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來源: 發(fā)布時間:2022-03-18

類金剛石膜DLC因其具有抗磨性、化學惰性、沉積溫度低、膜面光滑,可以將其作為一些電子產品的保護膜。如噴墨打印機墨盒加熱層上、磁存儲器的表面、錄音機磁頭極尖加一層類金剛石膜DLC保護層、不僅能有效的減少機械損傷,又不影響數據存儲。類金剛石膜具有電阻率高、絕緣性強、化學惰性高和低電子親和力等性能,且易在較大的基體上成膜。人們將類金剛石膜用作光刻電路板的掩膜,不僅可以避免操作過程中的機械損傷,還可以在去除薄膜表面的污染物允許用較激烈的機械或化學腐蝕方法,且同時不會破壞薄膜的表面,所以類金剛石膜有望代替SO2成為下一代集成電路的介質材料。近年來,類金剛石膜在微電子領域的應用,逐漸成為熱點。采用類金剛石膜和碳膜交替出現的多層膜結構構造成的多量子阱結構,具有共振隧道效應的和獨特的電特性,在微電子領域有著潛在的應用前景。類金剛石膜具有良好的表面平面光滑度,電子發(fā)射均勻性好,并且其具有負的電子親和勢,有效功函數相對較低的和較寬的禁帶寬度,即使在較低的外電場作用下,也可產生較大的發(fā)生電流,這個性能在平板顯示器中有著特殊的使用價值。DLC薄膜的性能及常見制備方法。滾齒刀DLC多少錢

自上世紀80年代以來,類金剛石膜作為新型的膜材料一直是世界各國膜技術領域研究的熱點之一。我國在類金剛石膜的研究方面取得了一定的進展,但與發(fā)達國家相比,還是有一定的差距。類金剛石膜的種類很多,其結構、工藝及機理極為復雜,主要是由于DLC是在非平衡態(tài)和等離子體狀態(tài)下制備合成的,存在著許多爭議尚未解決的問題。這些問題至今仍嚴重制約著類金剛石膜的研究進展。如高溫穩(wěn)定性問題,DLC在溫度大于400℃時性能將明顯變差;內應力問題,DLC中存在很大的內應力,它降低了類金剛石膜與基體的結合強度,使膜層容易起皺、脫落,阻礙了類金剛石膜的工業(yè)應用;同時,不同工藝制備的類金剛石膜的結構和性能差異很大。這些問題都將是未來類金剛石膜研究的主要方向。納米多層類金剛石膜也是類金剛石膜的發(fā)展方向,但這方面的研究才剛剛起步。拉伸模DLC技術真空鍍DLC膜的膜系結構。

類金剛石薄膜通常又被人們稱為DLC薄膜,是英文詞匯DiamondLikeCarbon的簡稱,它是一類性質近似于金剛石,具有高硬度.高電阻率.良好光學性能等,同時又具有自身獨特摩擦學特性的非晶碳薄膜。碳元素因碳原子和碳原子之間的不同結合方式,從而使其終產生不同的物質:金剛石(diamond)—碳碳以sp3鍵的形式結合;石墨(graphite)—碳碳以sp2鍵的形式結合;而如同緒論里所述類金剛石(DLC)—碳碳則是以sp3和sp2鍵的形式結合,生成的無定形碳的一種亞穩(wěn)定形態(tài),它沒有嚴格的定義,可以包括很寬性質范圍的非晶碳,因此兼具了金剛石和石墨的優(yōu)良特性;所以由類金剛石而來的DLC膜同樣是一種亞穩(wěn)態(tài)長程無序的非晶材料,碳原子間的鍵合方式是共價鍵,主要包含sp2和sp3兩種雜化鍵,而在含氫的DLC膜中還存在一定數量的C-H鍵。

隨著技術及航空航天技術的發(fā)展,紅外技術越來越受到人們的重視,在及航天領域有著舉足輕重的作用。紅外光學元件的工作環(huán)境往往非常惡劣,如空-空導彈、超音速飛機等裝備光電系統(tǒng)的紅外窗口,需要承受灰塵、高溫、高壓、雨淋、冰雹撞擊、熱沖擊等嚴峻考驗,因此對紅外窗口材料的性能要求越來越苛刻,既要求材料在工作波段具有優(yōu)良的光學性能,還要求材料具有優(yōu)良的力學、耐磨損、耐高溫、耐腐蝕等性能。常作為紅外窗口的材料有鍺(Ge)、硫化鋅(ZnS)、硒化鋅(ZnSe)、砷化鎵(GaAs)、氟化鎂(MgF2)、藍寶石(sapphire)、尖晶石等,但這些材料在應用中都存在著一些問題,例如,Ge在高溫時透過率下降;GaAs制備成本高且難制成大尺寸窗口;ZnS紅外透過率較低,耐濕性差;ZnSe雖然紅外透過率較高,但強度和耐腐蝕性差,等等,很難找到一種材料既有較高的紅外透過率,又有很好的綜合性能抵抗惡劣的環(huán)境且制備成本低。于是人們考慮在材料表面鍍上具有保護性能的紅外增透膜,而DLC膜恰恰順應了時代的需求。DLC碳膜的自潤滑機制和磨損機理進行了探索。

DLC膜不僅具有優(yōu)異的耐磨性,而且具有很低的摩擦系數,一般低于0.2,是一種優(yōu)異的表面抗磨損改性膜。DLC的摩擦系數隨制備工藝的不同和膜中成分的變化而變化,其摩擦系數比較低可達0.005。摻雜金屬元素可能降低其摩擦系數,但加入H能提高潤滑作用,環(huán)境也對摩擦系數有一定的影響。但總的來說,DLC膜與傳統(tǒng)的硬質薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦系數方面具有明顯優(yōu)勢,這些傳統(tǒng)硬質薄膜的摩擦系數都在0.4以上。國此,DLC膜有可能在許多摩擦學領域替代這些傳統(tǒng)硬膜。廣州有色金屬研究院制備的摻金屬DLC膜具有良好的抗摩擦磨損性能及低達0.13-0.15的摩擦系數。如何改善金屬基體沉積DLC薄膜的工業(yè)化應用。蘇州塑膠模DLC哪家便宜

退火處理對WC-DLC薄膜結構及性能的影響。滾齒刀DLC多少錢

類金剛石在生物醫(yī)學特性及其應用。由于DLC薄膜在化學成分上(碳、氫元素)能夠滿足生物相容性的要求并具有高硬度、低摩擦系數、化學惰性等特性,同時具備優(yōu)異的生物相容性和化學穩(wěn)定性,越來越多的研究者將目光投向了DLC薄膜在生物醫(yī)學領域的應用。例如人工關節(jié)表面沉積的DLC薄膜,可以增強人工關節(jié)的耐磨、耐蝕性能、減少磨屑、增加生物相容性,提高使用性能。在作為人工心臟瓣膜的鈦合金或不銹鋼表面沉積一層DLC薄膜,不僅能滿足生物相容性的要求,而且能夠提高該部件的機械和耐腐蝕性能,提高這些部件的使用性能。此外,DLC薄膜對蛋白質的吸附率高,對血小板的吸附率低,可以在不影響主體特征的前提下,從多種途徑促進材料表面生成具有活性的功能簇,從而減少血液凝固,使生物組織與植入的人工材料和諧相處,減輕患者的痛苦。滾齒刀DLC多少錢

標簽: 鍍鈦 DLC 類金剛石