腔體按使用功能可分為過渡腔、傳輸腔和反應(yīng)腔：過渡腔：是設(shè)備中晶圓真空環(huán)境入口，晶圓從外部運(yùn)輸至設(shè)備入口，經(jīng)過前端模塊（EFEM）后進(jìn)入過渡腔，方從大氣環(huán)境轉(zhuǎn)換為真空環(huán)境，后續(xù)再進(jìn)入真空環(huán)境的傳輸腔、反應(yīng)腔進(jìn)行工藝反應(yīng)。過渡腔以鋁合金為主，技術(shù)相對(duì)簡(jiǎn)單。傳輸腔：...

真空腔體檢修過程中的要求：真空腔體工作時(shí)間久了，總會(huì)出現(xiàn)點(diǎn)問題，因此它在操作過程中需注意的問題有很多。同時(shí)，還需要定期對(duì)其進(jìn)行檢修，檢修過程中應(yīng)滿足以下要求：一、要定期檢查下攬拌軸的擺動(dòng)里，如果發(fā)現(xiàn)擺動(dòng)里較大，應(yīng)及時(shí)拆開按照結(jié)構(gòu)圖拆換軸承及軸套。它所采用復(fù)合軸...

真空腔體材料的幾點(diǎn)要求對(duì)真空腔體材料的主要要求如下：1一定的機(jī)械強(qiáng)度2氣密性好，不應(yīng)是多孔結(jié)構(gòu)，不能有裂縫、小孔以及能造成漏氣的其他缺陷3較低的出氣率和滲透率4在工作溫度和烘烤溫度下的飽和蒸氣壓要足夠低5化學(xué)穩(wěn)定性好，不易氧化和腐蝕，不與系統(tǒng)中的工作液體發(fā)生化...

晶體振蕩器：晶體振蕩器是分子束外延生長(zhǎng)的定標(biāo)設(shè)備。定標(biāo)時(shí)，待蒸發(fā)源蒸發(fā)速度穩(wěn)定后，將石英振蕩器置于中心點(diǎn)。通過讀出石英振蕩器振蕩頻率的變化，可以知道蒸發(fā)源在單位時(shí)間內(nèi)在襯底上長(zhǎng)出薄膜的厚度。有的不銹鋼真空腔體將晶振放在樣品架放置樣品位置的反面（如小腔），在新腔...

真空干燥箱主要由兩大部分組成:真空干燥箱和真空泵，常見的真空泵主要分為油壓真空泵和水循環(huán)真空泵，在實(shí)際應(yīng)用過程中油壓真空泵因其維護(hù)簡(jiǎn)單、操作方便、對(duì)場(chǎng)地和占地面積要求低的特點(diǎn)，所以多數(shù)廠家在給真空干燥箱配置真空泵時(shí)都是選用油壓真空泵。真空干燥箱和真空泵組合使用...

常見的真空腔體表面處理01清洗類方法·溶劑清洗選用諸如乙醇之類適配的有機(jī)溶劑，憑借其溶解特性，能夠有效清理真空腔體表面附著的油脂、污垢等污染物。該方法操作簡(jiǎn)便，易于實(shí)施。然而，面對(duì)一些頑固污漬，其清潔效果會(huì)大打折扣?！に嵯催\(yùn)用鹽酸、硫酸等酸性溶液，借助化學(xué)反應(yīng)...

關(guān)于真空腔體的相關(guān)用途，材料制備和處理真空腔體在材料制備和處理方面有著很大的用途，包括沉積、蒸發(fā)、熱處理、清洗、表面改性等，這些處理需要在真空或者低氣壓狀態(tài)下進(jìn)行。例如，蒸發(fā)鍍膜是一種常見的材料制備技術(shù)，對(duì)于光學(xué)、電子和醫(yī)學(xué)相關(guān)等行業(yè)都有很大的應(yīng)用，如制造LE...

