PNCR脫硝系統(tǒng)噴槍堵塞故障深度剖析與應(yīng)對(duì)策略
PNCR脫硝系統(tǒng)噴槍堵塞故障排查及優(yōu)化策略
PNCR脫硝技術(shù)的煙氣適應(yīng)性深度分析:靈活應(yīng)對(duì)成分波動(dòng)的挑戰(zhàn)
PNCR脫硝技術(shù)的煙氣適應(yīng)性深度剖析:靈活應(yīng)對(duì)成分波動(dòng)的挑戰(zhàn)
PNCR脫硝技術(shù)的煙氣適應(yīng)性分析:應(yīng)對(duì)成分波動(dòng)的挑戰(zhàn)
PNCR脫硝技術(shù):靈活應(yīng)對(duì)煙氣成分波動(dòng)的性能分析
PNCR脫硝技術(shù)應(yīng)對(duì)煙氣成分波動(dòng)的適應(yīng)性分析
高分子脫硝劑輸送系統(tǒng)堵塞預(yù)防與維護(hù)策略
PNCR脫硝系統(tǒng)智能化控制系統(tǒng)升級(jí)需求
PNCR脫硝系統(tǒng):高效環(huán)保的煙氣凈化技術(shù)
氦質(zhì)譜檢漏儀的注意事項(xiàng):1.設(shè)備應(yīng)在施工工作完成后進(jìn)行本測(cè)試,測(cè)試完成后不得進(jìn)行焊縫的修磨等。2.若設(shè)備被浸濕或有殘余的液體都會(huì)影響毛細(xì)管的泄漏而影響測(cè)試結(jié)果的真實(shí)性。3.因氦比空氣輕,因此要注意檢漏的順序,檢查順序應(yīng)依照由下而上,由近而遠(yuǎn)的順序進(jìn)行。4.檢漏過(guò)程中,如發(fā)現(xiàn)大量氦氣進(jìn)人質(zhì)譜檢漏儀,應(yīng)立即移去吸口,防止因儀器長(zhǎng)時(shí)間消除不掉氦影響而延誤測(cè)試。氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用領(lǐng)域:學(xué)校科研單位、真空制造、真空鍍膜、航空航天、核工業(yè)、電力、電子元器件、汽車及制冷、低溫容器、閥門、儀器儀表、聚酯等行業(yè)。氦質(zhì)譜檢漏儀的漏孔漏率是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過(guò)漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。寧波無(wú)損氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢
氦檢儀現(xiàn)已普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備檢漏。半導(dǎo)體設(shè)備及材料需要檢漏原因:1、半導(dǎo)體設(shè)備要求高真空,比如磁控濺射臺(tái)、電子束蒸發(fā)臺(tái)、ICP、PECVD等設(shè)備。出現(xiàn)泄漏就會(huì)導(dǎo)致高真空達(dá)不到或需要大量的時(shí)間,耗時(shí)耗力;2、在高真空環(huán)境潔凈度高、水蒸氣很少。一旦出現(xiàn)泄漏周圍環(huán)境中的灰塵和懸浮顆?;驂m埃就會(huì)對(duì)晶元造成污染,對(duì)半導(dǎo)體的特性改變并破壞其性能,因此在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中必須進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏;3、一些半導(dǎo)體設(shè)備要用到有毒或有腐蝕性的特殊氣體,經(jīng)過(guò)氦質(zhì)譜檢漏后,在低漏率真空條件下,這些氣體不易外泄,設(shè)備能及時(shí)抽走未反應(yīng)氣體和氣態(tài)反應(yīng)產(chǎn)物,保障工作人員安全和大氣環(huán)境。4、芯片封裝,一旦出現(xiàn)泄漏,芯片就會(huì)失效。綜上所述,氦檢儀在半導(dǎo)體行業(yè)起著至關(guān)重要的作用。江蘇自動(dòng)氦質(zhì)譜檢漏儀特點(diǎn)掌握和了解氦檢儀常見(jiàn)故障的維修技術(shù),有利于檢漏工作的順利開(kāi)展以及設(shè)備的保養(yǎng)。
