在半導(dǎo)體制造工藝中，有多種工藝腔體是運(yùn)用旋轉(zhuǎn)的方法展開工作，但是旋轉(zhuǎn)就避免不住將剩余的化學(xué)物質(zhì)甩到裹腔體的內(nèi)壁上?，F(xiàn)有技術(shù)中多數(shù)是對(duì)工藝腔體的體壁展開定期維護(hù)與保養(yǎng)，需將整個(gè)工藝腔體的體壁拿下去展開清洗，同時(shí)需相應(yīng)的體壁備用更換，致使減低了生產(chǎn)效率。為了有效性的支配上述疑問，本實(shí)用新型提供了一種工藝腔體，能夠自動(dòng)更換及清洗腔體的體壁，且提高生產(chǎn)效率。如圖1所示，圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的工藝腔體側(cè)面剖視圖。本實(shí)用新型提供了一種工藝腔體10，包括：內(nèi)層體壁21，由所述內(nèi)層體壁21平分而成的內(nèi)層體壁段22；由承載所述內(nèi)層體壁21的承載物平分而成的承載段11，所述內(nèi)層體壁段22的數(shù)目和所述承載段11的數(shù)目等于；在所述內(nèi)層體壁21**設(shè)立的**少一個(gè)替換體壁段23，所述替換體壁段23與所述內(nèi)層體壁段22的形狀及尺寸相同；承載并移動(dòng)所述替換體壁段23的軌道段12；所述承載段11和所述軌道段12形狀和尺寸相同，所述承載段11和所述軌道段12能交換位置。本實(shí)用新型通過將所述內(nèi)層體壁21拆分為多個(gè)內(nèi)層體壁段22，并在內(nèi)層體壁21**設(shè)立替換體壁段23，用以適時(shí)替換被水污染的內(nèi)層體壁段22，從而可以分批次對(duì)內(nèi)層體壁段22展開替換，既不影響生產(chǎn)。洺洲緊固件為你打造高質(zhì)量弓形吊環(huán)螺母-品質(zhì)鑄就輝煌！吉林開體花蘭螺絲供應(yīng)
滾珠絲杠的保護(hù)滾珠絲杠副可用潤(rùn)滑來(lái)提高耐磨性及傳動(dòng)效率。潤(rùn)滑劑分為潤(rùn)滑油及潤(rùn)滑脂兩大類。潤(rùn)滑油用機(jī)油、90～180號(hào)透平油或140號(hào)主軸油。潤(rùn)滑脂可采用鋰基油脂。潤(rùn)滑脂加在螺紋滾道和安裝螺母的殼體空間內(nèi)，而潤(rùn)滑油通過殼體上的油孔注入螺母空間內(nèi)。滾珠絲杠副和其它滾動(dòng)摩擦的傳動(dòng)元件，只要避免磨料微粒及化學(xué)活性物質(zhì)進(jìn)入，就可以認(rèn)為這些元件幾乎是不產(chǎn)生磨損的情況下工作的。但如果在滾道上落入臟物，或使用骯臟的潤(rùn)滑油，不僅會(huì)妨礙滾珠的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，而且使磨損急劇增加。通常采用毛氈圈對(duì)螺母副進(jìn)行密封，毛氈圈的厚度為螺距的2～3倍，而且內(nèi)孔做成螺紋的形狀，使之緊密地包住絲杠，并裝入螺母或套筒兩端的槽孔內(nèi)。密封圈除了采用柔軟的毛氈之外，還可以采用耐油橡膠或尼龍材料。由于密封圈和絲杠直接接觸，因此防塵效果較好，但也增加了滾珠絲杠螺母副的摩擦阻力矩。為了避免這種摩擦阻力矩，可以采用由較硬塑料制成的非接觸式迷宮密封圈，內(nèi)孔做成與絲杠螺紋滾道相反的形狀，并留有一定的間隙。對(duì)于暴露在外面的絲杠，一般采用螺旋剛帶、伸縮套筒、錐形套筒以及折疊式塑料或人造革等形式的防護(hù)罩，以防止塵埃和磨粒粘附到絲杠表面。除與導(dǎo)軌的防護(hù)罩相似外。江蘇m12開體花蘭當(dāng)開體花蘭出現(xiàn)裂紋和變形時(shí)，嚴(yán)禁采用焊接和加熱彎曲的方法修理開體花蘭。
