高精密恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)箱

在現(xiàn)代精密制造領(lǐng)域，三坐標(biāo)測量儀是無可替代的關(guān)鍵設(shè)備，廣泛應(yīng)用于模具、汽車零部件等復(fù)雜形狀工件的精密測量工作中。它憑借高精度的測量能力，為工業(yè)生產(chǎn)的質(zhì)量把控提供了支撐。然而，環(huán)境因素對(duì)其測量精度影響巨大。當(dāng)溫度不穩(wěn)定時(shí)，測量儀的花崗巖工作臺(tái)、坐標(biāo)軸導(dǎo)軌等關(guān)鍵部件會(huì)因熱脹冷縮產(chǎn)生熱變形。這種變形看似微小，卻足以導(dǎo)致測量空間的坐標(biāo)原點(diǎn)發(fā)生漂移，使得測量點(diǎn)的三維坐標(biāo)值出現(xiàn)不可忽視的誤差。而在濕度波動(dòng)時(shí)，潮濕空氣宛如無孔不入的 “幽靈”，悄然侵蝕儀器的電子線路板。這極易造成短路、信號(hào)干擾等嚴(yán)重問題，進(jìn)而致使測量數(shù)據(jù)出現(xiàn)跳變、丟失等異常情況。此類狀況不僅嚴(yán)重影響測量的準(zhǔn)確性與連續(xù)性，還會(huì)對(duì)整個(gè)生產(chǎn)流程造成連鎖反應(yīng)，阻礙相關(guān)產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。精密環(huán)控柜可滿足可實(shí)現(xiàn)潔凈度百級(jí)、十級(jí)、一級(jí)等不同潔凈度要求。高精密恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)箱

芯片蝕刻時(shí)，刻蝕速率的均勻性對(duì)芯片電路完整性至關(guān)重要。溫度波動(dòng)如同 “蝴蝶效應(yīng)”，可能引發(fā)刻蝕過度或不足。精密環(huán)控柜穩(wěn)定的溫度控制，以及可達(dá) ±0.5%@8h 的濕度穩(wěn)定性，有效避免因環(huán)境因素導(dǎo)致的刻蝕異常，保障芯片蝕刻質(zhì)量。芯片沉積與封裝過程中，精密環(huán)控柜的超高水準(zhǔn)潔凈度控制發(fā)揮關(guān)鍵作用。其可實(shí)現(xiàn)百級(jí)以上潔凈度控制，內(nèi)部潔凈度優(yōu)于 ISO class3，杜絕塵埃顆粒污染芯片，防止水汽對(duì)芯片材料的不良影響，確保芯片沉積層均勻、芯片封裝可靠。光刻機(jī)高精度恒溫恒濕車間采用節(jié)能技術(shù)，在保障高性能的同時(shí)降低能耗，為企業(yè)節(jié)省運(yùn)營成本。

超高精度溫度控制是精密環(huán)控柜的一大突出亮點(diǎn)。其自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，使得控制輸出精度達(dá)到驚人的 0.1% ，這意味著對(duì)溫度的調(diào)控能夠精細(xì)到極小的范圍。設(shè)備內(nèi)部溫度穩(wěn)定性在關(guān)鍵區(qū)域可達(dá) +/-2mK (靜態(tài)) ，無論外界環(huán)境如何變化，都能保證關(guān)鍵部位的溫度處于極其穩(wěn)定的狀態(tài)。內(nèi)部溫度規(guī)格可在 22.0°C (可調(diào)) ，滿足不同用戶對(duì)溫度的個(gè)性化需求。而且溫度水平均勻性小于 16mK/m ，確保柜內(nèi)各個(gè)角落的溫度幾乎一致，避免因溫度差異導(dǎo)致的實(shí)驗(yàn)誤差或產(chǎn)品質(zhì)量問題。再加上設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%@8h ，以及壓力穩(wěn)定性可達(dá) +/-3Pa ，連續(xù)穩(wěn)定工作時(shí)間大于 144h ，為對(duì)溫濕度、壓力要求苛刻的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)提供了可靠的環(huán)境保障，讓長時(shí)間的科研實(shí)驗(yàn)和精密制造得以順利進(jìn)行。