氦檢儀在真空度校驗(yàn)中有什么應(yīng)用?氦是一種惰性氣體,不會(huì)對(duì)設(shè)備產(chǎn)生腐蝕,不與真空器件起化學(xué)反應(yīng),無(wú)毒,也不會(huì)污染環(huán)境,因此使用起來(lái)也十分安全。對(duì)容器環(huán)境和質(zhì)譜環(huán)境干擾較小,常作為泄漏氣體使用。在接有氦檢儀(即調(diào)整到只對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)的氣體剖析儀)的被檢容器上噴射該氣體,如果容器有漏孔,分析儀就會(huì)發(fā)出響聲,從而知道漏孔的位置和漏氣量。氦質(zhì)譜檢測(cè)泄漏技術(shù)是真空檢測(cè)領(lǐng)域中不可缺少的一項(xiàng)技術(shù),由于其檢測(cè)效率高、簡(jiǎn)便易行、儀器反應(yīng)靈敏、準(zhǔn)確度高、不受其它氣體干擾等特點(diǎn),在電阻爐檢測(cè)泄漏中被普遍應(yīng)用。
氦檢儀的組成部分有哪些?真空系統(tǒng):冷阱。分子泵型真空系統(tǒng)一般不加冷阱。擴(kuò)散泵型真空系統(tǒng)的冷阱加在質(zhì)譜室、檢漏口與擴(kuò)散泵之間,使三者被冷阱隔離,冷阱加入液氮后便可阻止擴(kuò)散泵的油蒸氣和被檢件來(lái)的水蒸氣進(jìn)入質(zhì)譜室,保持質(zhì)譜室的清潔,并幫助擴(kuò)散泵迅速獲得較高真空。檢漏閥。按在質(zhì)譜室和被檢件之間的管道上。真空規(guī)。一般采用冷陰極磁控放電真室規(guī)來(lái)測(cè)量質(zhì)譜室中的壓力。也有用電阻規(guī)或熱偶規(guī)測(cè)量被檢件的預(yù)抽壓力和系統(tǒng)的前級(jí)壓力的。標(biāo)準(zhǔn)漏孔。一般儀器內(nèi)都附有標(biāo)準(zhǔn)漏孔,用它來(lái)校準(zhǔn)儀器的較小可檢漏率和對(duì)儀器輸出指示進(jìn)行定標(biāo)。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測(cè)儀器。
氦檢儀在使用過(guò)程中需特別注意以下幾點(diǎn):①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),電壓過(guò)低儀器啟動(dòng)困難,且性能不穩(wěn)定,電壓過(guò)高會(huì)燒壞電源,嚴(yán)重時(shí)還會(huì)燒毀母板的電路板和分子泵,應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。②儀器在運(yùn)行過(guò)程中不能移動(dòng)。渦輪分子泵處于高速運(yùn)轉(zhuǎn)中,若搬動(dòng)氦檢儀,容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。③氦檢儀應(yīng)按照說(shuō)明書(shū)的要求定期進(jìn)行保養(yǎng),保養(yǎng)的項(xiàng)目有更換機(jī)械泵油、更換過(guò)濾網(wǎng)、更換過(guò)濾器。④氦檢儀在運(yùn)行了2000h后應(yīng)對(duì)前級(jí)泵進(jìn)行維修和保養(yǎng),運(yùn)行7000h分子泵進(jìn)行維護(hù)和保養(yǎng)。氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素,但通常選用氦氣。寧波無(wú)損氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢
氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局。寧波無(wú)損氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀的明顯優(yōu)點(diǎn):1、性價(jià)比高:便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是一款實(shí)用的檢漏儀,可覆蓋廣大的應(yīng)用領(lǐng)域,競(jìng)爭(zhēng)性的價(jià)格及較低的使用成本,大抽速前級(jí)泵的設(shè)計(jì),可縮短抽氣時(shí)間,提高使用效率;2、自我保護(hù)功能:在突然暴露大氣和突然斷電時(shí)具有保護(hù)功能,系統(tǒng)的逆擴(kuò)散設(shè)計(jì)保護(hù)了質(zhì)譜室的清潔、真空,且不需要液氮;3、結(jié)構(gòu)靈活:可采用主機(jī)與前級(jí)泵單獨(dú)采買,前級(jí)泵可使用油封式旋片泵或渦卷式干泵,對(duì)于便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀,既可選擇帶有連接配件的主機(jī)形式,也可選擇安裝在兩輪小車上的整體形式。寧波無(wú)損氦質(zhì)譜檢漏儀一臺(tái)多少錢