0.5℃恒溫恒濕調(diào)節(jié)

自動安全保護系統(tǒng)是精密環(huán)控柜的重要保障，為設(shè)備的穩(wěn)定運行和用戶的使用安全提供防護。故障自動保護程序時刻監(jiān)控設(shè)備的運行狀態(tài)，一旦檢測到異常情況，如溫度過高、壓力過大、電氣故障等，系統(tǒng)會立即啟動相應(yīng)的保護措施，停止設(shè)備的危險運行，避免設(shè)備損壞或引發(fā)安全事故，實現(xiàn)全天候無憂運行。同時，故障實時聲光報警提醒，能及時引起用戶的注意。用戶可以根據(jù)報警信息迅速判斷故障類型和位置，及時采取應(yīng)對措施。此外，遠(yuǎn)程協(xié)助故障處理功能，使用戶能夠通過網(wǎng)絡(luò)與專業(yè)技術(shù)人員取得聯(lián)系，技術(shù)人員可以遠(yuǎn)程查看設(shè)備的運行數(shù)據(jù)和故障信息，指導(dǎo)用戶進(jìn)行故障排查和修復(fù)，縮短了故障處理時間，提高了設(shè)備的可用性。設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性極強，8 小時內(nèi)可達(dá)±0.5%。0.5℃恒溫恒濕調(diào)節(jié)

在集成電路制造這一高精密的領(lǐng)域中，芯片生產(chǎn)線上的光刻工序堪稱關(guān)鍵的環(huán)節(jié)，其對溫濕度的要求近乎達(dá)到苛刻的程度。即便是極其微小的 1℃溫度波動，都可能引發(fā)嚴(yán)重后果。光刻機內(nèi)部的光學(xué)鏡片會因熱脹冷縮，致使光路發(fā)生細(xì)微偏移。這看似毫厘之差，卻足以讓光刻圖案精度嚴(yán)重受損，使得芯片上的電路布線出現(xiàn)偏差，甚至短路等問題，進(jìn)而大幅拉低芯片的良品率。而在濕度方面，一旦濕度突破 50% 的警戒線，光刻膠便極易受潮，其感光度發(fā)生改變，導(dǎo)致曝光效果大打折扣，無疑同樣對芯片質(zhì)量產(chǎn)生不可忽視的負(fù)面影響。0.5℃恒溫恒濕調(diào)節(jié)該系統(tǒng)集成暖通通風(fēng)、環(huán)境潔凈、照明安防及實驗室管理系統(tǒng)，能夠?qū)崟r記錄查詢數(shù)據(jù)。

在化學(xué)、材料、制藥、微生物、細(xì)胞等實驗室科研中，精密環(huán)控柜為各類實驗提供了穩(wěn)定的環(huán)境條件，是科研工作順利開展的重要支撐。在化學(xué)實驗中，一些化學(xué)反應(yīng)對溫度極為敏感，0.1℃的溫度偏差都可能改變反應(yīng)速率和產(chǎn)物純度。精密環(huán)控柜的高精密溫度控制，確保實驗溫度穩(wěn)定，為化學(xué)反應(yīng)提供理想條件，保證實驗結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。材料研究中，材料的性能測試需要嚴(yán)格控制環(huán)境溫濕度。例如，對新型半導(dǎo)體材料的性能檢測，環(huán)境濕度的變化可能影響材料的電學(xué)性能。精密環(huán)控柜的溫濕度控制，為材料性能測試提供穩(wěn)定環(huán)境，助力科研人員準(zhǔn)確評估材料性能。

我司憑借深厚的技術(shù)積累，自主研發(fā)出高精密控溫技術(shù)，精度高達(dá) 0.1% 的控制輸出。溫度波動值可實現(xiàn)±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。該系統(tǒng)潔凈度可實現(xiàn)百級、十級、一級。關(guān)鍵區(qū)域 ±5mK（靜態(tài)）的溫度穩(wěn)定性，以及均勻性小于 16mK/m 的內(nèi)部溫度規(guī)格，為諸如芯片研發(fā)這類對溫度極度敏感的項目，打造了近乎完美的溫場環(huán)境，保障實驗數(shù)據(jù)不受溫度干擾。同時，設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達(dá)±0.5%@8h，壓力穩(wěn)定性可達(dá)+/-3Pa，長達(dá) 144h 的連續(xù)穩(wěn)定工作更是讓長時間實驗和制造無后顧之憂。在潔凈度方面，實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，工作區(qū)潔凈度優(yōu)于 ISO class3，確保實驗結(jié)果的準(zhǔn)確性與可靠性，也保障了精密儀器的正常工作和使用壽命。配備的智能傳感器，能實時捕捉微小的環(huán)境變化，反饋給控制系統(tǒng)及時調(diào)整。

在高濕度環(huán)境中，空氣里水汽含量增大，這對光學(xué)儀器而言，無疑是巨大的威脅。儀器內(nèi)部的鏡片猶如極易受潮的精密元件，當(dāng)水汽附著其上，便會在表面悄然形成一層輕薄且均勻的水膜。這層水膜宛如光線傳播的阻礙，大幅降低光線的透過率，致使成像亮度明顯減弱，對比度也隨之降低，觀測視野仿佛被蒙上一層朦朧的薄紗，原本清晰的景象變得模糊不清。倘若光學(xué)儀器長期處于這樣的高濕度環(huán)境，問題將愈發(fā)嚴(yán)重。水汽會逐漸滲透至鏡片與鏡筒的結(jié)合處，對金屬部件發(fā)起 “攻擊”，使之遭受腐蝕。隨著時間的推移，金屬部件被腐蝕得千瘡百孔，無法穩(wěn)固地固定鏡片，導(dǎo)致鏡片出現(xiàn)松動現(xiàn)象，光路精度被進(jìn)一步破壞。對于那些運用鍍膜技術(shù)來提升光學(xué)性能的鏡片，高濕度同樣是一大勁敵，它會使鍍膜層受損，鏡片的抗反射能力大打折扣，進(jìn)而嚴(yán)重影響成像效果，讓光學(xué)儀器難以發(fā)揮應(yīng)有的作用。為適配不同安裝場景，其運用可拆卸鋁合金框架，支持現(xiàn)場靈活組裝。0.5℃恒溫恒濕調(diào)節(jié)

針對高精密儀器使用區(qū)域，提供穩(wěn)定環(huán)境，延長儀器設(shè)備的使用壽命。0.5℃恒溫恒濕調(diào)節(jié)

光學(xué)儀器的生產(chǎn)對環(huán)境的潔凈度、溫濕度有著極其嚴(yán)格的要求，精密環(huán)控柜成為保障光學(xué)儀器高質(zhì)量生產(chǎn)設(shè)備。在鏡頭研磨和鍍膜工藝中，微小的塵埃顆粒都可能在鏡頭表面留下劃痕或瑕疵，影響光線的透過和成像質(zhì)量。精密環(huán)控柜配備的高效潔凈過濾器，能夠?qū)⒖諝庵械膲m埃顆粒過濾至近乎零的水平，為鏡頭加工提供超潔凈的環(huán)境。同時，溫度的精確控制對于保證研磨盤和鏡頭材料的熱膨脹系數(shù)穩(wěn)定一致至關(guān)重要。溫度波動可能導(dǎo)致研磨盤與鏡頭之間的相對尺寸發(fā)生變化，使研磨精度受到影響，導(dǎo)致鏡頭的曲率精度和光學(xué)性能不達(dá)標(biāo)。0.5℃恒溫恒濕調(diào)節(jié)