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在進(jìn)行模型校準(zhǔn)時(shí)要依次確定用于校準(zhǔn)的參數(shù)和關(guān)鍵圖案,并建立校準(zhǔn)過(guò)程的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)。校準(zhǔn)參數(shù)和校準(zhǔn)圖案的選擇結(jié)果直接影響校準(zhǔn)后光刻膠模型的準(zhǔn)確性和校準(zhǔn)的運(yùn)行時(shí)間,如圖4所示 [4]。準(zhǔn)參數(shù)包括曝光、烘烤、顯影等工藝參數(shù)和光酸擴(kuò)散長(zhǎng)度等光刻膠物理化學(xué)參數(shù),如圖5所示 [5]。關(guān)鍵圖案的選擇方式主要包含基于經(jīng)驗(yàn)的選擇方式、隨機(jī)選擇方式、根據(jù)圖案密度等特性選擇的方式、主成分分析選擇方式、高維空間映射的選擇方式、基于復(fù)雜數(shù)學(xué)模型的自動(dòng)選擇方式、頻譜聚類選擇方式、基于頻譜覆蓋率的選擇方式等 [2]。校準(zhǔn)過(guò)程的評(píng)估標(biāo)準(zhǔn)通常使用模型預(yù)測(cè)值與晶圓測(cè)量值之間的偏差的均方根(RMS)。避免過(guò)擬合:確保模型在驗(yàn)證集和測(cè)試集上的性能穩(wěn)定,避免模型在訓(xùn)練集上表現(xiàn)過(guò)好而在未見(jiàn)數(shù)據(jù)上表現(xiàn)不佳。虹口區(qū)智能驗(yàn)證模型熱線
模型檢驗(yàn)是確定模型的正確性、有效性和可信性的研究與測(cè)試過(guò)程。具體是指對(duì)一個(gè)給定的軟件或硬件系統(tǒng)建立模型后,需要對(duì)其進(jìn)行行為上的可信性、動(dòng)態(tài)性能的有效性、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)、可測(cè)數(shù)據(jù)的逼近精度、研究自的的可達(dá)性等問(wèn)題的檢驗(yàn),以驗(yàn)證所建立的模型是否能夠真實(shí)反喚實(shí)際系統(tǒng),或者說(shuō)能夠與真實(shí)系統(tǒng)達(dá)到較高精度的性能相關(guān)技術(shù)。 [2]模型檢驗(yàn)在多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用,它在軟件工程中用于驗(yàn)證軟件系統(tǒng)的正確性和可靠性,在硬件設(shè)計(jì)中確保硬件模型符合設(shè)計(jì)規(guī)范,而在數(shù)據(jù)分析與機(jī)器學(xué)習(xí)領(lǐng)域則評(píng)估模型的擬合效果和泛化能力。此外,在心理學(xué)與社會(huì)科學(xué)領(lǐng)域,模型檢驗(yàn)通過(guò)驗(yàn)證性因子分析等方法檢驗(yàn)量表的結(jié)構(gòu)效度,確保研究工具的可靠性和有效性。靜安區(qū)直銷驗(yàn)證模型大概是這個(gè)過(guò)程重復(fù)K次,每次選擇不同的子集作為測(cè)試集,取平均性能指標(biāo)。
用交叉驗(yàn)證的目的是為了得到可靠穩(wěn)定的模型。在建立PCR 或PLS 模型時(shí),一個(gè)很重要的因素是取多少個(gè)主成分的問(wèn)題。用cross validation 校驗(yàn)每個(gè)主成分下的PRESS值,選擇PRESS值小的主成分?jǐn)?shù)。或PRESS值不再變小時(shí)的主成分?jǐn)?shù)。常用的精度測(cè)試方法主要是交叉驗(yàn)證,例如10折交叉驗(yàn)證(10-fold cross validation),將數(shù)據(jù)集分成十份,輪流將其中9份做訓(xùn)練1份做驗(yàn)證,10次的結(jié)果的均值作為對(duì)算法精度的估計(jì),一般還需要進(jìn)行多次10折交叉驗(yàn)證求均值,例如:10次10折交叉驗(yàn)證,以求更精確一點(diǎn)。