由上述結(jié)構(gòu)可知，在沒有遇到障礙物的情況下，彈簧75將限位端面79頂至右限位板78，活動(dòng)桿76伸出固定筒74更長(zhǎng)，方便旋動(dòng)花蘭體29；當(dāng)遇到障礙物時(shí)，可以將活動(dòng)桿76往固定筒74內(nèi)收縮，避開障礙物后，再?gòu)棾龌顒?dòng)桿76，旋動(dòng)花蘭體29，可以適用各種環(huán)境下的旋動(dòng)花蘭體29。實(shí)施例三：見附圖1～2。一種花蘭體旋緊裝置，用于旋緊花蘭體29，所述花蘭體29上端設(shè)有上螺紋孔，用于和上拉桿28的下螺紋柱31配合；所述花蘭體29下端設(shè)有下螺紋孔，用于和下拉桿30的上螺紋柱32配合；所述花蘭體29上端和下端通過左連接柱68和右連接柱69連接；所述左連接柱68和右連接柱69之間保持間隙；包括立柱71、伸縮手柄72和兩個(gè)抓手73；所述伸縮手柄72固定在立柱71中部；所述立柱71兩端固定有抓手73；所述抓手73用于接觸左連接柱68和右連接柱69，使伸縮手柄72可推動(dòng)花蘭體29自轉(zhuǎn)。由上述結(jié)構(gòu)可知，所述伸縮手柄72固定在立柱71中部，在沒有遇到障礙時(shí)，可以把伸縮手柄72調(diào)到更長(zhǎng)位置，增大力臂，方便旋動(dòng)花蘭體29；遇到障礙時(shí)，縮短伸縮手柄72，躲避障礙物；由于建筑工地的復(fù)雜性，采用伸縮手柄72可調(diào)節(jié)長(zhǎng)度，適應(yīng)性更好。立柱71兩端固定有抓手73，所述抓手73用于接觸左連接柱68和右連接柱69。
所述工藝腔體10還包括一排水管17和一排氣管18，用以排出所述工藝腔體10內(nèi)的廢氣和廢水等，所述排水管17推薦設(shè)立于所述工藝腔體10的底部，所述排氣管18可以座落所述工藝腔體10的任意位置。所述軌道段12外還設(shè)立有一層包裹層19，所述包裹層19用以裹所述工藝腔體10內(nèi)的所有構(gòu)造。在一個(gè)實(shí)施例中，參考圖2，圖2為本實(shí)用新型另一實(shí)施例提供的工藝腔體俯視圖。例如更換ab段的所述內(nèi)層體壁段22的步驟如下：s1：將ab段外側(cè)的替換體壁段23移動(dòng)至第二軌道段42上；s2：ab段的所述內(nèi)層體壁段22移動(dòng)至***軌道段41上，接著轉(zhuǎn)動(dòng)至所述***軌道段41上的bc段或af段；s3：將所述第二軌道段42ab段上的替換體壁段23連續(xù)移動(dòng)至內(nèi)層體壁21處，則替換成功；s4：迅速將移動(dòng)至***軌道段41上的bc段或af段的內(nèi)層體壁段22(現(xiàn)變成替換體壁段23)移動(dòng)至噴嘴13下方開展清洗，即自動(dòng)清洗成功。綜上，在本實(shí)用新型所提供的工藝腔體中，通過將所述內(nèi)層體壁拆分為多個(gè)內(nèi)層體壁段，并在內(nèi)層體壁**設(shè)立替換體壁段，用以即時(shí)替換被水污染的內(nèi)層體壁段，從而可以分批次對(duì)內(nèi)層體壁段開展替換，既不影響生產(chǎn)，也更換了更整潔的內(nèi)層體壁，縮減了對(duì)晶圓的污染，提高產(chǎn)品質(zhì)量。并且。開體花蘭安裝好后，應(yīng)保證銷軸能在被吊物孔中轉(zhuǎn)動(dòng)靈活。
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