清洗方法的原理和特點(diǎn)溶劑清洗主要依靠有機(jī)溶劑的溶解作用去除污染物；酸洗和堿洗則是利用化學(xué)反應(yīng)去除特定的污染物。清洗方法操作簡(jiǎn)單，但可能存在清洗不徹底的情況。噴丸噴丸即使用丸粒轟擊工件表面并植入殘余壓應(yīng)力，提升工件疲勞強(qiáng)度的冷加工工藝。噴丸處理后，工件表面污物被...

關(guān)于真空腔體的相關(guān)用途，材料制備和處理真空腔體在材料制備和處理方面有著很大的用途，包括沉積、蒸發(fā)、熱處理、清洗、表面改性等，這些處理需要在真空或者低氣壓狀態(tài)下進(jìn)行。例如，蒸發(fā)鍍膜是一種常見的材料制備技術(shù)，對(duì)于光學(xué)、電子和醫(yī)學(xué)相關(guān)等行業(yè)都有很大的應(yīng)用，如制造LE...

晶體振蕩器：晶體振蕩器是分子束外延生長(zhǎng)的定標(biāo)設(shè)備。定標(biāo)時(shí)，待蒸發(fā)源蒸發(fā)速度穩(wěn)定后，將石英振蕩器置于中心點(diǎn)。通過讀出石英振蕩器振蕩頻率的變化，可以知道蒸發(fā)源在單位時(shí)間內(nèi)在襯底上長(zhǎng)出薄膜的厚度。有的不銹鋼真空腔體將晶振放在樣品架放置樣品位置的反面（如小腔），在新腔...

注漿過程控制注漿過程中隨時(shí)檢查孔口、鄰孔、覆蓋層較薄部位有無串漿現(xiàn)象，如發(fā)生串漿，應(yīng)立即停止注漿或采用間歇式注漿封堵串漿口，也可以采用麻紗、木楔、快硬水泥砂漿或錨固劑封堵，直至不再串漿時(shí)再繼續(xù)注漿。注漿時(shí)相鄰孔眼需間隔開，不能連續(xù)注漿，以確保固結(jié)效果，同時(shí)達(dá)到...

晶體振蕩器：晶體振蕩器是分子束外延生長(zhǎng)的定標(biāo)設(shè)備。定標(biāo)時(shí)，待蒸發(fā)源蒸發(fā)速度穩(wěn)定后，將石英振蕩器置于中心點(diǎn)。通過讀出石英振蕩器振蕩頻率的變化，可以知道蒸發(fā)源在單位時(shí)間內(nèi)在襯底上長(zhǎng)出薄膜的厚度。有的不銹鋼真空腔體將晶振放在樣品架放置樣品位置的反面（如小腔），在新腔...

真空是指低于大氣壓力的氣體的給定空間，真空是相對(duì)于大氣壓來說的，并非空間沒有物質(zhì)存在。真空是物理學(xué)里面的一個(gè)概念，反映的是空無一物的狀況，即真空并不是無物而是有實(shí)物粒子和虛粒子轉(zhuǎn)化的，但整體對(duì)外是不顯示物理特點(diǎn)的宏觀整體，真空就像是一個(gè)能量海，不斷振動(dòng)并且充滿...

實(shí)驗(yàn)室小型不銹鋼真空腔體的功能劃分集中，主要為生長(zhǎng)區(qū)，傳樣測(cè)量區(qū)，抽氣區(qū)三個(gè)部分。對(duì)于分子束外延生長(zhǎng)腔，重要的參數(shù)是其中心點(diǎn)A的位置，即樣品在生長(zhǎng)過程中所處的位置。所以蒸發(fā)源，高能電子衍射（RHEED），高能電子衍射屏，晶體振蕩器，生長(zhǎng)擋板，CCD，生長(zhǎng)觀察視...

腔體數(shù)量的增加確實(shí)可以在一定程度上提高門窗的隔熱性能。這是因?yàn)榍惑w間的空氣層可以起到一定的隔熱作用，減少熱量的傳遞。腔體的主要功能在于提高門窗的抗風(fēng)壓能力。當(dāng)腔體數(shù)量增加時(shí)，窗框的截面形狀和內(nèi)部結(jié)構(gòu)也會(huì)發(fā)生變化，使得整個(gè)窗框的剛度得到增強(qiáng)。這樣，在面對(duì)強(qiáng)風(fēng)等惡...