在精密模具制造這一精益求精的領(lǐng)域，溫濕度控制是保障產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵要素。模具型腔對(duì)精度有著嚴(yán)苛要求，這就決定了整個(gè)加工過程必須維持高度穩(wěn)定。一旦溫度出現(xiàn)波動(dòng)，模具鋼材料會(huì)因熱脹冷縮而發(fā)生細(xì)微形變，直接影響型腔尺寸精度。這在注塑成型環(huán)節(jié)影響尤甚，極有可能導(dǎo)致塑料制品出現(xiàn)尺寸偏差、飛邊等明顯缺陷。而當(dāng)濕度異常時(shí)，潮濕空氣就像隱藏的 “破壞者”，悄無聲息地侵蝕模具表面，致使模具生銹、腐蝕。這不僅大幅降低模具的使用壽命，還會(huì)增加生產(chǎn)成本，對(duì)模具在汽車、家電等眾多行業(yè)的應(yīng)用效果產(chǎn)生負(fù)面影響，阻礙相關(guān)產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。設(shè)備的氣流循環(huán)系統(tǒng)經(jīng)過特殊設(shè)計(jì)，確保每個(gè)角落都能均勻享受穩(wěn)定環(huán)境。

在光學(xué)儀器的裝配過程中，濕度的控制同樣關(guān)鍵。濕度過高容易使光學(xué)鏡片表面產(chǎn)生水汽凝結(jié)，形成水漬，不僅影響鏡片的外觀，還會(huì)降低鏡片的光學(xué)性能。此外，高濕度環(huán)境還可能導(dǎo)致金屬部件生銹腐蝕，影響儀器的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和使用壽命。精密環(huán)控柜通過調(diào)節(jié)濕度，確保鏡片在裝配過程中始終處于干燥、潔凈的環(huán)境中，有效避免了上述問題的發(fā)生。這使得生產(chǎn)出的光學(xué)儀器，無論是用于科研領(lǐng)域的顯微鏡、望遠(yuǎn)鏡，還是用于工業(yè)檢測的投影儀、測量儀等，都能具備光學(xué)性能和穩(wěn)定性，滿足不同行業(yè)對(duì)高精度光學(xué)儀器的需求。針對(duì)光學(xué)鏡片研磨車間，提供穩(wěn)定溫濕度，保證鏡片加工精度。江蘇光刻機(jī)高精度恒溫恒濕

精密環(huán)控設(shè)備為光刻機(jī)、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。高精密恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)箱

我司自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，控制輸出精度達(dá) 0.1%，能精細(xì)掌控溫度變化。溫度波動(dòng)控制可選 ±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等多檔，滿足嚴(yán)苛溫度需求。該系統(tǒng)潔凈度表現(xiàn)優(yōu)異，可達(dá)百級(jí)、十級(jí)、一級(jí)。關(guān)鍵區(qū)域靜態(tài)溫度穩(wěn)定性 ±5mK，內(nèi)部溫度均勻性小于 16mK/m，為芯片研發(fā)等敏感項(xiàng)目營造理想溫場，保障實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)不受溫度干擾。濕度方面，8 小時(shí)內(nèi)穩(wěn)定性可達(dá) ±0.5%；壓力穩(wěn)定性為 +/-3Pa，設(shè)備還能連續(xù)穩(wěn)定工作 144 小時(shí)，助力長時(shí)間實(shí)驗(yàn)與制造。在潔凈度上，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3，既確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果準(zhǔn)確可靠，又保障精密儀器正常工作與使用壽命，推動(dòng)科研與生產(chǎn)進(jìn)步。高精密恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)箱