根據(jù)探針測(cè)試需要，XY 精密工作臺(tái)的技術(shù)要 求為：XY 向行程160 mm；精度±0.008 mm；重復(fù) 定位精度±0.003 mm；分辨率0.001 mm。在結(jié)構(gòu) 設(shè)計(jì)時(shí)，為達(dá)到上述精密控制要求選用伺服電機(jī) 驅(qū)動(dòng)，全閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制；整個(gè)工作臺(tái)需要放置于真 空腔體內(nèi)，結(jié)構(gòu)緊湊合理的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)可以有效 地減小真空腔體設(shè)計(jì)尺寸，XY 工作臺(tái)結(jié)構(gòu)采用 絲杠、交叉滾子導(dǎo)軌組合形式。其中Y 向絲杠采 用偏置方式；X 向絲杠采用對(duì)稱(chēng)方式。對(duì)于電機(jī)、絲杠、導(dǎo)軌等外購(gòu)件，選型號(hào)時(shí)，需 要考慮溫度、濕度、腐蝕性等特種環(huán)境下運(yùn)行情 況，要求在高真空狀態(tài)下材料不能逸出空氣，外購(gòu) 件內(nèi)部、外部不能有揮發(fā)性油脂。如果沒(méi)有合適的 型號(hào)滿足上述要求，需要對(duì)相應(yīng)外購(gòu)件加裝特制 密封罩。探針臺(tái)是人類(lèi)理解宇宙和了解人類(lèi)自身的一個(gè)重要工具。真空溫控探針臺(tái)公司
半自動(dòng)型，chuck尺寸800mm/600mm；X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm；chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm；可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡；針座擺放個(gè)數(shù)6~8顆；顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2"；可搭配Probe card測(cè)試；適用領(lǐng)域:8寸/6寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品；電動(dòng)型；chuck尺寸1200mm，平坦度土1u(不銹鋼或鍍金)；X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mm x 300mm；chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u；可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡。真空溫控探針臺(tái)公司探針臺(tái)能夠幫助科學(xué)家解決在太空探索過(guò)程中的技術(shù)難題。
而定子在加工過(guò)程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求如分辨力等，用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個(gè)線槽，線槽間的距離即稱(chēng)為平面電機(jī)的齒距，而定子則按不同的細(xì)分控制方式，按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動(dòng)子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動(dòng)。對(duì)定子的損傷將直接影響工作臺(tái)的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無(wú)法使用而報(bào)廢。由于平面電機(jī)的定子及動(dòng)子是完全暴露在空氣中，所以潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷，而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命，對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗，整個(gè)過(guò)程操作要十分地細(xì)心，不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象。另外也可用沒(méi)有腐蝕性，不損壞定子的除銹劑除銹。
