：干式螺桿真空泵是立式結(jié)構(gòu)，進(jìn)氣口在上方，排氣口在中部，下部為電機(jī)和潤滑油池。螺桿轉(zhuǎn)子呈中空形，為懸臂支承結(jié)構(gòu)。同步傳動(dòng)齒輪位于軸承支座下面。變頻電機(jī)通過聯(lián)軸節(jié)與主動(dòng)轉(zhuǎn)子連接，該泵的氣體路徑較短，且立式結(jié)構(gòu)對(duì)排除含微塵氣體較為有利。泵外殼有水冷卻，泵維修也便利。干式螺桿真空泵選用適當(dāng)?shù)妮^簡單螺桿牙型截面，那么它的優(yōu)勢是則制造簡單，可保證很高的加工精度，且容易動(dòng)平衡。根據(jù)其工作原理，我們可以可以明確地認(rèn)識(shí)到，干式螺桿真空泵是一種極限真空度高、消耗功率比較低、節(jié)能、免維修等優(yōu)點(diǎn)。山東工業(yè)真空泵訂做真空泵的抽速從每秒零點(diǎn)幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。

分子真空泵的應(yīng)用情況： 分子泵在國外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場合是用來代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。 由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速只為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長。為了提高抽速，國外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著中國半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是中國真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，以滿足不同場合的需要。

真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施?！×私獗怀闅怏w成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí)，需要知道氣體成分，針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來使用。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動(dòng)的真空泵或者采取防振動(dòng)措施。

氣體捕集泵是真空泵的一種。 氣體捕集泵：這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上，從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目而達(dá)到抽氣目的的真空泵，有以下幾種型式。 吸附泵：它主要依靠具有大表面的吸附劑（如多孔物質(zhì)）的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵 吸氣劑泵：它是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。 吸氣劑離子泵：它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上，以達(dá)到抽氣的目的。它有如下幾種型式。 （1）蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種真空泵。 （2）濺射離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在由陰極連續(xù)濺射散出來的吸氣材料上，以實(shí)現(xiàn)抽氣目的的一種真空泵。打開真空泵油箱上面的加油螺塞，將配好的真空泵油倒進(jìn)泵內(nèi)。山東工業(yè)真空泵訂做

真空泵運(yùn)行必須安裝電機(jī)保護(hù)開關(guān)。山東工業(yè)真空泵訂做

真空泵使用要點(diǎn)：真空泵用于抽潔凈氣體，不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體、溶劑及粉末等。如易燃?xì)怏w、含國家特殊化學(xué)品規(guī)定成分的特殊或高濃度強(qiáng)酸強(qiáng)堿性氣體等。這些氣體容易導(dǎo)致軸承失效。進(jìn)氣溫度必須＜50℃，否則在被抽真空室與泵進(jìn)氣口之間必須加冷阱，降溫至低于50℃。抽含有水蒸汽的氣體要打開氣鎮(zhèn)閥抽氣，被抽氣體的水蒸汽含量要求在23克/日以下。如果超過此極限，將會(huì)造成氣鎮(zhèn)閥壽命縮短。真空泵禁止在腐蝕性、易燃、易爆氣體或蒸汽的環(huán)境中工作，否則會(huì)造成炸裂、火災(zāi)等危險(xiǎn)。禁止由一兩個(gè)人移動(dòng)此泵。要由專業(yè)人員搬運(yùn)、安裝、配置、配線、操作、維護(hù)和檢查，不然會(huì)導(dǎo)致觸電、受傷或者泵甚至被抽真空室損壞的危險(xiǎn)。禁止繼續(xù)使用已經(jīng)損壞的泵，否則會(huì)有受傷、觸電甚至被抽系統(tǒng)損壞等危險(xiǎn)。山東工業(yè)真空泵訂做

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