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在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,晶圓襯底的材質(zhì)多種多樣,包括單晶硅、多晶體、藍(lán)寶石、陶瓷等。不同材質(zhì)的晶圓對(duì)襯底粗磨減薄砂輪的要求也不同。江蘇優(yōu)普納科技有限公司擁有豐富的砂輪制造經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)實(shí)力,能夠根據(jù)客戶的具體需求,提供定制化的砂輪解決方案。無論是硬度較高的碳化硅晶圓,還是脆性較大的氮化鎵晶圓,我們都能提供合適的砂輪,確保在粗磨過程中獲得更佳的加工效果。江蘇優(yōu)普納科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)砂輪,品質(zhì)有保證,歡迎您的隨時(shí)致電咨詢,為您提供滿意的產(chǎn)品以及方案。通過多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),砂輪在DISCO-DFG8640減薄機(jī)上加工8吋SiC線割片 磨耗比30%,Ra≤30nm TTV≤3μm。碳化硅減薄砂輪實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)
江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,以其低損耗特性成為半導(dǎo)體加工領(lǐng)域的理想選擇。其獨(dú)特的多孔顯微組織調(diào)控技術(shù),使得砂輪在高磨削效率的同時(shí),磨耗比極低。在東京精密-HRG200X減薄機(jī)的實(shí)際應(yīng)用中,6吋SiC線割片的磨耗比只為15%,而8吋SiC線割片的磨耗比也只為35%。這意味著在長時(shí)間的加工過程中,砂輪的磨損極小,使用壽命更長,為客戶節(jié)省了大量的成本。低損耗不只體現(xiàn)在砂輪本身的使用壽命上,還體現(xiàn)在加工后的晶圓表面質(zhì)量上,損傷極小,進(jìn)一步提升了產(chǎn)品的性價(jià)比,助力優(yōu)普納在國產(chǎn)化替代進(jìn)程中占據(jù)優(yōu)勢(shì)。碳化硅減薄砂輪制程工藝在實(shí)際案例中,優(yōu)普納砂輪于DISCO-DFG8640減薄機(jī)上對(duì)8吋SiC線割片進(jìn)行精磨,磨耗比200% Ra≤3nm TTV≤2μm。
江蘇優(yōu)普納科技有限公司的碳化硅晶圓減薄砂輪,展現(xiàn)了強(qiáng)大的設(shè)備適配性。其基體優(yōu)化設(shè)計(jì)能夠根據(jù)客戶不同設(shè)備需求進(jìn)行定制,無論是東京精密還是DISCO的減薄機(jī),都能完美適配。這種強(qiáng)適配性不只減少了客戶在設(shè)備調(diào)整上的時(shí)間和成本,還確保了加工過程的高效性和穩(wěn)定性。在DISCO-DFG8640減薄機(jī)的實(shí)際應(yīng)用中,無論是粗磨還是精磨,優(yōu)普納砂輪都能保持穩(wěn)定的性能,滿足不同加工需求。這種綜合優(yōu)勢(shì),使得優(yōu)普納的砂輪在市場上更具競爭力,能夠快速響應(yīng)客戶需求,為客戶提供一站式的解決方案。
在半導(dǎo)體制造等精密加工領(lǐng)域,精磨減薄砂輪發(fā)揮著舉足輕重的作用。其工作原理基于磨料的磨削作用,通過砂輪高速旋轉(zhuǎn),磨粒與工件表面產(chǎn)生強(qiáng)烈摩擦,從而實(shí)現(xiàn)材料的去除與減薄。以江蘇優(yōu)普納科技有限公司的精磨減薄砂輪為例,在碳化硅(SiC)、氮化鎵(GaN)等第三代半導(dǎo)體材料的加工中,砂輪中的磨粒憑借自身極高的硬度,切入堅(jiān)硬且脆性大的半導(dǎo)體材料表面。磨粒的粒度分布經(jīng)過精心設(shè)計(jì),從粗粒度用于高效去除大量材料,到細(xì)粒度實(shí)現(xiàn)精密的表面修整,整個(gè)過程如同工匠精心雕琢藝術(shù)品。