對(duì)于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作，清理時(shí)應(yīng)先通入大氣以便動(dòng)子移動(dòng)，方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無(wú)水乙醇，輕擦定子表面，然后用專(zhuān)門(mén)使用工具撬起動(dòng)子，方法同前， 輕擦動(dòng)子表面，動(dòng)子的表面有若干個(gè)氣孔，它是定子和動(dòng)子間壓縮空氣的出孔，觀察這此氣孔的放氣是否均勻，否則用工具小心旋開(kāi)小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔，處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時(shí)不可強(qiáng)行拉動(dòng)動(dòng)子，以免造成定子及動(dòng)子的損傷。平面電機(jī)應(yīng)使用在環(huán)境溫度15～25 ℃，相對(duì)濕度小于50%的環(huán)境中，其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過(guò)干燥過(guò)濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小于5 ℃，氣壓為0．4±0．04MPa。探針臺(tái)的運(yùn)營(yíng)需要專(zhuān)業(yè)的人員和技術(shù)支持。
極低溫測(cè)試:因?yàn)榫A在低溫大氣環(huán)境測(cè)試時(shí)，空氣中的水汽會(huì)凝結(jié)在晶圓上，會(huì)導(dǎo)致漏電過(guò)大或者探針無(wú)法接觸電極而使測(cè)試失敗。避免這些需要把真空腔內(nèi)的水汽在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。高溫?zé)o氧化測(cè)試：當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)越來(lái)越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。探針臺(tái)是人類(lèi)智慧的結(jié)晶和太空探索的橋梁。安徽雙層位移探針臺(tái)廠家直銷(xiāo)
探針臺(tái)的觀測(cè)數(shù)據(jù)對(duì)未來(lái)宇宙探索和科學(xué)研究提供了寶貴的資源。真空溫控探針臺(tái)公司
總的來(lái)說(shuō)，手動(dòng)探針臺(tái)適合研發(fā)人員使用，半自動(dòng)探針臺(tái)適合初學(xué)者使用，而全自動(dòng)探針臺(tái)適合具有一定經(jīng)驗(yàn)的測(cè)試人員使用。不同類(lèi)型的探針臺(tái)各有優(yōu)缺點(diǎn)，選擇何種探針臺(tái)主要取決于測(cè)試的需求和個(gè)人的技能水平。全自動(dòng)探針臺(tái)是一種全自動(dòng)控制的探針臺(tái)，可以在沒(méi)有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用。相比于半自動(dòng)探針臺(tái)，全自動(dòng)探針臺(tái)具有更高的精度和效率，可以在短時(shí)間內(nèi)完成大量的測(cè)試操作。全自動(dòng)探針臺(tái)通常還配備有晶圓材料處理搬運(yùn)單元(MHU)、模式識(shí)別(自動(dòng)對(duì)準(zhǔn))等功能，以確保晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。全自動(dòng)探針臺(tái)通常用于芯片量產(chǎn)或有一些特殊要求如處理薄晶圓、封裝基板等。真空溫控探針臺(tái)公司
深圳市泰克光電科技有限公司公司是一家專(zhuān)門(mén)從事探針臺(tái)，芯片測(cè)試機(jī)，藍(lán)膜編帶機(jī)，分光編帶機(jī)產(chǎn)品的生產(chǎn)和銷(xiāo)售，是一家生產(chǎn)型企業(yè)，公司成立于2012-04-23，位于深圳市寶安區(qū)新橋街道象山社區(qū)新玉路84號(hào)B棟3層。多年來(lái)為國(guó)內(nèi)各行業(yè)用戶提供各種產(chǎn)品支持。TEC-PHO,SHIBUYA,Oh'TEC目前推出了探針臺(tái)，芯片測(cè)試機(jī)，藍(lán)膜編帶機(jī)，分光編帶機(jī)等多款產(chǎn)品，已經(jīng)和行業(yè)內(nèi)多家企業(yè)建立合作伙伴關(guān)系，目前產(chǎn)品已經(jīng)應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域。我們堅(jiān)持技術(shù)創(chuàng)新，把握市場(chǎng)關(guān)鍵需求，以重心技術(shù)能力，助力能源發(fā)展。我們以客戶的需求為基礎(chǔ)，在產(chǎn)品設(shè)計(jì)和研發(fā)上面苦下功夫，一份份的不懈努力和付出，打造了TEC-PHO,SHIBUYA,Oh'TEC產(chǎn)品。我們從用戶角度，對(duì)每一款產(chǎn)品進(jìn)行多方面分析，對(duì)每一款產(chǎn)品都精心設(shè)計(jì)、精心制作和嚴(yán)格檢驗(yàn)。探針臺(tái)，芯片測(cè)試機(jī)，藍(lán)膜編帶機(jī)，分光編帶機(jī)產(chǎn)品滿足客戶多方面的使用要求，讓客戶買(mǎi)的放心，用的稱(chēng)心，產(chǎn)品定位以經(jīng)濟(jì)實(shí)用為重心，公司真誠(chéng)期待與您合作，相信有了您的支持我們會(huì)以昂揚(yáng)的姿態(tài)不斷前進(jìn)、進(jìn)步。