半導體VOCs處理工藝

沸石轉輪吸附+(蓄熱式)催化燃燒技術：適用范圍：適用于大風量低濃度廢氣，去除效率較高，處理含高沸點或易聚合化合物時，轉輪需定期處理和維護。不適用范圍：不適用于低沸點不易吸附、高沸點不易脫附和酸堿性有機廢氣的凈化。理論效率：90%以上。處理原理：含VOCs廢氣進入轉輪，沸石吸附濃縮其中VOCs成分，潔凈氣體達標排放。已吸附VOCs的沸石模塊經(jīng)高溫脫附，脫附后的高濃度有機廢氣經(jīng)換熱器預熱進入催化氧化爐進行分解；在催化氧化爐內(nèi)被加熱到300～400℃的有機廢氣（VOCs）在貴金屬催化劑的作用下發(fā)生無焰燃燒，VOCs被氧化分解成CO?和H?O經(jīng)煙囪排放到空氣中，脫附后的沸石模塊恢復吸附能力并轉至吸附區(qū)。VOCs廢氣處理系統(tǒng)通常包括預處理、處理和后處理階段。半導體VOCs處理工藝

幾種VOCs廢氣治理方法:1. 吸收凈化法：吸收法通過擴散將廢氣中的氣態(tài)污染物轉化為液相，然后形成溶解的水合物或某種新的化合物。我們使用這種方法的常見工藝包括噴淋塔凈化和旋流塔凈化。2.吸附凈化法：有機廢氣中的吸附法主要適用于低濃度、高通量有機廢氣?，F(xiàn)階段，這種有機廢氣的處理方法已經(jīng)相當成熟，能量消耗比較小，但是處理效率卻非常高，而且可以徹底凈化有害有機廢氣。3.冷凝凈化法：冷凝法利用氣體沸點的差異，通過冷凝將氣體污染物從有機廢氣中分離出來。我們常用的方法是冷凝回收法。精細化工VOCs排放標準蓄熱式催化氧化技術可降低能耗，適用于間歇性排放的VOCs廢氣處理。

凈化原理：頭一階段 污染物質的溶解過程: 污染物與水或固相表面的水膜接觸，污染物溶于水，成為液相中的分子或離子，即污染物質由氣相轉移到液相，相平衡過程遵循亨利定律；第二階段 污染物質的生物吸附吸收過程: 水溶液中的污染成分被微生物吸附、吸收，污染成分從水中轉移至微生物體內(nèi)。作為吸收劑的水被再生復原，繼而再用以溶解新的臭氣成分。被吸附的疏水性的有機物通過微生物胞外酶對不溶性和膠體狀有機物的溶解作用后，才能相繼地被微生物攝入體內(nèi)。如淀粉、蛋白質等大分子有機物在微生物細胞外酶（水解酶）的作用下，被水解為小分子后再進入細胞體內(nèi)；第三階段 污染物質的生物降解過程: 進入微生物細胞的污染成分作為微生物生活活動的能源或養(yǎng)分被分解和利用，從而使污染物得以去除。具體轉化過程如下：應用范圍: 中低濃度的VOCs, 適用于惡臭類，醇類，酯類等VOCs; 不適合具有生物毒性的VOCs，或成分特別復雜的VOCs;優(yōu)點: 運行費用低，處理效果好，無二次污染;缺點: 降解速度慢，占地面積廣，運行操作條件不易控制。

生物法，生物法是微生物將有機成分作為碳源和能源，并將其分解為CO2和H2O過程的一種方法。優(yōu)點：設備簡單、投資少、運行費用低、無二次污染，處理VOCs廢氣效果理想。缺點：反應裝置占地面積大、反應時間較長。UV紫外法，UV紫外法是利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，改變廢氣的分子結構，使有機或無機高分子廢氣化合物分子鏈在高能紫外線光束照射下，降解轉化成低分子化合物的方法。優(yōu)點：占地面積小，運行成本較低，設備投資較低。缺點：去除效率低，可處理的氣體種類較少。處理階段是主要的VOCs去除過程，采用適當?shù)募夹g進行處理。

生物過濾工藝原理及流程，生物過濾工藝系統(tǒng)通過氣體輸送裝置，噴淋裝置和過濾塔主體三個部分組合而成。揮發(fā)性有機化合物通過加壓預濕，在過濾塔內(nèi)與填料層表面的生物膜相接觸，揮發(fā)性有機物從氣相轉移到生物膜，進而被微生物分解利用，并且被轉化成二氧化碳，水和其他的分子物質，然后將凈化后的氣體排出。噴淋裝置定期向填料層噴灑噴淋液, 以調(diào)節(jié)填料層的水分含量、pH 值和營養(yǎng)鹽含量。等離子體工藝優(yōu)缺點，優(yōu)點：處理效率高，運行費用低，特別對芳烴的去除效率高。缺點：對高濃度 VOCs 處理效率一般，目前主要停留在實驗室階段，缺乏實際應用。VOCs是大氣污染的重要來源，有效處理VOCs廢氣對我國空氣質量改善具有重要意義。精細化工VOCs排放標準

后處理階段用于處理處理后的廢氣，以確保排放符合環(huán)境法規(guī)。半導體VOCs處理工藝

催化氧化法，催化氧化法使用的催化劑有兩種，即貴金屬催化劑和非貴金屬催化劑。貴金屬催化劑主要包括Pt、Pd等，它們以細顆粒形式依附在催化劑載體上，而催化劑載體通常是金屬或陶瓷蜂窩，或散裝填料;非貴金屬催化劑主要是由過渡元素金屬氧化物，比如MnO2，與粘合劑經(jīng)過一定比例混合，然后制成的催化劑。為有效防止催化劑中毒后喪失催化活性，在處理前必須徹底清理可使催化劑中毒的物質，比如Pb、Zn和Hg等。如果有機廢氣中的催化劑毒物、遮蓋質無法清理，則不可使用這種催化氧化法處 理VOC。半導體VOCs處理工藝