分子泵軸承作為真空系統(tǒng)主要部件,承擔(dān)著支撐高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子、確保真空腔體內(nèi)氣流穩(wěn)定的關(guān)鍵作用。其工作環(huán)境通常要求轉(zhuǎn)速高達(dá) 10 萬(wàn) - 15 萬(wàn)轉(zhuǎn) / 分鐘,因此對(duì)軸承的動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性、耐磨性能及熱傳導(dǎo)性提出嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。在半導(dǎo)體制造中,分子泵軸承需維持納米級(jí)制程所需的超高真空(10??Pa 以下),若軸承失效將導(dǎo)致腔室污染,直接影響芯片良率。新巴頓(上海)軸承銷售有限公司針對(duì)此類需求,提供基于陶瓷球與不銹鋼套圈的組合方案,通過(guò)優(yōu)化滾道弧度設(shè)計(jì),使軸承在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的溫升控制在 30℃以內(nèi),滿足半導(dǎo)體設(shè)備 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行的可靠性要求。巴頓分子泵軸承:智能預(yù)警系統(tǒng),提前發(fā)現(xiàn)潛在問(wèn)題。巴頓A540ZA分子泵軸承代理商
巴頓分子泵軸承:高速旋轉(zhuǎn),無(wú)懼摩擦分子泵需要高速旋轉(zhuǎn)以產(chǎn)生高真空環(huán)境。巴頓分子泵軸承,采用特殊潤(rùn)滑技術(shù)和耐磨材料,確保在高速旋轉(zhuǎn)下依然無(wú)懼摩擦,為分子泵提供持續(xù)、穩(wěn)定的動(dòng)力。巴頓分子泵軸承:耐高低溫,適應(yīng)極端環(huán)境在分子泵中,軸承需要承受極端的溫度變化。巴頓分子泵軸承,經(jīng)過(guò)特殊熱處理,具有優(yōu)異的耐高低溫性能,確保在極端環(huán)境下依然能夠穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。巴頓分子泵軸承:創(chuàng)新設(shè)計(jì),降低振動(dòng)振動(dòng)是影響分子泵性能的重要因素。巴頓分子泵軸承,采用創(chuàng)新設(shè)計(jì),有效降低運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中的振動(dòng),提高分子泵的效率和穩(wěn)定性。
長(zhǎng)寧區(qū)巴頓C1905X205Y12分子泵軸承巴頓分子泵軸承——真空技術(shù)的組件。
新巴頓為分子泵軸承提供專業(yè)安裝工具,提升機(jī)械裝配效率與精度。液壓螺母(型號(hào) BARDUN-HN-01)可精確控制軸向預(yù)緊力(精度 ±2%),配合扭矩扳手(量程 5-50N?m),避免人工擰緊導(dǎo)致的預(yù)緊力不均;加熱線圈(頻率 20-40kHz)可在 3 分鐘內(nèi)將軸承加熱至 100℃,溫差≤5℃,確保熱裝時(shí)的均勻膨脹。在自動(dòng)化生產(chǎn)線中,這些工具與機(jī)器人裝配系統(tǒng)集成,實(shí)現(xiàn)軸承安裝的全自動(dòng)化,單套軸承的裝配時(shí)間從 15 分鐘縮短至 3 分鐘,且安裝合格率達(dá) 100%。專業(yè)工具的使用減少了機(jī)械裝配中的人為誤差,保障分子泵軸承的安裝精度與可靠性。
成本控制優(yōu)勢(shì):國(guó)產(chǎn)化與規(guī)模效應(yīng)雙驅(qū)動(dòng),新巴頓通過(guò)整合國(guó)內(nèi)高質(zhì)供應(yīng)鏈,實(shí)現(xiàn)陶瓷球(圓度誤差<0.05μm)和軸承鋼(氧含量<8ppm)的國(guó)產(chǎn)化替代,相比進(jìn)口產(chǎn)品,成本降低了 35% 。同時(shí),憑借規(guī)?;a(chǎn)優(yōu)勢(shì),進(jìn)一步攤薄生產(chǎn)成本。在保持 Dm?N 值(1.6×10?mm?r/min)等主要性能指標(biāo)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平的前提下,產(chǎn)品價(jià)格更具競(jìng)爭(zhēng)力。某國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造商采用新巴頓軸承后,單臺(tái)分子泵系統(tǒng)的成本降低了 18 萬(wàn)元,國(guó)產(chǎn)化率從 25% 提升至 85%,有效推動(dòng)了國(guó)內(nèi)真空設(shè)備行業(yè)的自主發(fā)展。巴頓分子泵軸承:智能化監(jiān)測(cè),預(yù)防故障。
高精度分子泵軸承的制造需突破微米級(jí)加工瓶頸。新巴頓采用數(shù)控磨床進(jìn)行套圈滾道加工,其圓度誤差控制在 0.5μm 以內(nèi),表面粗糙度 Ra≤0.1μm,確保高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的低振動(dòng)特性(振動(dòng)加速度≤5m/s2)。陶瓷球的加工更需歷經(jīng) 12 道研磨工序,通過(guò)激光測(cè)振篩選出圓度誤差<0.1μm 的球體,以降低滾動(dòng)體不平衡量。裝配環(huán)節(jié)采用恒溫恒濕車間(溫度 23±1℃,濕度 45±5%),通過(guò)真空注脂技術(shù)確保潤(rùn)滑脂均勻分布,避免氣泡產(chǎn)生。經(jīng)三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x檢測(cè),成品軸承的軸向游隙可控制在 5-10μm 的精密區(qū)間,滿足分子泵轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡 G1 級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。巴頓分子泵軸承:耐腐蝕合金材料,適應(yīng)惡劣工況。南京C105HRRY14分子泵軸承
創(chuàng)新技術(shù)推動(dòng),新巴頓分子泵軸承帶領(lǐng)紡織機(jī)械高效發(fā)展。巴頓A540ZA分子泵軸承代理商
新巴頓分子泵軸承的動(dòng)態(tài)剛度設(shè)計(jì)保障機(jī)械系統(tǒng)的運(yùn)行穩(wěn)定性。通過(guò)有限元分析優(yōu)化滾道曲率半徑,使軸承的徑向剛度達(dá) 100-200N/μm(隨載荷變化梯度≤10%),軸向剛度達(dá) 150-250N/μm。在精密機(jī)械的振動(dòng)測(cè)試中(振幅 10μm,頻率 10-1000Hz),軸承的動(dòng)態(tài)剛度可抑制轉(zhuǎn)子的位移響應(yīng),使振幅衰減率≥80%。對(duì)于需要低振動(dòng)的場(chǎng)景(如電子顯微鏡真空系統(tǒng)),軸承與阻尼器的并聯(lián)設(shè)計(jì)進(jìn)一步降低共振峰值,使機(jī)械系統(tǒng)的振動(dòng)加速度≤2m/s2,滿足納米級(jí)精度要求。動(dòng)態(tài)剛度的精確控制是分子泵軸承在高級(jí)機(jī)械中應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)之一。巴頓A540ZA分子泵軸承代理商