清洗方法的原理和特點(diǎn)溶劑清洗主要依靠有機(jī)溶劑的溶解作用去除污染物；酸洗和堿洗則是利用化學(xué)反應(yīng)去除特定的污染物。清洗方法操作簡(jiǎn)單，但可能存在清洗不徹底的情況。噴丸噴丸即使用丸粒轟擊工件表面并植入殘余壓應(yīng)力，提升工件疲勞強(qiáng)度的冷加工工藝。噴丸處理后，工件表面污物被...

在工業(yè)生產(chǎn)當(dāng)中，真空腔體是真空鍍膜工藝的關(guān)鍵設(shè)備。是通過創(chuàng)造并維持的高度真空的環(huán)境，真空腔體能夠有效去防止材料在鍍膜過程中受到氧氣、水分等雜質(zhì)的污染，從而確保鍍膜的純度和質(zhì)量。這種技術(shù)廣泛應(yīng)用于我們?nèi)粘Ｉ钪械腖ED顯示屏、太陽(yáng)能電池板和光學(xué)鏡片以及高級(jí)裝飾品...

實(shí)驗(yàn)室小型不銹鋼真空腔體的功能劃分集中，主要為生長(zhǎng)區(qū)，傳樣測(cè)量區(qū)，抽氣區(qū)三個(gè)部分。對(duì)于分子束外延生長(zhǎng)腔，重要的參數(shù)是其中心點(diǎn)A的位置，即樣品在生長(zhǎng)過程中所處的位置。所以蒸發(fā)源，高能電子衍射（RHEED），高能電子衍射屏，晶體振蕩器，生長(zhǎng)擋板，CCD，生長(zhǎng)觀察視...

·超聲波拋光將工件放置于磨料懸浮液中，并一同置于超聲波場(chǎng)里，依靠超聲波的振蕩作用，促使磨料在工件表面進(jìn)行磨削拋光。超聲波加工具有宏觀力小的特點(diǎn)，不會(huì)導(dǎo)致工件變形，但其工裝制作和安裝難度較大。超聲波加工可與化學(xué)或電化學(xué)方法相結(jié)合，在溶液腐蝕、電解的基礎(chǔ)上，施加超...

焊接是真空腔體制作中非常重要的環(huán)節(jié)之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)作化學(xué)反應(yīng)從而影響焊接質(zhì)量，一般選用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴發(fā)保護(hù)氣體氬氣，以避免熔化后的高溫金屬發(fā)作氧化反應(yīng)。超高真空腔體的氬弧焊接，原則上有必要選用內(nèi)焊，即...

焊接是真空腔體制作中非常重要的環(huán)節(jié)之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發(fā)作化學(xué)反應(yīng)從而影響焊接質(zhì)量，一般選用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴發(fā)保護(hù)氣體氬氣，以避免熔化后的高溫金屬發(fā)作氧化反應(yīng)。超高真空腔體的氬弧焊接，原則上有必要選用內(nèi)焊，即...

真空腔體的結(jié)構(gòu)特征：真空腔體一般是指通過真空裝置對(duì)反應(yīng)釜進(jìn)行抽真空，讓物料在真空狀態(tài)下進(jìn)行相關(guān)物化反應(yīng)的綜合反應(yīng)容器，可實(shí)現(xiàn)真空進(jìn)料、真空脫氣、真空濃縮等工藝?？筛鶕?jù)不同的工藝要求進(jìn)行不同的容器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和參數(shù)配置，實(shí)現(xiàn)工藝要求的真空狀態(tài)下加熱、冷卻、蒸發(fā)、以及...