模型檢測(cè)(model checking),是一種自動(dòng)驗(yàn)證技術(shù),由Clarke和Emerson以及Quelle和Sifakis提出,主要通過(guò)顯式狀態(tài)搜索或隱式不動(dòng)點(diǎn)計(jì)算來(lái)驗(yàn)證有窮狀態(tài)并發(fā)系統(tǒng)的模態(tài)/命題性質(zhì)。由于模型檢測(cè)可以自動(dòng)執(zhí)行,并能在系統(tǒng)不滿足性質(zhì)時(shí)提供反例路徑,因此在工業(yè)界比演繹證明更受推崇。盡管限制在有窮系統(tǒng)上是一個(gè)缺點(diǎn),但模型檢測(cè)可以應(yīng)用于許多非常重要的系統(tǒng),如硬件控制器和通信協(xié)議等有窮狀態(tài)系統(tǒng)。很多情況下,可以把模型檢測(cè)和各種抽象與歸納原則結(jié)合起來(lái)驗(yàn)證非有窮狀態(tài)系統(tǒng)(如實(shí)時(shí)系統(tǒng))。評(píng)估模型性能:通過(guò)驗(yàn)證,我們可以了解模型在未見(jiàn)數(shù)據(jù)上的表現(xiàn)。這對(duì)于判斷模型的泛化能力至關(guān)重要。
4.容許更大彈性的測(cè)量模型傳統(tǒng)上,只容許每一題目(指標(biāo))從屬于單一因子,但結(jié)構(gòu)方程分析容許更加復(fù)雜的模型。例如,我們用英語(yǔ)書寫的數(shù)學(xué)試題,去測(cè)量學(xué)生的數(shù)學(xué)能力,則測(cè)驗(yàn)得分(指標(biāo))既從屬于數(shù)學(xué)因子,也從屬于英語(yǔ)因子(因?yàn)榈梅忠卜从秤⒄Z(yǔ)能力)。傳統(tǒng)因子分析難以處理一個(gè)指標(biāo)從屬多個(gè)因子或者考慮高階因子等有比較復(fù)雜的從屬關(guān)系的模型。5.估計(jì)整個(gè)模型的擬合程度在傳統(tǒng)路徑分析中,只能估計(jì)每一路徑(變量間關(guān)系)的強(qiáng)弱。在結(jié)構(gòu)方程分析中,除了上述參數(shù)的估計(jì)外,還可以計(jì)算不同模型對(duì)同一個(gè)樣本數(shù)據(jù)的整體擬合程度,從而判斷哪一個(gè)模型更接近數(shù)據(jù)所呈現(xiàn)的關(guān)系。 [2]對(duì)有窮狀態(tài)系統(tǒng),這個(gè)問(wèn)題是可判定的,即可以用計(jì)算機(jī)程序在有限時(shí)間內(nèi)自動(dòng)確定。金山區(qū)直銷驗(yàn)證模型熱線
監(jiān)控模型在實(shí)際運(yùn)行中的性能,及時(shí)收集反饋并進(jìn)行必要的調(diào)整。虹口區(qū)智能驗(yàn)證模型熱線
模型檢測(cè)的基本思想是用狀態(tài)遷移系統(tǒng)(S)表示系統(tǒng)的行為,用模態(tài)邏輯公式(F)描述系統(tǒng)的性質(zhì)。這樣“系統(tǒng)是否具有所期望的性質(zhì)”就轉(zhuǎn)化為數(shù)學(xué)問(wèn)題“狀態(tài)遷移系統(tǒng)S是否是公式F的一個(gè)模型”,用公式表示為S╞F。對(duì)有窮狀態(tài)系統(tǒng),這個(gè)問(wèn)題是可判定的,即可以用計(jì)算機(jī)程序在有限時(shí)間內(nèi)自動(dòng)確定。模型檢測(cè)已被應(yīng)用于計(jì)算機(jī)硬件、通信協(xié)議、控制系統(tǒng)、安全認(rèn)證協(xié)議等方面的分析與驗(yàn)證中,取得了令人矚目的成功,并從學(xué)術(shù)界輻射到了產(chǎn)業(yè)界。虹口區(qū)智能驗(yàn)證模型熱線
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