山東恒溫恒濕實驗室

在航天器電子元器件的制造和裝配過程中，精密環(huán)控柜的作用同樣關鍵。電子元器件對靜電、潔凈度以及溫濕度都十分敏感。靜電可能會擊穿電子元件，導致其損壞；而不合適的溫濕度條件會影響電子元件的性能和可靠性。精密環(huán)控柜通過配備高效的靜電消除裝置以及精確的溫濕度控制系統(tǒng)，為電子元器件的生產提供了一個穩(wěn)定、潔凈且無靜電干擾的環(huán)境。這不僅保證了電子元器件在制造過程中的質量，也提高了其在航天器復雜空間環(huán)境下的穩(wěn)定性和可靠性，為我國航空航天事業(yè)的蓬勃發(fā)展奠定了堅實基礎。擁有超高水準潔凈度控制能力，可達百級以上潔凈標準。山東恒溫恒濕實驗室

精密環(huán)控柜主要由設備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設備內部通過風機引導氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理，從而使柜內的溫濕度達到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實現(xiàn)潔凈度百級、十級、一級，溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來，已為相關領域客戶提供了穩(wěn)定的實驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務，獲得了眾多好評。甘肅恒溫恒濕設備金額精密環(huán)境控制設備憑借超高精度溫度控制，保障內部溫度水平均勻性小于 16mK/m。

電池芯片制造工藝的復雜性與精細度與日俱增，對生產環(huán)境的潔凈度和濕度控制提出了極其嚴苛的要求。濕度一旦超出允許范圍，哪怕有細微波動，都極有可能致使電池芯片內部的電路結構發(fā)生短路現(xiàn)象，或者嚴重影響芯片的整體性能，大幅降低其充放電效率與使用壽命。精密環(huán)控柜憑借其技術實力，實現(xiàn)了對濕度的調控，將濕度穩(wěn)定性牢牢控制在極小的區(qū)間內。同時，其配備的空氣過濾系統(tǒng)，能夠高效攔截空氣中的各類塵埃、顆粒及微生物，確保生產環(huán)境達到超高潔凈度標準。針對新能源電子領域千變萬化的特殊生產工藝需求，精密環(huán)控柜還能提供定制化服務，從內部布局到各項環(huán)境參數(shù)的設定，都能滿足該領域獨特的環(huán)境要求。

精密環(huán)控柜能夠實現(xiàn)如此性能，背后蘊含著先進而復雜的原理。在溫度控制方面，自主研發(fā)的高精密控溫技術是關鍵所在。通過高精度傳感器實時監(jiān)測柜內溫度，將數(shù)據(jù)反饋至控制系統(tǒng)?？刂葡到y(tǒng)依據(jù)預設的精確溫度值，以 0.1% 的控制輸出精度，調節(jié)制冷（熱）系統(tǒng)的運行功率。例如，當溫度高于設定值時，制冷系統(tǒng)迅速啟動，精確控制制冷量，使溫度快速回落至目標范圍；反之，加熱系統(tǒng)則及時介入。對于濕度控制，利用先進的濕度調節(jié)裝置，通過冷凝除濕或蒸汽加濕等方式，依據(jù)傳感器反饋的濕度數(shù)據(jù)，將設備內部濕度穩(wěn)定性控制在 ±0.5%@8h 。在潔凈度控制上，采用多層高效潔凈過濾器，通過物理攔截、靜電吸附等原理，對進入柜內的空氣進行深度過濾，確保可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3 。精密環(huán)境控制設備內部，關鍵區(qū)域靜態(tài)下溫度穩(wěn)定性高，可達 +/-5mK 精度。

在集成電路制造這一高精密的領域中，芯片生產線上的光刻工序堪稱關鍵的環(huán)節(jié)，其對溫濕度的要求近乎達到苛刻的程度。即便是極其微小的 1℃溫度波動，都可能引發(fā)嚴重后果。光刻機內部的光學鏡片會因熱脹冷縮，致使光路發(fā)生細微偏移。這看似毫厘之差，卻足以讓光刻圖案精度嚴重受損，使得芯片上的電路布線出現(xiàn)偏差，甚至短路等問題，進而大幅拉低芯片的良品率。而在濕度方面，一旦濕度突破 50% 的警戒線，光刻膠便極易受潮，其感光度發(fā)生改變，導致曝光效果大打折扣，無疑同樣對芯片質量產生不可忽視的負面影響。設備運行穩(wěn)定性高，可連續(xù)穩(wěn)定工作時間大于144h。精密測量恒溫恒濕穩(wěn)定性

該系統(tǒng)可實現(xiàn)潔凈度百級、十級、一級，溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃。山東恒溫恒濕實驗室

芯片蝕刻時，刻蝕速率的均勻性對芯片電路完整性至關重要。溫度波動如同 “蝴蝶效應”，可能引發(fā)刻蝕過度或不足。精密環(huán)控柜穩(wěn)定的溫度控制，以及可達 ±0.5%@8h 的濕度穩(wěn)定性，有效避免因環(huán)境因素導致的刻蝕異常，保障芯片蝕刻質量。芯片沉積與封裝過程中，精密環(huán)控柜的超高水準潔凈度控制發(fā)揮關鍵作用。其可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，內部潔凈度優(yōu)于 ISO class3，杜絕塵埃顆粒污染芯片，防止水汽對芯片材料的不良影響，確保芯片沉積層均勻、芯片封裝可靠。山東恒溫恒濕實驗室