光學(xué)顯微鏡恒溫恒濕方案

設(shè)備運行靜音高效是精密環(huán)控柜的又一優(yōu)勢。采用的 EC 風(fēng)機，具備更高效、更強大、更安靜的運行特點。相比傳統(tǒng)風(fēng)機，EC 風(fēng)機能夠在提供充足風(fēng)量的同時，有效降低能耗，提高能源利用效率。制冷單元內(nèi)部采用高效隔音材質(zhì)，進一步降低設(shè)備噪音，使其運行噪音小于 45dB 。噪音作為一種能量對于生產(chǎn)過程存在難以忽視的影響，極低的噪音恰恰能防止設(shè)備收到干擾，影響生產(chǎn)環(huán)境。高效的運行則保證了設(shè)備能夠快速、穩(wěn)定地調(diào)節(jié)溫濕度和潔凈度，滿足各類精密實驗和生產(chǎn)的需求。精密環(huán)控柜為光刻、干法刻蝕、沉積、表征和其他常見加工設(shè)備提供穩(wěn)定溫濕度、潔凈度、防噪音、抗微震條件。光學(xué)顯微鏡恒溫恒濕方案

航空航天零部件加工對于溫濕度精度的要求非常高，任何細微偏差都可能引發(fā)嚴(yán)重后果。以航空發(fā)動機葉片為例，其復(fù)雜精妙的曲面造型，搭配極為嚴(yán)苛的性能標(biāo)準(zhǔn)，需要借助高精度數(shù)控機床，通過銑削、打磨等一系列精細加工工序來完成。然而，一旦溫度出現(xiàn)波動，機床的主軸、導(dǎo)軌等關(guān)鍵部件就會產(chǎn)生熱變形，進而導(dǎo)致刀具切削路徑偏離原本預(yù)設(shè)的軌跡，致使葉片曲面精度無法達到標(biāo)準(zhǔn)要求，這將直接對發(fā)動機的動力輸出以及可靠性造成影響。不僅如此，濕度發(fā)生變化時，金屬切削刀具極易生銹，這不僅縮短刀具的使用壽命，還會增加加工表面的粗糙度，難以契合航空零部件對表面質(zhì)量近乎苛刻的要求。廣東半導(dǎo)體恒溫恒濕系統(tǒng)記錄運行信息，無論是日常運行還是突發(fā)故障，查詢檢索都能定位所需。

精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實現(xiàn)潔凈度百級、十級、一級，溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來，已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務(wù)，獲得了眾多好評。

電子顯微鏡用于觀察微觀世界，其內(nèi)部的電子束對環(huán)境要求極高。環(huán)境中的塵埃顆?？赡芪皆陔娮邮窂缴系牟考砻?，影響成像質(zhì)量。精密環(huán)控柜的超高水準(zhǔn)潔凈度控制，將空氣中塵埃過濾干凈，為電子顯微鏡提供超潔凈空間。同時，其具備的抗微震功能，能有效隔絕外界震動干擾，確保電子顯微鏡穩(wěn)定成像，讓科研人員清晰觀察微觀結(jié)構(gòu)。對于光學(xué)顯微鏡，溫度和濕度變化會影響鏡片的光學(xué)性能。濕度不穩(wěn)定可能導(dǎo)致鏡片表面產(chǎn)生水汽凝結(jié)，降低光線透過率。精密環(huán)控柜通過溫濕度控制，為光學(xué)顯微鏡提供穩(wěn)定環(huán)境，保證其光學(xué)性能穩(wěn)定，成像清晰。提供培訓(xùn)服務(wù)，讓用戶熟練掌握設(shè)備操作與維護要點。

芯片蝕刻時，刻蝕速率的均勻性對芯片電路完整性至關(guān)重要。溫度波動如同 “蝴蝶效應(yīng)”，可能引發(fā)刻蝕過度或不足。精密環(huán)控柜穩(wěn)定的溫度控制，以及可達 ±0.5%@8h 的濕度穩(wěn)定性，有效避免因環(huán)境因素導(dǎo)致的刻蝕異常，保障芯片蝕刻質(zhì)量。芯片沉積與封裝過程中，精密環(huán)控柜的超高水準(zhǔn)潔凈度控制發(fā)揮關(guān)鍵作用。其可實現(xiàn)百級以上潔凈度控制，內(nèi)部潔凈度優(yōu)于 ISO class3，杜絕塵埃顆粒污染芯片，防止水汽對芯片材料的不良影響，確保芯片沉積層均勻、芯片封裝可靠。精密環(huán)境控制設(shè)備內(nèi)部壓力波動極小，穩(wěn)定在 +/-3Pa。光學(xué)顯微鏡恒溫恒濕品牌

精密環(huán)控柜為我司自主研發(fā)的精密環(huán)境控制產(chǎn)品。光學(xué)顯微鏡恒溫恒濕方案

光學(xué)儀器的生產(chǎn)對環(huán)境的潔凈度、溫濕度有著極其嚴(yán)格的要求，精密環(huán)控柜成為保障光學(xué)儀器高質(zhì)量生產(chǎn)設(shè)備。在鏡頭研磨和鍍膜工藝中，微小的塵埃顆粒都可能在鏡頭表面留下劃痕或瑕疵，影響光線的透過和成像質(zhì)量。精密環(huán)控柜配備的高效潔凈過濾器，能夠?qū)⒖諝庵械膲m埃顆粒過濾至近乎零的水平，為鏡頭加工提供超潔凈的環(huán)境。同時，溫度的精確控制對于保證研磨盤和鏡頭材料的熱膨脹系數(shù)穩(wěn)定一致至關(guān)重要。溫度波動可能導(dǎo)致研磨盤與鏡頭之間的相對尺寸發(fā)生變化，使研磨精度受到影響，導(dǎo)致鏡頭的曲率精度和光學(xué)性能不達標(biāo)。光學(xué)顯微鏡恒溫恒濕方案