實(shí)驗(yàn)室小型不銹鋼真空腔體的功能劃分集中，主要為生長(zhǎng)區(qū)，傳樣測(cè)量區(qū)，抽氣區(qū)三個(gè)部分。對(duì)于分子束外延生長(zhǎng)腔，重要的參數(shù)是其中心點(diǎn)A的位置，即樣品在生長(zhǎng)過程中所處的位置。所以蒸發(fā)源，高能電子衍射（RHEED），高能電子衍射屏，晶體振蕩器，生長(zhǎng)擋板，CCD，生長(zhǎng)觀察視...

真空腔體的使用方法介紹：1、將反應(yīng)物倒入襯套內(nèi)，空腔體并保障加料系數(shù)小于0.8。2、保障釜體下墊片位置正確（凸起面向下），然后放入襯套和上墊片，先擰緊釜蓋混合設(shè)備，然后用螺桿把釜蓋旋扭擰緊為止。3、將設(shè)備置于加熱器內(nèi)，按照規(guī)定的升溫速率升溫至所需反應(yīng)溫度。（小...

常見的真空腔體表面處理01清洗類方法·溶劑清洗選用諸如乙醇之類適配的有機(jī)溶劑，憑借其溶解特性，能夠有效清理真空腔體表面附著的油脂、污垢等污染物。該方法操作簡(jiǎn)便，易于實(shí)施。然而，面對(duì)一些頑固污漬，其清潔效果會(huì)大打折扣?！に嵯催\(yùn)用鹽酸、硫酸等酸性溶液，借助化學(xué)反應(yīng)...

半導(dǎo)體積大尺寸真空腔體在半導(dǎo)體行業(yè)中用途，出海半導(dǎo)體列舉其中一些常見的應(yīng)用：薄膜沉積：在真空中，通過物理或化學(xué)方法可以將薄膜材料沉積在半導(dǎo)體晶片上。真空腔體提供了一個(gè)無氧、無塵和低氣壓的環(huán)境，以確保薄膜的質(zhì)量和一致性。蝕刻：蝕刻是半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵步驟之一...

腔體按使用功能可分為過渡腔、傳輸腔和反應(yīng)腔：過渡腔：是設(shè)備中晶圓真空環(huán)境入口，晶圓從外部運(yùn)輸至設(shè)備入口，經(jīng)過前端模塊（EFEM）后進(jìn)入過渡腔，方從大氣環(huán)境轉(zhuǎn)換為真空環(huán)境，后續(xù)再進(jìn)入真空環(huán)境的傳輸腔、反應(yīng)腔進(jìn)行工藝反應(yīng)。過渡腔以鋁合金為主，技術(shù)相對(duì)簡(jiǎn)單。傳輸腔：...

腔體是半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件，主要用于刻蝕、薄膜沉積設(shè)備中。腔體通常由高純度、耐腐蝕的材料制成，主要為不銹鋼和鋁合金。腔體為晶圓生產(chǎn)提供耐腐蝕、潔凈和高真空環(huán)境，用于承載并控制芯片制造過程中的化學(xué)反應(yīng)和物理反應(yīng)過程，主要應(yīng)用于刻蝕、薄膜沉積設(shè)備，也少量用于離子注...

真空腔體使用時(shí)的常見故障及措施：真空腔體是可以讓物料在真空狀態(tài)下進(jìn)行相關(guān)物化反應(yīng)的綜合反應(yīng)工具。具有加熱快、抗高溫、耐腐蝕、環(huán)境污染小、自動(dòng)加熱等幾大特點(diǎn)，是食品、生物制藥、精細(xì)化工等行業(yè)常用的反應(yīng)設(shè)備之一，用來完成硫化、烴化、氫化、縮合、聚合等的工藝反應(yīng)過程...

·超聲波拋光將工件放置于磨料懸浮液中，并一同置于超聲波場(chǎng)里，依靠超聲波的振蕩作用，促使磨料在工件表面進(jìn)行磨削拋光。超聲波加工具有宏觀力小的特點(diǎn)，不會(huì)導(dǎo)致工件變形，但其工裝制作和安裝難度較大。超聲波加工可與化學(xué)或電化學(xué)方法相結(jié)合，在溶液腐蝕、電解的基礎(chǔ)上，施加超...