在磨削過程中,結(jié)合劑的作用不可或缺,它牢牢把持磨粒,使其在合適的時(shí)機(jī)發(fā)揮磨削功能,同時(shí)又能在磨粒磨損到一定程度時(shí),適時(shí)讓磨粒脫落,新的鋒利磨粒得以露出,這一過程被稱為砂輪的自銳性。優(yōu)普納的砂輪在結(jié)合劑的研發(fā)上投入大量精力,通過優(yōu)化結(jié)合劑配方,實(shí)現(xiàn)了磨粒把持力與自銳性的完美平衡,確保在長時(shí)間的磨削作業(yè)中,砂輪始終保持穩(wěn)定且高效的磨削性能,為半導(dǎo)體晶圓的高質(zhì)量減薄加工奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。在東京精密-HRG200X減薄機(jī)上,優(yōu)普納砂輪對(duì)6吋SiC線割片進(jìn)行精磨,磨耗比120%,Ra≤3nm,TTV≤2μm。
江蘇優(yōu)普納科技有限公司的非球面微粉砂輪具備一系列令人矚目的產(chǎn)品特性,使其在激烈的市場競爭中脫穎而出。首先是超高的磨削精度,通過對(duì)磨粒粒度的精確篩選與排布控制,以及結(jié)合劑性能的優(yōu)化,砂輪能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)別的磨削精度。在加工非球面鏡片時(shí),可將表面粗糙度控制在極低水平,面型精度達(dá)到亞微米級(jí),滿足光學(xué)領(lǐng)域?qū)︾R片質(zhì)量的嚴(yán)苛要求。其次是出色的耐磨性,選用的品質(zhì)高磨粒,如針對(duì)不同光學(xué)材料特性定制的金剛石微粉磨粒,具有極高的硬度和化學(xué)穩(wěn)定性。在長時(shí)間、強(qiáng)度高的磨削作業(yè)中,磨粒能保持自身形狀與鋒利度,相比傳統(tǒng)砂輪,明顯延長了使用壽命,減少了砂輪的更換頻率,提高了生產(chǎn)效率,降低了生產(chǎn)成本。再者,砂輪具有良好的自銳性,在磨削過程中,當(dāng)磨粒磨損到一定程度,結(jié)合劑能夠及時(shí)釋放磨粒,新的鋒利磨粒迅速接替工作,維持穩(wěn)定的磨削效率,避免因磨粒鈍化導(dǎo)致加工質(zhì)量下降。同時(shí),優(yōu)普納的非球面微粉砂輪還具備優(yōu)良的散熱性能,在高速磨削產(chǎn)生大量熱量的情況下,能有效將熱量傳導(dǎo)出去,減少熱變形對(duì)工件精度的影響,全方面保障加工過程的穩(wěn)定性與產(chǎn)品質(zhì)量的可靠性。在8吋SiC線割片的精磨加工中,優(yōu)普納砂輪于DISCO-DFG8640減薄機(jī)上實(shí)現(xiàn)磨耗比200%,Ra≤3nm,TTV≤2μm。磨床砂輪應(yīng)用
優(yōu)普納砂輪的低損耗特性,不僅延長了產(chǎn)品的使用壽命,還減少加工過程中的材料浪費(fèi),為客戶帶來成本節(jié)約。碳化硅減薄砂輪實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)
襯底粗磨減薄砂輪是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵工具,尤其在晶圓襯底減薄工藝中發(fā)揮著不可替代的作用。隨著新能源汽車、軌道交通、消費(fèi)電子等行業(yè)的快速發(fā)展,市場對(duì)于芯片和功率器件的性能要求越來越高,這直接推動(dòng)了襯底粗磨減薄砂輪技術(shù)的不斷進(jìn)步。在江蘇優(yōu)普納科技有限公司,我們專注于研發(fā)和生產(chǎn)品質(zhì)高的襯底粗磨減薄砂輪,以滿足客戶日益增長的需求。我們的砂輪采用先進(jìn)的金剛石磨料和品質(zhì)高結(jié)合劑,確保在粗磨過程中具有出色的磨削效率和穩(wěn)定性,同時(shí)能更大限度地減少晶圓表面的損傷,提高芯片良率。碳化硅減薄砂輪實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)