PSP光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米

來源: 發(fā)布時間:2025-08-05

Polos光刻機與弗勞恩霍夫ILT的光束整形技術(shù)結(jié)合,可定制激光輪廓以優(yōu)化能量分布,減少材料蒸發(fā)和飛濺,提升金屬3D打印效率7。這種跨領(lǐng)域技術(shù)融合為工業(yè)級微納制造(如光學元件封裝)提供新思路,推動智能制造向高精度、低能耗方向發(fā)展Polos系列broad兼容AZ、SU-8等光刻膠,通過優(yōu)化曝光參數(shù)(如能量密度與聚焦深度)實現(xiàn)不同材料的高質(zhì)量加工。例如,使用AZ5214E時,可調(diào)節(jié)光束強度以減少側(cè)壁粗糙度,提升微結(jié)構(gòu)的功能性。這一特性使其在生物相容性器件(如仿生傳感器)中表現(xiàn)outstanding26。無掩模激光直寫技術(shù):無需物理掩膜,軟件直接輸入任意圖案,降低成本與時間。PSP光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米

PSP光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米,光刻機

在organ芯片研究中,模擬人體organ微環(huán)境需要微米級精度的三維結(jié)構(gòu)。德國 Polos 光刻機憑借無掩模激光光刻技術(shù),幫助科研團隊在 PDMS 材料上構(gòu)建出仿生血管網(wǎng)絡與組織界面。某再生醫(yī)學實驗室使用 Polos 光刻機,成功制備出肝芯片微通道,其內(nèi)皮細胞黏附率較傳統(tǒng)方法提升 40%,且可通過軟件實時調(diào)整通道曲率,precise模擬肝臟血流動力學。該技術(shù)縮短了organ芯片的研發(fā)周期,為藥物肝毒性測試提供了更真實的體外模型,相關(guān)成果入選《自然?生物技術(shù)》年度創(chuàng)新技術(shù)案例。北京德國PSP-POLOS光刻機MAX層厚可達到10微米Polos-BESM XL:大尺寸加工空間,保留緊湊設(shè)計,科研級精度實現(xiàn)復雜結(jié)構(gòu)一次性成型。

PSP光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米,光刻機

在構(gòu)建肝臟芯片的血管化網(wǎng)絡時,某生物工程團隊使用 Polos 光刻機實現(xiàn)了跨尺度結(jié)構(gòu)制備。其無掩模技術(shù)在 200μm 的主血管與 5μm 的blood capillary間precise銜接,血管內(nèi)皮細胞貼壁率達 95%,較傳統(tǒng)光刻提升 30%。通過輸入 CT 掃描的真實肝臟血管數(shù)據(jù),芯片成功模擬門靜脈與肝竇的血流梯度,使肝細胞功能維持時間從 7 天延長至 21 天。該技術(shù)為藥物肝毒性測試提供了接近體內(nèi)環(huán)境的模型,某制藥公司使用后將候選藥物篩選周期縮短 40%,相關(guān)成果登上《Lab on a Chip》封面。

某智能機器人實驗室采用 Polos 光刻機制造了磁控微納機器人。其激光直寫技術(shù)在鎳鈦合金薄膜上刻制出 10μm 的螺旋槳結(jié)構(gòu),機器人在旋轉(zhuǎn)磁場下的推進速度達 50μm/s,轉(zhuǎn)向精度小于 5°。通過自定義三維運動軌跡,該機器人在微流控芯片中成功實現(xiàn)了單個紅細胞的捕獲與轉(zhuǎn)運,操作成功率從傳統(tǒng)方法的 40% 提升至 85%。其輕量化設(shè)計(質(zhì)量 < 1μg)還支持在活細胞表面進行納米級手術(shù),相關(guān)成果入選《Science Robotics》年度創(chuàng)新技術(shù)。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術(shù),用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發(fā)出一款緊湊且經(jīng)濟高效的 MLL 系統(tǒng)。通過與計算機輔助設(shè)計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統(tǒng)占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統(tǒng)等各個領(lǐng)域。該系統(tǒng)的經(jīng)濟高效性使其優(yōu)勢擴展到大學研究實驗室以外的領(lǐng)域,為半導體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機會。材料科學:超疏水表面納米圖案化,接觸角 165°,防腐蝕性能增強 10 倍。

PSP光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米,光刻機

某生物力學實驗室通過 Polos 光刻機,在單一芯片上集成了壓阻式和電容式細胞力傳感器。其多材料曝光技術(shù)在 20μm 的懸臂梁上同時制備金屬電極與硅基壓阻元件,傳感器的力分辨率達 5pN,位移檢測精度達 1nm。在心肌細胞收縮力檢測中,該集成傳感器實現(xiàn)了力 - 電信號的同步采集,發(fā)現(xiàn)收縮力峰值與動作電位時程的相關(guān)性達 0.92,為心臟電機械耦合機制研究提供了全新工具,相關(guān)論文發(fā)表于《Biophysical Journal》。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術(shù),用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發(fā)出一款緊湊且經(jīng)濟高效的 MLL 系統(tǒng)。通過與計算機輔助設(shè)計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統(tǒng)占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統(tǒng)等各個領(lǐng)域。該系統(tǒng)的經(jīng)濟高效性使其優(yōu)勢擴展到大學研究實驗室以外的領(lǐng)域,為半導體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機會。光學超材料突破:光子晶體結(jié)構(gòu)precise制造,賦能超透鏡與隱身技術(shù)研究。PSP光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米

工業(yè)4.0協(xié)同創(chuàng)新:與弗勞恩霍夫ILT合作優(yōu)化激光能量分布,提升制造精度。PSP光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米

在制備用于柔性顯示的納米壓印模板時,Polos 光刻機的亞微米級定位精度(±50nm)確保了圖案的均勻復制。某光電實驗室使用該設(shè)備,在石英基底上刻制出周期 100nm 的柱透鏡陣列,模板的圖案保真度達 99.8%,邊緣缺陷率低于 0.1%?;诖四0迳a(chǎn)的柔性 OLED 背光模組,亮度均勻性提升至 98%,厚度減至 50μm,成功應用于下一代折疊屏手機,相關(guān)技術(shù)已授權(quán)給三家面板制造商。無掩模激光光刻 (MLL) 是一種微加工技術(shù),用于在基板上以高精度和高分辨率創(chuàng)建復雜圖案。一個新加坡研究團隊通過無縫集成硬件和軟件組件,開發(fā)出一款緊湊且經(jīng)濟高效的 MLL 系統(tǒng)。通過與計算機輔助設(shè)計軟件無縫集成,操作員可以輕松輸入任意圖案進行曝光。該系統(tǒng)占用空間小,非常適合研究實驗室,并broad應用于微流體、電子學和納/微機械系統(tǒng)等各個領(lǐng)域。該系統(tǒng)的經(jīng)濟高效性使其優(yōu)勢擴展到大學研究實驗室以外的領(lǐng)域,為半導體和醫(yī)療公司提供了利用其功能的機會。PSP光刻機基材厚度可達到0.1毫米至8毫米